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[实用新型]一种弹簧辅助平衡抛光盘-CN202322114756.6有效
发明人：饶志敏;陈强 -专利权人： 四川科奥达技术有限公司
申请日： 2023-08-08 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： B24B13/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种弹簧辅助平衡抛光盘，属于精密光学加工技术领域，解决了抛光工具加工时的边缘效应影响较大的问题，本实用新型包括抛光盘，所述抛光盘用于抛光的一面背部连接有多个弹簧连接件，所述弹簧连接件均分别连接有精密拉伸弹簧的一端，所述精密拉伸弹簧的另一端连接有抛光工具轴，所述抛光工具轴靠近抛光盘的一端连接有关节轴承，所述关节轴承与抛光盘固定连接。本实用新型可避免抛光盘在抛光工具轴连接末端大间隙窜动，有利于保证抛光盘转动时中心位置的一致性和稳定性。
一种弹簧辅助平衡抛光

[发明专利]一种镜片多点柔性支撑结构-CN202310366156.0在审
发明人：杨勇;周吉;金川 -专利权人： 四川科奥达技术有限公司
申请日： 2023-04-07 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G02B7/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种镜片多点柔性支撑结构，属于光刻物镜技术领域，解决了光刻机投影光刻物镜在镜片使用中容易发生热变形，从而影响光刻机性能的问题，本发明包括镜片，所述镜片的外围连接有镜框，所述镜框与镜片的上表面之间连接有多个压块，所述镜框与镜片的下表面之间连接有多组弹性支撑机构，所述弹性支撑机构沿镜片的圆周均匀布置，镜片的下表面上设置有用于安装弹性支撑机构的凸台。本发明通过多点柔性支撑结构，能够缓释镜片在实际使用过程中因环境变化而产生的变形。
一种镜片多点柔性支撑结构

[实用新型]一种瞬态结构光数字全息超分辨成像装置-CN202320990488.1有效
发明人：金川;周吉;刘俊伯;全海洋;孙海峰;杨勇 -专利权人： 四川科奥达技术有限公司
申请日： 2023-04-27 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种瞬态结构光数字全息超分辨成像装置，属于成像设备技术领域，解决了现有设备解调实时性较差的问题，本实用新型包括沿光路依次设置的光源组、待测样品、第二显微物镜、分光元件、偏振分光元件、耦合透镜和光电探测器，所述光源组包括三个用于产生不同波长光束的照明光源，所述光电探测器包括面阵彩色相机，所述光源组包括激光光源、LED灯光源或汞灯光源中的一种或多种，所述分光元件为分光棱镜、分光薄膜或分光平片，所述偏振分光元件为偏振分光棱镜或沃拉斯顿棱镜。本实用新型用于结合偏振调制技术将结构光数字全息测量中的相移和结构光旋转过程简化，进一步提高结构光数字全息的时间分辨率。
一种瞬态结构数字全息分辨成像装置

[发明专利]一种瞬态结构光数字全息超分辨成像方法-CN202310163340.5在审
发明人：金川;周吉;刘俊伯;全海洋;孙海峰 -专利权人： 四川科奥达技术有限公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明公开了一种瞬态结构光数字全息超分辨成像方法，属于超分辨成像技术领域，解决了通过迭代算法对混叠频谱进行解调实时性较差的问题，本发明采用三种不同波长的光束产生结构光场，每个结构光光场由一束45°线偏振光束与一束圆偏振光光束干涉产生，形成复合结构光场照明待测样品，通过显微物镜产生物光，正入射到分光元件上；同时一束45°线偏振光束作为参考光入射分光元件的另一侧，物光和参考光通过偏振分光元件后，两束光的S光和P光分离，经耦合透镜产生横向位移，在彩色相机上相干叠加产生两幅带有相移差的彩色结构光数字全息图；对每幅图像的色彩通道进行分离，单次曝光得到六幅结构光数字全息图，通过超分辨解调算法解调出其中的高频信息。
一种瞬态结构数字全息分辨成像方法

[实用新型]一种光学镜头窗口防护机构-CN202221493603.6有效
发明人：李胜强;文代彬;刘志强;谢拉堂 -专利权人： 四川科奥达技术有限公司
申请日： 2022-06-15 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G03B17/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光学镜头窗口防护机构，属于光学镜头防护技术领域，解决了现有技术的镜头防护结构占用空间大、防护能力差的问题，本实用新型包括底框，底框上安装有上盖，上盖与底框之间连接有幕帘，底框上安装有处理电路盒，处理电路盒电性连接有电机，电机连接有动力齿轮组，动力齿轮组连接有主动轴，主动轴端部连接有主动轮，主动轮上安装有传动件，传动件上连接有幕帘牵引条，幕帘牵引条与幕帘连接，传动件连接有从动轮，从动轮连接有卷紧机构。本实用新型用于涉及光学镜头、光学窗口及精密仪器外露窗口防风防砂尘、及安全保护，可保护外场或航空航天使用的大中型光学精密设备，跟踪经纬仪光学镜头等光电设备窗口受到沙尘等的冲击和污染。
一种光学镜头窗口防护机构

