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[发明专利]LDMOS晶体管的场氧化层隔离结构及其制备方法-CN201910435315.1有效
发明人： 吴亚贞;刘长振 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2019-05-23 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： H01L29/78 文献下载
摘要：本发明提供的一种LDMOS晶体管的场氧化层隔离结构及其制备方法，该制备方法包括：提供一半导体衬底；在所述半导体衬底上依次形成第一氧化层和第二氧化层；在所述第二氧化层上形成图形化的光刻胶层；以及以所述图形化的光刻胶层为掩模，对所述第二氧化层进行刻蚀工艺，并清除所述图形化的光刻胶层，以形成LDMOS晶体管的场氧化层隔离结构。本发明将现有的ONO叠层的场氧化层隔离结构替换为由第一氧化层和第二氧化层组成的叠层的场氧化层隔离结构，以减低场氧化层隔离结构对LDMOS晶体管的电气特性的影响。进一步的，在所述第二氧化层上形成保护层，以减低后续离子注入工艺、清洗工艺等对场氧化层隔离结构的损伤。
ldmos 晶体管氧化隔离结构及其制备方法

[发明专利]半导体器件及其制造方法-CN202110466672.1在审
发明人： 吴亚贞 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2021-04-27 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：本发明提供的一种半导体器件及其制造方法，在所述的半导体器件的制造方法中，通过在第二阱区中形成横向排列的第四掺杂区和第二掺杂区，以使所述第二掺杂区和所述第四掺杂区组成齐纳二极管的PN结。由于所述第二掺杂区和所述第四掺杂区横向排列，因此，所述第二掺杂区和所述第四掺杂区的掺杂深度可以相同，故所述第二掺杂区可以与其导电类型相同的第一掺杂区在同一步骤中形成，以及所述第四掺杂区可以与其导电类型相同的第三掺杂区在同一步骤中形成，由此，在形成所述齐纳二极管时，无需采用额外的掩膜版及相应的光刻胶层，从而降低工艺成本。
半导体器件及其制造方法

[发明专利]一种场氧化层及其形成方法-CN201910853757.8有效
发明人：刘长振;令海阳;刘宪周;吴亚贞 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2019-09-10 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：本发明提供的一种场氧化层及其形成方法，场氧化层的形成方法包括以下步骤：提供一半导体衬底；在半导体衬底上形成氧化层；在氧化层上硬掩模层和图形化的光刻胶层；以图形化的光刻胶层为掩模，刻蚀硬掩模层，以形成图形化的硬掩模层，并清除光刻胶层；以及以图形化的硬掩模层为掩模，刻蚀氧化层，以形成场氧化层。本发明通过以图形化的所述硬掩模层为掩模，刻蚀所述氧化层，使得所述氧化层与所述半导体衬底之间的夹角α符合要求场氧化层与半导体衬底之间的夹角，即，所述夹角α在40°～60°之间，该夹角使得后续在场氧化层上形成的场板没有出现多晶硅残留的问题，同时还提高了击穿电压，从而提高了半导体器件的电气性能。
一种氧化及其形成方法

[发明专利]一种字线多晶硅阻挡氧化层及其制造方法-CN201910056885.X有效
发明人： 吴亚贞 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2019-01-22 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： H01L27/11521 文献下载
摘要：本发明公开一种字线多晶硅阻挡氧化层及其制造方法。所述字线多晶硅阻挡氧化层为正硅酸乙酯。所述字线多晶硅阻挡氧化层之制造方法，包括：步骤S1：提供硅基衬底，并在其上形成具有存储器单元字线多晶硅的半导体结构，且对字线多晶硅进行化学机械研磨；步骤S2：在具有存储器单元字线多晶硅的半导体结构之异于硅基衬底一侧沉积正硅酸乙酯；步骤S3：对正硅酸乙酯进行化学机械研磨。本发明采用正硅酸乙酯作为字线多晶硅阻挡氧化层，不仅可以在后续刻蚀工艺中有效保护位移侧墙氮化物薄膜，而且不受字线多晶硅植入计量的影响，亦可以省略氧化物颗粒去除工艺，并减少热预算，值得业界推广应用。
一种多晶阻挡氧化及其制造方法

