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- [发明专利]OPC建模方法-CN202311014499.7在审
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刘秀梅;罗招龙
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合肥晶合集成电路股份有限公司
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2023-08-14
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2023-09-12
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G03F1/36
- 本发明提供一种OPC建模方法。所述OPC建模方法中,先建立初版光学模型,利用所述初版光学模型对用于进行曝光实验的多个测试图形进行模拟仿真,去除NILS值低于一指定NILS值的所述测试图形,留下的所述测试图形作为待检测图形,在收集曝光实验形成的晶圆数据以进行检测时,收集所述曝光实验得到的来自至少部分所述待检测图形的晶圆数据,不收集被去除的所述测试图形形成的晶圆数据,提高了晶圆数据收集的有效性,缩短了收集和检测晶圆数据的时间,从而缩短了OPC建模的总时间,可以在确保OPC建模准确度的情况下,缩短检测晶圆数据的时间,提高OPC建模效率,有助于避免人力和资源的浪费,节约成本。
- opc建模方法
- [发明专利]一种掩模版图形的校正方法及装置-CN202310491664.1有效
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刘秀梅;罗招龙;杜宇
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合肥晶合集成电路股份有限公司
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2023-05-05
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2023-09-12
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G03F1/36
- 本发明公开了一种掩模版图形的校正方法及装置,所述校正方法包括以下步骤:输入目标图形和模拟图形;根据模拟图形对目标图形进行循环校正,并预设总循环次数、循环次数阈值和关键尺寸阈值;预设校正系数和校正量阈值,根据目标图形和模拟图形的尺寸差值、校正系数和循环干涉量,获取目标图形的循环修正量,并将循环修正量设为下一次校正循环的循环干涉量;根据循环修正量或校正量阈值调整目标图形,获取初始修正图形;当目标图形的校正循环次数大于等于循环次数阈值,根据初始修正图形的尺寸与关键尺寸阈值的差值,调整初始修正图形,获得校验修正图形;以及当目标图形的校正循环次数达到总循环次数,输出校验修正图形或初始修正图形。
- 一种模版图形校正方法装置
- [实用新型]一种化工储罐-CN202320822591.5有效
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刘秀梅;康志刚;张卫林;牛旭
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吴桥县六合德利化工有限责任公司
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2023-04-13
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2023-08-22
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B65D88/74
- 本实用新型涉及化工储罐技术领域,具体为一种化工储罐,本实用新型具有提高冷却效果,较快的进行压力降低,提高使用安全性的效果,包括外壳体,外壳体的内部设置有内罐,内罐将外壳体分割成内空腔和外空腔,外壳体的底部连通有排料管,排料管的上安装有电控阀二,外壳体连通有延伸管,延伸管伸入外壳体的内空腔,延伸管的上部安装有安全阀门,外壳体连通有多个连通管,连通管的底部伸入内罐的底部,连通管连通有传输管,传输管上安装有电控阀一,内罐连通有进料管,进料管穿过外壳体的外壁,外壳体的外壁空腔连通有用于传输冷却介质的冷却循环通道。
- 一种化工
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