专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种化学机械抛光用硅溶胶及其制备方法与应用-CN202310106131.7在审
  • 康文兵;孔慧停;陈欢;王海花;闫正 - 山东大学
  • 2023-02-13 - 2023-04-07 - C01B33/141
  • 本发明提供了一种化学机械抛光用硅溶胶及其制备方法与应用。其制备方法,包括步骤:将碱性催化剂加入水中,得到混合溶液,之后将所得混合溶液升温至反应温度后,加入正硅酸乙酯,在搅拌条件下进行反应;反应结束后,得到化学机械抛光用硅溶胶。本发明以正硅酸乙酯作为硅源,水作为溶剂,在碱性催化剂作用下,TEOS在油水界面缓慢水解,不断向水相提供硅酸盐物质,硅酸盐物质立即被消耗用于母颗粒的生长而不形成新的颗粒。通过控制水相pH、反应温度、反应液的搅拌速度及TEOS的质量,可以有效调控二氧化硅粒径在10~100nm,获得粒径均一且分散性好的硅溶胶,用于CMP的精抛光中,可显著提高材料去除速率,改善工件表面质量。
  • 一种化学机械抛光硅溶胶及其制备方法应用
  • [发明专利]一种含丙烯酸酯侧链的光刻胶材料及其制备方法与应用-CN202211569972.3在审
  • 康文兵;刘俊俊 - 山东大学
  • 2022-12-08 - 2023-03-14 - C08G8/30
  • 本发明提供了一种含丙烯酸酯侧链的光刻胶材料及其制备方法与应用。本发明的含丙烯酸酯侧链的光刻胶材料,该光刻胶材料是以甲基丙烯酸缩水甘油酯,和二碳酸二叔丁酯通过酚羟基的环氧开环和BOC保护方法对酚醛树脂进行修饰改性得到的。本发明还提供了上述含丙烯酸酯侧链的光刻胶材料的制备方法。本发明的含丙烯酸酯侧链光刻胶材料显示出优良分辨率,具有良好的耐酸性和涂布均匀性,与硅衬底表面具备良好粘附性,对BOC比例的控制可以调节胶的图案显像程度和膜厚大小,材料在G线和I线领域内产品产业化生产方面具备优异的光化学性能,可广泛用于电路封装、印刷电路和集成电路的制造以及半导体分立器件的微细加工等过程。
  • 一种丙烯酸酯光刻材料及其制备方法应用
  • [发明专利]一种耐热性光刻胶组合物-CN201810301085.5有效
  • 康文兵 - 倍晶新材料(山东)有限公司
  • 2018-04-04 - 2022-09-20 - G03F7/004
  • 本发明公开了一种耐热性光刻胶组合物,按重量份数计,包括:a)基础光刻胶;b)耐热性树脂;其中,所述基础光刻胶主要组分为酚醛树脂和光敏剂,所述耐热性树脂为显影液可溶解的含酰胺或酰亚胺基树脂。本发明的耐热性光刻胶组合物在曝光显影后,光刻胶的耐热性能提高;以及在蚀刻和离子注入等工艺时,可以更好的承受由于工艺带来的温度上升造成的尺寸变动,保持光刻胶不软化变形以达到工艺稳定性,保证了工艺良好的收率。
  • 一种耐热性光刻组合
  • [实用新型]一种印刷版材曝光后处理烘烤装置-CN202220764598.1有效
  • 康文兵;徐乐凤;王和欣 - 倍晶新材料(山东)有限公司
  • 2022-04-03 - 2022-09-20 - G03F7/40
  • 本实用新型提供了一种印刷版材曝光后处理烘烤装置,包括机架和横向设置于机架顶部的辊筒输送机,辊筒输送机的前端设置有置料板,辊筒输送机的中部上方设置有烘烤罩;烘烤罩的底部对应辊筒输送机的位置开口,其内腔采用隔板分为前后两部分,前侧腔体内设置有若干间隔布置的发射灯管,后侧腔体内设置有若干间隔布置的电加热管,且其顶部设置有连通前侧腔体和后侧腔体的排风机。本实用新型采用特定的光刻胶在印刷版的铝基板上涂膜及曝光后,直接送入该烘烤装置进行烘烤交联,可得到免显影液处理的环保型高耐印率版材,便于这类光刻胶的使用,大大提高了印刷版材的生产效率,且提升了产品烘烤质量,减少了人工成本。