[发明专利]具有激光熔丝的集成电路及其形成方法-CN201710079123.2有效
发明人： 吴亚贞 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2017-02-14 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： H01L21/768 文献下载
摘要：本发明提供了一种具有激光熔丝的集成电路及其形成方法，其结构包括：衬底；形成于所述衬底上的层间介质层；位于所述层间介质层上的缓冲层；以及，形成于所述缓冲层上的激光熔丝。即，由于所述激光熔丝和层间介质层之间设置有一缓冲层，从而在执行激光修调工艺时，避免了所述激光熔丝所产生的机械应力和热应力直接作用于层间介质层上，从而可有效改善所述层间介质层中产生裂纹的问题。
具有激光集成电路及其形成方法

[发明专利]一种陶瓷纤维束试样辐照试验集束预紧装置及方法-CN201811069316.0有效
发明人：席航;刘晓松;李国云;孙凯;赵文斌;黄娟;李福荣;刘洋;张海生;雷阳;吴亚贞;聂良兵 -专利权人：中国核动力研究设计院
申请日： 2018-09-13 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种陶瓷纤维束试样辐照试验集束预紧装置及方法，包括：辐照外罐、辐照内罐、2个金属环形布线支架；2个金属环形布线支架分别固定在辐照内罐的两端，辐照外罐、辐照内罐、金属环形布线支架的轴线重合；每个金属环形布线支架上都均匀分布有多个导线柱和多组纤维束压紧固定螺孔，2个金属环形布线支架关于辐照内罐中心线对称；导线柱内外两端均为凸起状，导线柱外凸起端外边缘圆弧与辐照外罐内表面圆弧弧度一致，纤维压紧固定螺孔与螺钉和垫片配合对缠绕在螺钉上的陶瓷纤维束进行压紧固定，实现了对陶瓷纤维束进行集束预紧，使陶瓷纤维束中的纤维较为缜密且受力状态均匀的技术效果。
一种陶瓷纤维试样辐照试验集束装置方法

[实用新型]一种农业种植旋耕机-CN201922087937.8有效
发明人： 吴亚贞;孙晓钰;程春爱 -专利权人：四川省兴林凯瑞土地整理有限公司
申请日： 2019-11-28 - 公布日： 2020-11-24 - 主分类号： A01B33/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种农业种植旋耕机，包括移动支架，其特征是：所述移动支架的支撑板两侧一端内侧分别铰接连杆的一端，两个所述连杆的另一端分别铰接转动轴的两端，所述转动轴上固定连接一组均匀排布的旋耕齿，所述转动轴的一端端部固定连接转轮一。本实用新型涉及农业种植旋耕机领域，具体地讲，涉及一种农业种植旋耕机。本装置能够进行土地的旋耕。
一种农业种植旋耕机

[发明专利]LDMOS晶体管及其制备方法-CN202010870912.X在审
发明人： 吴亚贞 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2020-08-26 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：本发明提供的一种LDMOS晶体管及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：提供一半导体衬底，并形成有底部氧化层和中间氧化层；刻蚀中间氧化层；在中间氧化层上形成顶部氧化层；执行离子注入工艺，在半导体衬底中形成漂移区和体区；去除底部氧化层和顶部氧化层，在体区上方形成补充氧化层，漂移区和体区交界处及附近区域的半导体衬底上具有底部氧化层和顶部氧化层；刻蚀底部氧化层、中间氧化层、顶部氧化层和补充氧化层，以形成场氧板。本发明通过在体区和漂移区的交界处及附近区域的底部氧化层和中间氧化层较厚，使得场氧板的整体厚度加厚，该结构在使用时，虽此交界处的电场最大，在可靠性评估过程中，不会出现了热载流子注入失效的问题。
ldmos 晶体管及其制备方法

