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- [实用新型]一种可调节高度的晶圆升降装置-CN202321160262.5有效
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孙兆杰
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上海稷迪半导体设备有限公司
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2023-05-15
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2023-10-24
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H01L21/687
- 本实用新型公开了一种可调节高度的晶圆升降装置，包括晶圆载盘、升降座、螺纹杆和电机，所述升降座上设有若干根升降杆，升降杆穿过晶圆载盘上设有的通孔，升降座一侧设有内螺纹升降套，所述内螺纹升降套连接于螺纹杆，螺纹杆连接电机的输出轴。本实用新型与现有技术相比的优点是：针对现有等离子去胶设备采用的气缸式升降杆方式，升降速度不恒定，可能会导致晶圆升降过程中受到升降杆加速碰撞对晶圆造成损坏，升降位置固定高度，导致工艺处理时晶圆位置无法调节，工艺窗口小。本升降装置通过电机控制升降杆进行升降，电机控制的优点是通过PLC程序控制其升降高度，满足不同的工艺需求同时升降速度稳定。
- 一种调节高度升降装置
- [发明专利]一种实验用生物培养箱-CN202110429723.3在审
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田守征;王祖涛;陈静;彭静;姚政;张晓梅;羊忠山;吕小满;孙兆杰
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云南中医药大学
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2021-04-21
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2021-07-09
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C12M3/00
- 本发明公开了一种实验用生物培养箱，其特征在于，包括：柜体、培养室、箱门、显示器、操作按钮、开关、第一储存室、第二储存室、电源、集成电路板、处理器、存储器、数模转换器、温度控制系统、湿度控制系统、氧气浓度控制系统、二氧化碳浓度控制系统、气体循环系统；本实发明设置三个培养室，可以同时培养多种微生物和细胞，方便对每种微生物或细胞进行适宜的培养条件设置，满足不同微生物或细胞培养时的独立需求，例如厌氧培养时可排除培养室内的氧气；在设置培养条件后，培养箱可同时自动调控三个培养箱的温度、湿度、氧气浓度以及二氧化碳浓度等不同参数需求；且三个培养室均为独立空间，不会存在微生物或细胞在培养时互相污染的情况。
- 一种实验生物培养
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