  • 一种印刷曝光处理烘烤装置
  • [发明专利]一种用于硅片加工的快速退火系统-CN202210396519.0在审
  • 王文寿;康文兵;陈永红;朱炜泉 - 苏州热传道集成电路科技有限公司
  • 2022-04-15 - 2022-09-09 - H01L21/324
  • 本发明公开了一种用于硅片加工的快速退火系统,包括机体炉,所述机体炉包括金属腔体以及所述金属腔体内部设置有石英腔体,所述金属腔体与石英腔体之间为加热灯带,所述机体炉的一端设置有工艺气体进气板,所述机体炉的另一端设置有第一炉门:所述加热灯带与所述金属腔体之间设置有第一镀金反射层,所述第一镀金反射层的两端均设置有第二镀金反射层,所述第一镀金反射层与所述第二镀金反射层之间呈方形结构,所述金属腔体的上端面和下端面均间隔均匀的布置有若干个冷却进气孔。本发明其设计合理,有利于提高冷却效率,缩短生产时间,解决了生产制作的要求,更加能够满足生产需求。
  • 一种用于硅片加工快速退火系统
  • [实用新型]一种多功能快速退火炉-CN202221008297.2有效
  • 王文寿;康文兵;陈永红;朱炜泉 - 苏州热传道集成电路科技有限公司
  • 2022-04-28 - 2022-09-02 - C21D9/00
  • 本实用新型公开了一种多功能快速退火炉,包括炉体和台车机构,所述炉体内部设有炉内腔,所述台车机构包括若干横向设置的导轨和滑车,所述滑车上可拆卸设有与所述炉内腔适配的台板,所述滑车上设有若干与所述台板下侧抵触配合的液压顶升缸,所述炉内腔两侧壁分别对称设有凹陷设置的滑槽,所述台板两侧分别设有与所述滑槽滑动配合的滑条,所述炉内腔包括加热腔和与所述加热腔连通的过渡腔,本实用新型通过将炉内腔分隔为加热腔和过渡腔,通过设置过渡腔能够在上料卸料过程中对物料进行过渡,避免炉体内热辐射和烟气在上料卸料过程中冲出,损伤工作人员,通过将台板与滑车分体设置,保护滑车,滑车无需与台板一起加热,提高炉体密封性。
  • 一种多功能快速退火炉
  • [实用新型]一种感光材料废液安全处理装置-CN202220764593.9有效
  • 康文兵;孙彬;徐鲁波 - 倍晶新材料(山东)有限公司
  • 2022-04-03 - 2022-08-19 - C02F1/30
  • 本实用新型提供了一种感光材料废液安全处理装置,包括废液罐和分别设置于废液罐顶部和底部的进液管和排液管,废液罐的下端通过循环管路连接废液罐的顶部,且循环管路上依次设置有循环泵和光催化反应器;光催化反应器的光源采用可将叠氮化合物分解成稳定产物的紫外线或400nm左右可见光。本实用新型在废液罐上利用循环管路设置光催化反应器,利用叠氮化合物在紫外线或可见光照射下可以分解成稳定的产物的特性,达到了在不同使用过程中用不同方法对废液进行光照来分解光刻胶以及叠氮化合物光敏剂的解决方案,有效解决了在光敏剂生产过程中可能带来燃烧起火等安全问题,同时生产过程中的含光敏剂溶剂回收浓缩过程中加热带来的安全隐患也因此得到解决。
  • 一种感光材料废液安全处理装置
  • [发明专利]一种多彩色电致变色复合薄膜及其制备方法与应用-CN202111414112.8有效
  • 庄晓佳;康文兵 - 山东大学
  • 2021-11-25 - 2022-08-16 - C03C17/00