[发明专利]一种光学镜头窗口防护机构-CN202210674907.0在审
发明人：李胜强;文代彬;刘志强;谢拉堂 -专利权人： 四川科奥达技术有限公司
申请日： 2022-06-15 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G03B17/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学镜头窗口防护机构，属于光学镜头防护技术领域，解决了现有技术的镜头防护结构占用空间大、防护能力差的问题，本发明包括底框，底框上安装有上盖，上盖与底框之间连接有幕帘，底框上安装有处理电路盒，处理电路盒电性连接有电机，电机连接有动力齿轮组，动力齿轮组连接有主动轴，主动轴端部连接有主动轮，主动轮上安装有传动件，传动件上连接有幕帘牵引条，幕帘牵引条与幕帘连接，传动件连接有从动轮，从动轮连接有卷紧机构。本发明用于涉及光学镜头、光学窗口及精密仪器外露窗口防风防砂尘、及安全保护，可保护外场或航空航天使用的大中型光学精密设备，跟踪经纬仪光学镜头等光电设备窗口受到沙尘等的冲击和污染。
一种光学镜头窗口防护机构

[实用新型]一种实现光刻机自动对准工件台旋转方向精确定位的机构-CN201621194600.7有效
发明人：杜婧;龚健文;赵立新 -专利权人： 四川科奥达技术有限公司
申请日： 2016-11-07 - 公布日： 2017-07-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开一种实现光刻机自动对准工件台旋转方向精确定位的机构，涉及微电子专用设备领域，包括基板和与基板连接并能在基板上旋转的旋转机构，所述旋转机构设有旋转向顶块，所述基板上还设置有旋转驱动机构，所述旋转驱动机构包括能够在基板上做直线运动并驱动旋转向顶块转动的顶杆；所述旋转驱动机构还包括用于复位旋转向顶块和防止旋转向顶块做惯性运动的弹性端，所述弹性端包括连接设置的跟踪滑杆和弹性装置；所述基板上还设置有用于采集顶杆直线运动距离的光栅传感器组件；本实用新型解决了目前我国市面上的光刻机自动对准工件台旋转方向定位的精确度和成本无法兼顾的问题。
一种实现光刻自动对准工件旋转方向精确定位机构

[发明专利]一种光磁编码器的编码方法-CN201410224926.9有效
发明人：魏慧林;汪涌;李胜强;谢元元;黄勇;张洪峰;陈永成 -专利权人： 四川科奥达技术有限公司
申请日： 2014-05-26 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： G01D5/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种光磁编码器及其编码方法，光磁编码器包括磁检测部、光检测部和控制电路单元，其中，控制电路单元中具有模数转换电路、起始位置计算电路和旋转角计算电路，通过模数转换电路将光检测部的模拟信号转换成数字信号，再结合磁检测部的数字信号，确定上电时编码器的起始位置信号，在编码器上电后，通过模数转换电路输出的数字信号，再结合起始位置信号，输出旋转角信号。本发明的光磁编码器采用磁编码器和光编码器相结合的方式，在每一次编码器上电时都能输出绝对位置编码信号，编码器具有体积小，精度高的特点。
一种编码器及其编码方法

[实用新型]一种基于泰伯效应恢复光栅缺陷的紫外光刻装置-CN201620482965.3有效
发明人：邓茜;刘俊伯;赵立新;胡松 -专利权人： 四川科奥达技术有限公司
申请日： 2016-05-24 - 公布日： 2016-11-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于泰伯效应恢复光栅缺陷的紫外光刻装置，属于微电子、微光学、微纳结构和光电子器件制备等微纳加工领域的光刻技术领域，解决现有技术存在的极紫外光源体积大，成本高，操作安全系数难以保证的问题。本实用新型包括高压汞灯、冷光椭球镜、冷光反射镜、快门、积木错位蝇眼透镜、聚光镜、大反射镜、精密工件台、计算机及电控系统。本实用新型用于对缺陷掩膜结构的完整恢复。
一种基于效应恢复光栅缺陷紫外光刻装置

[发明专利]一种基于泰伯效应恢复光栅缺陷的紫外光刻装置-CN201610348352.5在审
发明人：邓茜;刘俊伯;赵立新;胡松 -专利权人： 四川科奥达技术有限公司
申请日： 2016-05-24 - 公布日： 2016-09-21 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于泰伯效应恢复光栅缺陷的紫外光刻装置，属于微电子、微光学、微纳结构和光电子器件制备等微纳加工领域的光刻技术领域，解决现有技术存在的极紫外光源体积大，成本高，操作安全系数难以保证的问题。本发明包括高压汞灯、冷光椭球镜、冷光反射镜、快门、积木错位蝇眼透镜、聚光镜、大反射镜、精密工件台、计算机及电控系统。本发明用于对缺陷掩膜结构的完整恢复。
一种基于效应恢复光栅缺陷紫外光刻装置

