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[发明专利]一种同步制造纳米凹坑阵列的跨尺度微纳结构加工方法-CN202110558110.X有效
发明人：刘冲;李扬;左少华;姜楠;丁来钱;郭利华;尹树庆;李欣芯;李经民 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2021-05-21 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： B81B7/04 文献下载
摘要：本发明属于加工技术领域，提供了一种同步制造纳米凹坑阵列的跨尺度微纳结构加工方法。将纳米颗粒分散在光刻胶中，通过光刻工艺形成厚度与纳米颗粒直径接近的光刻胶层，以含有纳米颗粒的图形化光刻胶层为掩膜对基底进行刻蚀，胶层中的纳米颗粒可被刻蚀液腐蚀或溶解，并逐渐形成纳米孔穴，刻蚀液透过纳米孔穴对基底进行刻蚀。本发明仅需一次光刻与腐蚀工艺，即可在基底上同时构建具有微米或几百纳米的功能结构以及在功能结构表面具有纳米特征尺寸的凹坑结构。简化了制造工艺流程、降低了加工成本，有利于批量化制造。
一种同步制造纳米阵列尺度结构加工方法

[发明专利]神经信号检测跨尺度微纳电极阵列芯片、制备方法及其应用-CN202211479614.3在审
发明人：李经民;尹树庆;卢若雨;王彦圣;刘冲 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明提供一种神经信号检测跨尺度微纳电极阵列芯片、制备方法及其应用，属于传感器技术，该芯片由基底、微纳电极阵列、对电极、参比电极、引线及外接触点组成，微纳电极阵列中的微米电极点上分布有等间距排列的纳米级圆柱阵列，采用溅射、光刻、干法刻蚀、湿法刻蚀等微机电系统传统工艺和自组装微球掩膜、温控相变熔融生物创新工艺相结合制备。其中，微纳电极阵列的纳米柱阵列单元可以促进细胞与电极的耦合，减少漏电流，且在不改变电极几何直径的前提下增加了电极的表面积，减小阻抗。本发明芯片检测信号幅值高、噪声小、综合提高神经信号检测的信噪比，芯片制备方法经济、快速、方便，适用于神经科学的相关研究。
神经信号检测尺度电极阵列芯片制备方法及其应用

[发明专利]一种高通量肿瘤靶向药物浓度筛选微流控器件-CN201811036347.6有效
发明人：刘冲;江洋;魏娟;李经民;尹树庆;丁来钱 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2018-09-06 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： C12M3/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种高通量肿瘤靶向药物浓度筛选微流控器件，该微器件由细胞进样层、气动薄膜层和细胞操控层组成。其中细胞进样层包括多细胞进样通道和阀控制通道，可以实现多种细胞的同时进样。细胞操控层具有“两级并联”结构，第一级并联结构为浓度梯度发生器模块，第二级并联结构为细胞培养模块。其中，浓度梯度发生器模块可实现颗粒型肿瘤靶向药物的均匀混合、生成多种比例药物浓度；多细胞培养模块可以为细胞培养提供动态、均一、稳定的流体流动微环境，实现在相同微环境下多种细胞的独立培养，以用于靶向药物作用。该微流控器件为高通量细胞培养、肿瘤靶向药物筛选和细胞‑药物实验提供了一个新的技术平台。
一种通量肿瘤靶向药物浓度筛选微流控器件

[发明专利]一种集成有纳米凸起阵列的跨尺度微纳结构加工方法-CN202110557143.2在审
发明人：刘冲;姜楠;李扬;左少华;尹树庆;李欣芯;丁来钱;郭利华;李经民 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2021-05-21 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： B81B7/04 文献下载
摘要：本发明属于加工技术领域，提供了一种集成有纳米凸起阵列的跨尺度微纳结构加工方法。将纳米颗粒分散于光刻胶中，通过光刻工艺形成厚度与纳米颗粒直径接近的光刻胶层，去除功能结构表面光刻胶层中纳米颗粒之间的光刻胶，光刻胶层图形化，在刻蚀或腐蚀基底材料时或在此之后，以纳米颗粒为掩膜，在功能结构表面刻蚀或腐蚀形成纳米凸起结构。本发明无需格外进行复杂的纳米加工工艺、纳米粒子修饰等工艺，仅需一次光刻及刻蚀工艺，即可在基底上同时构建具有微米或几百纳米的功能结构，以及在功能结构表面纳米特征尺寸的凸起结构，加工过程简单，所需设备在一般实验室均可以达成，降低加工跨尺度微纳结构的成本，有利于批量化生产制造。
一种集成纳米凸起阵列尺度结构加工方法

[实用新型]一种分体式微流控芯片细胞动态培养辅助装置-CN201920121456.1有效
发明人：刘冲;江洋;魏娟;李经民;丁来钱;尹树庆 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2019-01-24 - 公布日： 2019-10-29 - 主分类号： C12M3/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种分体式微流控芯片细胞动态培养辅助装置，主要由三个箱体组成，分别是载泵箱、控制箱和培养箱。其中，载泵箱通过可拆卸保温管与培养箱连接，实现培养液进给；控制箱通过压线式插头与培养箱连接，实现环境控制。承载机构为箱体提供支撑结构和保温环境。所述的分体式设计可有效缩小培养箱体积，利于对其进行内部环境的精确控制，便于培养箱与各型号显微观测单元集成。同时，所述的分体式设计可有效避免电控装置处于高湿度等恶劣工作环境中，保证长期动态稳定的培养液进给。该辅助装置为实现基于微流控芯片的细胞动态培养提供了一个新的技术平台，适用于多种尺寸型号的微流控芯片细胞动态培养。
动态培养培养箱辅助装置培养液细胞分体式设计微流控芯片控制箱泵箱进给流控芯片恶劣工作环境本实用新型保温环境承载机构单元集成电控装置动态稳定环境控制技术平台内部环境显微观测支撑结构插头保温管可拆卸压线保证

[发明专利]一种集成式细胞三维动态培养微器件及其制作方法-CN201711435156.2在审
发明人：李经民;魏娟;刘涛;刘冲;江洋;尹树庆 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2017-12-26 - 公布日： 2018-04-13 - 主分类号： C12M3/00 文献下载
摘要：本发明属于微加工技术和3D微打印成型技术领域，涉及一种集成式细胞三维动态培养微器件及其制作方法。该细胞三维动态培养微器件由细胞进样层、中间过渡层和三维培养层构成，其中具有通孔结构的中间过渡层用于连接细胞进样层和三维培养层，细胞可通过细胞进样层上的细胞进样通道进入培养池内，培养池内集成有细胞培养三维支架。本发明结合微加工技术，采用3D微打印技术在培养池区域进行细胞培养三维支架的集成，实现细胞体外3D动态培养。培养池内三维支架模拟了细胞在体所处的细胞外基质，对于研究细胞的生长、繁殖、铺展和生理表征有重要的意义。本发明构造了细胞体外三维动态培养的近体微环境，适用于细胞的三维培养、药物筛选、组织工程。
一种集成细胞三维动态培养器件及其制作方法