专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]薄膜制造方法-CN200680024450.8在审
  • 塞西尔·奥尔内特;伊恩·凯雷佛尔克;卡洛斯·马祖拉 - 硅绝缘体技术有限公司
  • 2006-07-06 - 2008-07-02 - H01L21/762
  • 本发明提供了薄膜制造方法。本发明涉及从初始晶片制造要应用于电子、光子或光电子的薄膜的方法,该方法包括通过所述晶片的其中一个表面植入原子核种的步骤,该方法包括以下阶段:(a)形成围绕所述晶片的外周的确定高度的台阶,所述晶片在所述台阶处的平均厚度小于所述晶片的其他部分的平均厚度;(b)使所述台阶免于被植入原子核种;以及(c)通过所述晶片的具有所述台阶的表面植入原子核种,从而以确定的植入深度形成植入区,所述薄膜在一侧由所述晶片的所述植入表面确定,而在另一侧由所述植入区确定。本发明还涉及通过所述方法获得的晶片。
  • 薄膜制造方法

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