[发明专利]一种基于泰伯效应恢复光栅缺陷的紫外光刻方法-CN201610348109.3在审
发明人：邓茜;刘俊伯;赵立新;胡松 -专利权人： 四川科奥达技术有限公司
申请日： 2016-05-24 - 公布日： 2016-08-24 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于泰伯效应恢复光栅缺陷的紫外光刻方法，属于微电子、微光学、微纳结构和光电子器件制备等微纳加工领域的光刻技术领域，解决现有技术存在的极紫外光源体积大，成本高，操作安全系数难以保证的问题。本发明步骤为：(1)制备存在不同缺陷的一维线性掩膜版；(2)获取涂有光刻胶的样片，并将掩膜版与样片进行对准；(3)获取紫外i线光对存在缺陷的掩膜版进行照明和对涂有光刻胶的样片进行曝光；(4)将曝光后的样片进行显影，后烘，刻蚀，去胶工艺,即可完成对存在缺陷的一维线性掩膜的缺陷恢复,制作得到完好一致的线性掩膜版。本发明可用于对缺陷掩膜结构的完整恢复。
一种基于效应恢复光栅缺陷紫外光刻方法

[实用新型]一种光磁编码器-CN201420272029.0有效
发明人：魏慧林;汪涌;李胜强;谢元元;黄勇;张洪峰;陈永成 -专利权人： 四川科奥达技术有限公司
申请日： 2014-05-26 - 公布日： 2014-11-26 - 主分类号： G01D5/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种光磁编码器，光磁编码器包括磁检测部、光检测部和控制电路单元，其中，控制电路单元中具有模数转换电路、起始位置计算电路和旋转角计算电路，通过模数转换电路将光检测部的模拟信号转换成数字信号，再结合磁检测部的数字信号，确定上电时编码器的起始位置信号，在编码器上电后，通过模数转换电路输出的数字信号，再结合起始位置信号，输出旋转角信号。本实用新型的光磁编码器采用磁编码器和光编码器相结合的方式，在每一次编码器上电时都能输出绝对位置编码信号，编码器具有体积小，精度高的特点。
一种编码器

[实用新型]一种六自由度电磁控制机架-CN201220010824.3有效
发明人：伍开军;黄焱林;夏彪 -专利权人： 四川科奥达技术有限公司
申请日： 2012-01-11 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： F16M11/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种六自由度电磁控制机架，运用于神经外科手术显微镜或其它需多自由度速控操作的医疗器械，包括脚座、立柱、横臂、悬臂和头部，立柱和横臂之间通过机身横臂旋转关节(A1)连接，横臂和悬臂之间通过机身悬臂旋转关节(A2)连接，悬臂和头部通过机身悬臂上下升降控制关节(A3)连接，头部的各部分之间分别由头部平转关节(B1)、头部偏摆关节(B2)和头部俯仰关节(B3)连接，6个关节内均采用失电式电磁离合器，还具有用于分别控制6个失电式电磁离合器的微电脑控制系统。本装置能够迅速地实现仪器在可操作空间内任意位置的定位，能够整体或者分部联动，方便医生更加自由地控制显微镜头部。
一种自由度电磁控制机架

[实用新型]大气透射式能见度仪-CN200920309350.0无效
发明人：吕军;程绍荣;魏全忠;魏慧林;杨宁;蒋红星;张珂 -专利权人： 四川科奥达技术有限公司
申请日： 2009-08-31 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： G01N21/61 文献下载
摘要：本实用新型提供一种透射式能见度仪，能最大限度地抑制大气环境中的各类杂散光对测量系统的干扰，使该仪器在任何环境中，都能够精确测量大气能见度。大气透射式能见度仪，包括光源、发射透镜、接收透镜、带通滤光镜、光检测器和处理器，在所述带通滤光镜的前端设置一个中心有小孔的光阑。本实用新型由于采用了光阑遮挡杂散光，本实用新型能最大限度地抑制大气环境中的各类杂散光对测量系统的干扰，使该仪器在任何环境中，都能够精确测量大气能见度，在强太阳光的露天气象环境下，测量精确度的提高尤其明显。本实用新型的大气透射式能见度仪可应用于机场、高速公路、港口、大气环境监测、旅游景区等露天环境，也可用于地铁隧道等一些特殊环境。
大气透射能见度

[实用新型]大气能见度仪的恒光源控制系统-CN200920309377.X无效
发明人：程绍荣;吕军;刘鉴;蒋世磊;刘庆;秦怀川 -专利权人： 四川科奥达技术有限公司
申请日： 2009-09-01 - 公布日： 2010-06-09 - 主分类号： H05B37/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种大气能见度仪的恒光源控制系统，能将测量光源恒功率化，从而排除环境温度的变化、光源老化、供电电源等外界因素对测量光源的影响。大气能见度仪的恒光源控制系统，其特征在于：依次连接有光电探测器、I/V转换单元、差模放大单元、带通滤波单元、有效值转换单元、光源驱动和光源亮度反馈调节单元，所述光电探测器和光源亮度反馈调节单元与光源连接。通过本实用新型的控制系统能将测量光源恒功率化，即使在不同的温度、系统长时间的工作、供给电源有电压波动等情况下，测量系统所取得的数据也与实施值近乎一致。
大气能见度光源控制系统

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