[发明专利]一种调整LDMOS晶体管中氧化物场板角度的方法-CN202010872365.9在审
发明人： 吴亚贞 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2020-08-26 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：本发明提供的一种调整LDMOS晶体管中氧化物场板角度的方法，所述方法包括以下步骤：提供一半导体衬底；在半导体衬底上形成第一氧化膜层；执行第一次退火工艺；形成第二氧化膜层，使得第二氧化膜层与第一氧化膜层构成场氧化膜层；以及湿法刻蚀场氧化膜层，以形成氧化物场板，从而形成LDMOS晶体管。本发明首先形成第一氧化膜层，并对所述第一氧化膜层进行第一次退火工艺，接着在形成第二氧化膜层，使得湿法刻蚀时氧化物场板的角度是可控的，该夹角使得后续在氧化物场板上形成场板时没有出现多晶硅残留的问题，同时还提高了击穿电压，减低了特征导通电阻，从而提高了半导体器件的电气性能。
一种调整 ldmos 晶体管氧化物角度方法

[发明专利]BCD工艺中形成衬垫氧化层的方法-CN202010093218.1在审
发明人： 吴亚贞;刘宪周;令海阳 -专利权人：上海华虹宏力半导体制造有限公司
申请日： 2020-02-14 - 公布日： 2020-06-12 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种BCD工艺中形成衬垫氧化层的方法，包括：提供一衬底，所述衬底上形成有第一氧化层；形成依次堆叠的场氧化层及硬掩膜层；对所述场氧化层执行刻蚀工艺以得到场板；利用酸性溶剂去除暴露的所述第一氧化层并露出所述衬底；以及形成与所述场板底部的所述第一氧化层处于同层高度的第二氧化层，其中，所述第二氧化层和所述第一氧化层构成衬垫氧化层。去除暴露的并被损伤的所述第一氧化层并在去除掉的所述第一氧化层的位置上沉积第二氧化层，从而得到了厚度均匀的、致密的所述衬垫氧化层，使得所述衬垫氧化层后续能够形成稳定的工艺窗口，从而更有利于后续从该工艺窗口对衬底进行离子注入以形成高压阱区，为后续工艺提供了良好的前段工艺。
bcd 工艺形成衬垫氧化方法

[实用新型]一种农业种植播种机-CN201920787262.5有效
发明人： 吴亚贞;孙晓钰;程春爱 -专利权人： 吴亚贞
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2020-02-18 - 主分类号： A01C7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种农业种植播种机，包括支撑板，其特征是：所述支撑板的上侧固定连接支撑杆，所述支撑杆的一侧固定连接种子存放槽，所述支撑杆的中部设置有出粒口，所述出粒口连通所述种子存放槽，所述支撑杆的一侧设置有间歇出粒机构和种子间歇下落机构。本实用新型涉及农业种植播种机领域，具体地讲，涉及一种农业种植播种机。本装置能够进行种子的播种。
一种农业种植播种机

[实用新型]一种农业种植施肥机-CN201920787178.3有效
发明人： 吴亚贞;孙晓钰;程春爱 -专利权人： 吴亚贞
申请日： 2019-05-29 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： A01C15/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种农业种植施肥机，包括支撑板，其特征是：所述支撑板的两端分别固定连接横杆，一个所述横杆的两端分别固定连接支撑杆，所述支撑板的上侧一端固定连接固定块，圆杆穿过所述固定块，所述圆杆的一端固定连接化肥盛放槽的一侧，所述化肥盛放槽放置在对称的所述支撑杆上。本实用新型涉及农业种植施肥机领域，具体地讲，涉及一种农业种植施肥机。本装置能够进行施肥。
农业种植施肥机支撑板本实用新型盛放槽支撑杆横杆圆杆连接固定块化肥固定块对称施肥穿过

