专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]清洗方法和成膜装置-CN201910207469.5有效
  • 孙成德;菱屋晋吾;柿本明修 - 东京毅力科创株式会社
  • 2019-03-19 - 2022-11-08 - C23C16/455
  • 本发明提供一种清洗方法和成膜装置。一种在进行成膜处理之后实施的针对成膜装置的清洗方法,在该成膜处理中,向成膜装置的处理容器内供给原料气体以及能够与原料气体发生反应并生成反应生成物的反应气体,来在基板上形成反应生成物的膜,所述清洗方法包括:在成膜处理中进行控制,使得处理容器内沉积的第一膜与原料气体供给部内沉积的第二膜为不同种类的膜,在成膜处理之后实施如下的清洗处理:从原料气体供给部向处理容器内供给第二膜与第一膜的蚀刻选择比大于1的清洗气体,并对原料气体供给部内沉积的第二膜进行蚀刻来将其去除,在清洗处理之后实施如下的表面控制处理:使所述处理容器内沉积的第一膜的表面状态接近清洗处理之前的状态。
  • 清洗方法装置
  • [实用新型]一种天然气管道施工安装用支撑装置-CN202121584603.2有效
  • 王晨涛;孙成德 - 营口宝明燃气有限责任公司
  • 2021-07-13 - 2022-02-08 - F16L3/08
  • 本实用新型涉及天然气运输技术领域,具体涉及一种天然气管道施工安装用支撑装置,包括电推车,所述电推车顶端左右两侧均可拆卸的设有用于升降的液压油缸,两个所述液压油缸的顶端可拆卸的设有支撑板,所述支撑板顶端前后两侧均设有滑轨;挡板,所述挡板设于电推车顶端左侧,所述挡板右侧壁可拆卸的设有用于左右移动的液压伸缩杆,所述液压伸缩杆右侧端设有连接板,所述连接板右侧壁设有底板,所述底板底端四角均设有与滑轨相匹配的滑轮;壳体,两个所述壳体可拆卸的设于底板顶端左右两侧。该装置可有效的对管道进行支撑,实现对管道的多向调节,方便对管道进行对接安装,更符合实际的使用需求。
  • 一种天然气管道施工安装支撑装置
  • [发明专利]基板处理装置和清洁方法-CN202110261355.6在审
  • 菱屋晋吾;孙成德 - 东京毅力科创株式会社
  • 2021-03-10 - 2021-10-12 - H01L21/67
  • 本发明涉及基板处理装置和清洁方法。提供一种能够选择性地清洁喷射器的内部的技术。本公开的一个方式的基板处理装置具有:处理容器,其容纳基板;喷射器,其包括第1连接口和第2连接口,内部与所述处理容器内连通;排气管,其供所述处理容器内排气;原料气体导入管,其与所述第1连接口连接,向所述喷射器内导入原料气体;清洁气体导入管,其经由所述第1连接口和所述第2连接口中的一者向所述喷射器内导入清洁气体;以及通气管,其连接所述第1连接口和所述第2连接口中的另一者与所述排气管,供所述喷射器内排气。
  • 处理装置清洁方法

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