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- [实用新型]一种主轴抬升的固定装置-CN202223068355.3有效
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文康;曹丽萍;张万财
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平凉市老兵科技研发有限公司
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2022-11-19
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2023-05-09
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B66F9/12
- 本实用新型涉及半导体设备安装技术领域，具体为一种主轴抬升的固定装置；底托板固定连接在两个叉车叉壁顶面上，主轴穿过底托板，主轴顶端连接有卡箍，后拉板固定连接在底托板后方，包括有拉杆组件，拉杆组件包括有左右拉杆和后拉杆，后拉杆设在轴套对侧，后拉杆两端分别连接在卡箍和后拉板上，左右拉杆设有两个，两个左右拉杆对称设置，两个左右拉杆分别连接在主轴左右两侧，左右拉杆两端分别连接在卡箍和底托板上，使用时通过调节左右拉杆和后拉杆的花篮螺丝来调节主轴的垂直与前后的倾斜方向并拉紧；本实用新型结构简单，加工方便，安装使用方便，在抬升过程中可靠性与安全性高，省时省力，工作效率高，具有推广价值。
- 一种主轴抬升固定装置
- [发明专利]一种伸缩双套电主轴-CN202210143163.X在审
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文康;王加初;曹丽萍;张万财
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平凉市老兵科技研发有限公司
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2022-02-17
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2022-06-17
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B24B41/04
- 本发明涉及半导体加工设备技术领域，具体为一种伸缩双套电主轴，中心轴下端伸出管壳下端，中心轴下端连接有轴头Ⅰ，轴头Ⅰ下端连接有内磨轮，气缸伸缩杆前端连接在连接环上，滑动轴承壳顶面连接在连接环底面上，连接套内壁上设有内花键Ⅲ，中心轴外壁上设有外花键Ⅰ，内花键Ⅲ滑动连接在外花键Ⅰ上，轴头Ⅱ顶端连接在联动轴承壳底端，外磨轮连接在轴头Ⅱ底端，外磨轮设在内磨轮外侧，本发明方便在不更换磨轮和晶圆不更换减薄机的情况下实现对晶圆的精磨与粗磨，使用方便，节省时间，保证了晶圆的加工质量，传动部件之间均采用刚性连接，在伸缩过程中传动稳定，不会发生跳动，使用稳定性高，各个零部件使用过程中的磨损小，使用寿命长。
- 一种伸缩双套电主轴
- [实用新型]一种槽型电机支架-CN202021556121.1有效
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文康;张万财;王加初
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平凉市老兵科技研发有限公司
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2020-07-31
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2021-02-05
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H02K5/00
- 本实用新型公开了一种槽型电机支架，属于电机支架设备领域。该装置包括电机支座、电机连接板与调紧板，所述电机支座为槽型结构，电机连接板与调紧板均为长方形板型结构，电机连接板可拆卸的连接于电机支座的槽口处，调紧板可拆卸的连接于电机支座U型断面其中一侧，电机连接板中央开设有一转子通孔，电机支座的槽型底部向外开设有四个沉头孔，电机连接板上转子通孔四周均匀开设有一圈四个固定电机用螺纹孔。本实用新型提供了一种可调节皮带松紧以及电机位置的独立电机支架，结构简单，安装与操作方便实用，更换电机时拆装方便，不影响其他部位的零件。
- 一种电机支架
- [实用新型]多路承片台托盘-CN202021556110.3有效
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曹丽萍;张万财;王加初;文康
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平凉市老兵科技研发有限公司
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2020-07-31
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2021-01-26
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H01L21/687
- 本实用新型公开了多路承片台托盘，属于半导体加工制造领域。该托盘包括一个圆盘形结构的八吋托盘，其上下端面平行，上端面开设有多个不同吋数的气槽及相对应的多个密封托盘圈槽，圆周侧面上垂直于轴线方向开设有多路贯穿型的阶梯通孔，各阶梯通孔于八吋托盘轴线处相交，下端面轴线方向上还开设有一个用于连接气路主体的中心气孔，中心气孔与各阶梯通孔连通；各气槽的槽内均开设有多个气路连接孔，气路连接孔与阶梯通孔连通；对应于阶梯通孔还匹配有多个不同吋数的螺塞杆。本实用新型可根据使用需要开放或塞堵相应尺寸的气路，达到在不更换托盘的情况下磨削不同尺寸晶圆基片的目的，加工成本低，安装方便。
- 多路承片台托盘
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