[发明专利]一种辐照后内压爆破试样密封接头自动密封装置-CN201811343177.6在审
发明人：雷阳;张海生;温榜;孙凯;朱伟;李福荣;黄娟;席航;吴亚贞 -专利权人：中国核动力研究设计院
申请日： 2018-11-13 - 公布日： 2019-03-19 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种辐照后内压爆破试样密封接头自动密封装置，解决了原有试验必须等待试样剂量长时间衰减至可接受范围内方可进行，等待时间长，试验效率低的问题。本发明包括底座，安装在底座上用于安装燃料包壳管的支架，设置在支架上用于安放紧缩套头装在燃料包壳管上的压紧帽的凹槽，安装在底座上与凹槽位于同一中轴线上且用于放置密封接头的紧缩套头，用于驱动紧缩套头旋转的旋转组件，用于驱动紧缩套头沿着其中轴线方向直线移动的直线驱动组件。本发明能够在热室内进行，无须试样剂量长时间衰减即可试验，因此大大提高了试验效率，且自动拆卸后的紧锁接头可重复利用，减少了放射性废物的产生量。
套头密封接头紧缩底座自动密封装置燃料包壳管辐照时间衰减试验效率内压支架放射性废物爆破直线驱动组件同一中轴线驱动旋转组件直线移动自动拆卸可接受可重复压紧帽中轴线试验紧锁室内

[发明专利]一种真空环境与常压环境之间的动态载荷传导结构-CN201811067798.6在审
发明人：孙凯;刘荣;温榜;李国云;吴亚贞;李福荣;黄娟;张海生;莫华均;雷阳;席航 -专利权人：中国核动力研究设计院
申请日： 2018-09-13 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： G01N19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空环境与常压环境之间的动态载荷传导结构，所述结构包括：外拉杆、外法兰盘、波纹管组件、内拉杆；外拉杆的一端与力学试验机链接，外拉杆的另外一端与外法兰盘连接；外法兰盘的一端连接外拉杆，外法兰盘的另外一端连接内拉杆；波纹管组件一端与外法兰盘连接，波纹管组件另一端与真空空间的外壁连接；所述的内拉杆一端穿过空心的波纹管组件与外法兰盘连接，所述的内拉杆另外一端与真空空间内的夹具连接；实现密闭、真空空间内力学试样的载荷动态加载。
外法兰盘波纹管组件内拉杆外拉杆真空空间常压环境传导结构动态载荷一端连接真空环境夹具力学试验机动态加载力学试样链接密闭外壁穿过

[实用新型]一种辐照后石墨材料劈裂拉伸试验专用夹具-CN201820984495.X有效
发明人： 吴亚贞;孙凯;李国云;李福荣;黄娟;张海生;雷阳;莫华均;席航;毛建军 -专利权人：中国核动力研究设计院
申请日： 2018-06-25 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： G01N3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种辐照后石墨材料劈裂拉伸试验专用夹具，包括2个对称设置的高温拉杆，所述高温拉杆的外侧端与设备可拆卸式固定，2个高温拉杆的内侧端分别连接有上压头和下压头，所述上压头的夹持端在径向上设置有径向卡槽，所述径向卡槽过上压头的夹持端中心，所述径向卡槽的长度与上压头的夹持端直径一致，所述径向卡槽的槽底部为与样品尺寸匹配的弧形，所述下压头的夹持端在径向上设置有径向凹槽，所述径向凹槽过下压头的夹持端中心，所述径向凹槽的长度为下压头的夹持端的半径与样品厚度的一半之和，所述径向凹槽的弧度与样品的外径匹配。本实用新型解决了现有试验夹具导致试样不易保证对中、样品在试验台面易滚动的问题。
夹持端径向凹槽径向卡槽下压头高温拉杆上压头劈裂拉伸试验本实用新型辐照石墨材料向上设置专用夹具可拆卸式固定尺寸匹配对称设置试验夹具试验台面直径一致内侧端外侧端夹持压头匹配滚动保证

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