  • 本发明提供了一种多彩色电致变色复合薄膜及其制备方法与应用,制备步骤为:将V2O5和氯化钠加入去离子水中,搅拌进行反应;之后经过滤、洗涤、干燥,得到V2O5纳米纤维;将所得V2O5纳米纤维超声分散于HCl溶液中,之后加入苯胺,得到混合液;之后在0‑5℃条件下,向混合液中滴加过硫酸铵‑HCl溶液,在0‑5℃反应,经过滤、洗涤、干燥,得到V2O5/聚苯胺导电复合材料;将所得V2O5/聚苯胺导电复合材料分散于无水乙醇中,加入聚3,4‑乙烯二氧噻吩/聚苯乙烯磺酸溶液,超声分散均匀,之后喷涂于基底上、干燥,即得。本发明制备的多彩色电致变色复合薄膜循环性能优良,循环寿命长,且调制范围可达41%。
  • 一种多彩色电致变色复合薄膜及其制备方法应用
  • [发明专利]阴图型印刷版材用感光胶和印刷平版版材-CN202210352122.1在审
  • 康文兵;孙彬;徐鲁波 - 倍晶新材料(山东)有限公司
  • 2022-04-03 - 2022-07-22 - G03F7/004
  • 本发明公开了一种阴图型印刷版材用感光胶和印刷平版版材,该感光胶包括:(a)带有活性基团的基础树脂;(b)可与基础树脂在酸催化作用下进行交联反应的交联剂;和(c)可于曝光后分解产生酸性物质的光致产酸剂。本发明感光胶在曝光后光致产酸剂分解产生一定的强酸,曝光后的感光胶膜由于形成交联,图案已经通过烘烤加热固化;而未曝光的版材部分可以暴露于可见光或紫外光,同时由于后期没有加热不再形成交联,因此对图案没有影响;且该感光胶通过曝光烘烤工艺后,无论普通显影或无显影利用油墨都可以再现图案,图案本身抗醇性能优越,适合于光固化油墨的印刷,并可使得版材的耐溶剂、耐油墨特性以及耐印率得到较大改善。
  • 阴图型印刷版材用感光平版
  • [发明专利]一种快速加热的退火炉系统-CN202210422124.3在审
  • 王文寿;康文兵;陈永红;朱炜泉 - 苏州热传道集成电路科技有限公司
  • 2022-04-21 - 2022-07-12 - C21D1/26
  • 本发明涉及退火炉技术领域,尤其涉及一种快速加热的退火炉系统,包括加热系统、工作系统、冷却系统、气压平衡系统、运输上料系统、控制系统。加热系统产生高温气流。工作系统内完成产品的处理工作。冷却系统对工作系统内部进行冷却。气压平衡系统对工作系统的内部工作压力进行控制。运输上料系统运输物料盘。控制系统控制退火炉系统的整体运行。本发明具有如下有益效果:通过加热系统内的镀金层以及工作系统的进风管设计,便于加热系统的快速加热,便于工作系统内部快速升温至工作温度,加热效率更为高效,同时兼顾了能耗的节约;可实现工作系统内部物料盘的自动化更换,自动化程度更高,提高了工作效率。
  • 一种快速加热退火炉系统
  • [实用新型]悬浮架拆装车定位锁紧装置-CN202123297492.X有效
  • 周文武;袁伟;张兴华;吴尧;康文兵;陈治民 - 湖南凌翔磁浮科技有限责任公司
  • 2021-12-24 - 2022-07-12 - B25B27/00
  • 本实用新型公开了一种悬浮架拆装车定位锁紧装置,包括定位支撑座、支撑基座以及锁紧座、锁紧轴,所述定位支撑座和支撑基座分别固定安装在悬浮架拆装车和相邻的轨排支撑柱上,所述悬浮架拆装车支撑拆装轨排与磁悬浮轨道对接状态下,所述定位支撑座和支撑基座在同一竖直方向对齐,所述锁紧座嵌装在定位支撑座和支撑基座之间,所述锁紧轴沿竖直方向滑动插装在锁紧座上,其上下两端分别插入定位支撑座和支撑基座。本实用新型拆卸方便,通过操作锁紧轴在锁紧座上的滑动位置即可实现解锁,不需要拆卸螺栓连接件,操作方便快捷,同时定位锁紧装置还能够在拆装轨排安装到位后替代悬浮架拆装车对轨排的支撑,提高了悬浮架拆装车的升降系统使用寿命。
  • 悬浮拆装定位装置

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