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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]模具、压印设备和制造物品的方法-CN201610083908.2有效
发明人： B-J·乔;M·加纳帕蒂苏布拉玛尼安;村里直记;宫岛义一 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2016-02-06 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明涉及模具、压印设备和制造物品的方法。一种模具，包括：图案部，图案部中形成有图案；以及凹部，形成在图案部的背面中，并且在平面图中具有的尺寸能够包容图案部，其中，图案部的边缘在平面图中为矩形形状，以及凹部包括沿着图案部矩形形状侧面的侧壁部。
模具压印设备制造物品方法

[发明专利]光刻装置、光刻方法、程序、光刻系统和物品制造方法-CN201610086176.2有效
发明人： 宫岛义一;中野一志 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2016-02-16 - 公布日： 2019-12-10 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明涉及光刻装置、光刻方法、程序、光刻系统和物品制造方法。该光刻装置具有被配置为分别在属于一个批次的多个基板上执行图案化的多个处理单元，以及控制器，该控制器被配置为基于指定该多个基板中的一个基板的特定信息来执行多个处理单元中的处理该多个基板中的该一个基板的一个处理单元的确定并控制该多个处理单元使得基于与批次对应的配方信息并行地使用多个处理单元分别在多个基板上执行图案化。
光刻装置方法程序系统物品制造

[发明专利]压印方法、压印装置以及用于物品的制造方法-CN201410784784.1有效
发明人： 宫岛义一;高林幸夫;首藤伸一 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2014-12-17 - 公布日： 2019-07-23 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：一种通过使用模具而在基体上形成图案的压印方法，该方法包括：将基体装入压印装置中；在基体装入压印装置中之后除去粘附在形成于模具上的图案上的全部或一部分异物颗粒，这通过使得模具和供给至压印装置内的与基体不同的部件上的压印材料接触，并固化该压印材料以便形成图案而进行；以及通过使用已经从其上除去异物颗粒的模具在已经装入压印装置内的基体上形成图案。
压印方法装置以及用于物品制造

[发明专利]压印装置、压印方法及物品的制造方法-CN201580021792.3有效
发明人：山口裕充;田村泰之;宫岛义一;齐藤昭男 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2015-04-16 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明提供一种使用模具在供给到基板上的压印材料中形成图案的压印装置，该压印装置包括：供给单元，其包括多个孔口，所述多个孔口中的各个孔口将压印材料朝向基板排出，并且所述供给单元被构造成通过从各个孔口排出压印材料来将压印材料供给到基板上；以及控制单元，其被构造成根据指示应当供给到基板上的压印材料在基板上的分布的分布信息来控制压印材料从各个孔口的排出，其中，所述控制单元基于关于从各个孔口排出的压印材料的排出量的信息来更新分布信息，使得使用模具而形成的压印材料的厚度落在可允许的范围内。
压印装置方法物品制造

[发明专利]光刻装置和物品制造方法-CN201510293935.8有效
发明人： 宫岛义一;中野一志 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2015-06-02 - 公布日： 2017-11-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻装置包括原版传送路线、基板传送路线和多个图形形成设备，每个图形形成设备被构造用于使用原版在基板上进行图形形成。所述多个图形形成设备布置成两列。基板传送路线在所述两列之间并沿所述两列提供。原版传送路线提供在两列中的每列上，在两列原版传送路线之间并沿着两列原版传送路线布置两列图形形成设备。一种物品制造方法。
光刻装置物品制造方法

[发明专利]压印装置以及物品制造方法-CN201610325478.0在审
发明人： V·N·特拉斯凯特;宫岛义一;M·S·沙夫兰;李索尔 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2016-05-17 - 公布日： 2016-11-30 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：根据本发明的第一方面，提供了一种压印装置，用于使模具与施加在基片上的树脂接触，以便执行在基片上形成图形，所述压印装置包括：分配器，所述分配器构造成将树脂施加在基片上；以及树脂供给单元，所述树脂供给单元构造成将树脂供给至分配器，其中，所述树脂供给单元包括：树脂储存储罐，所述树脂储存储罐构造成储存树脂；泵，所述泵构造成使树脂在所述树脂储存储罐和分配器之间连续循环；以及过滤器，所述过滤器布置在被循环的树脂的流动通路处，并构造成除去异物或金属离子。还提供了一种物品制造方法。
压印装置以及物品制造方法

[发明专利]压印装置和物品制造方法-CN201580017358.8在审
发明人：崔炳镇;A·切若拉;叶正茂;吕晓明;罗康;川原信途;宫岛义一 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2015-04-07 - 公布日： 2016-11-23 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：提供一种用于使施加于基板上的树脂与模具接触以在基板上执行构图的压印装置。所述压印装置包括：用于保持基板的基板保持单元，其中，基板保持单元包含沿预先确定的方向布置的多个保持区域，多个保持区域分别基于沿所述方向的位置沿所述方向具有不同的宽度尺寸，以及，分别具有不同宽度尺寸的多个保持区域的两个保持区域之间的表面积比处于0.8～1.2的范围内。
压印装置物品制造方法

[发明专利]压印装置及物品制造方法-CN201510242920.9无效
发明人： 宫岛义一;川原信途 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2015-05-13 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种压印装置及物品制造方法。该压印装置包括：基板保持部，其被构造成保持所述基板，其中，所述基板保持部包括在预定方向上布置的多个保持区域，并且其中，所述多个保持区域的形状被限定为能够以第一外径保持第一基板，并且能够以与所述第一外径不同的第二外径保持第二基板。
压印装置物品制造方法

[发明专利]反射镜设备、曝光设备以及器件制造方法-CN03802357.1无效
发明人： 宫岛义一 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2003-06-19 - 公布日： 2005-05-18 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本申请公开了一种反射镜设备、曝光设备以及器件制造方法。在通过反射引导曝光光线的曝光设备中，用在反射光学系统中的反射镜设备具有：一个具有一个反射所述曝光光线的反射表面的反射镜；用于散热冷却的散热板，被设置在离开所述反射镜的外表面的位置。所述散热板的设置确保入射到所述反射表面上并从该反射表面反射的所述曝光光线的通道区域。另外，用流过冷却管的冷却液体对各散热板进行温度控制。这样，可以抑制用在曝光设备的反射光学系统中的反射镜的温度上升，保持反射镜反射面的面形状的精度。
反射设备曝光以及器件制造方法

[发明专利]曝光装置-CN200410063325.0有效
发明人： 宫岛义一 -专利权人：佳能株式会社
申请日： 2004-07-08 - 公布日： 2005-02-09 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供的曝光装置，能抑制基板台(4)上的配管系统引入部的紊乱，抑制从配管的发尘，以及抑制配管部件表面带静电。本发明的曝光装置中，通过投影光学系统(照明系统单元)(1)，把画在原版面上的图形投影到基板上，用台装置(4)使原版和基板双方、或只使基板相对于该投影光学系统移动，把原版的图形反复曝光到基板上。与台装置的可动部连接着的若干个内外径不同的配管，其外周部的一部分相互接合着，形成为一体化的配管列(20)或(21)。
曝光装置

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