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- [发明专利]一种硅基集成曝光量测量器件-CN201710743725.3有效
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文常保;姚世朋;全思;朱玮;洪吉童;李演明;巨永锋
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长安大学
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2017-08-25
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2020-05-29
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G03F7/20
- 本发明公开了一种硅基集成曝光量测量器件,包括半导体衬底,半导体衬底上从下至上依次设置有绝缘层、导电金属层、金属氧化物结构、导电金属结构、光敏材料层、保护层;金属氧化物结构包括对称设置在导电金属层上的第一金属氧化物块和第二金属氧化物块;导电金属结构包括设置在第一金属氧化物块上的第一导电金属块和设置在第二金属氧化物块上的第二导电金属块;保护层上设置有第一金属电极、第二金属电极和第三金属电极,所述第一金属电极、第二金属电极和第三金属电极均贯穿保护层,其中第二金属电极与光敏材料相接触,第一金属电极和第三金属电极均与绝缘层相接触。本发明可集成且作为独立器件使用,具有应用范围广和使用方便的优点。
- 一种集成曝光测量器件
- [发明专利]一种负载阻抗匹配装置及匹配方法-CN201510923241.8有效
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文常保;姜燕妮;靳雪莹;李演明;全思;茹锋;巨永锋
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长安大学
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2015-12-11
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2018-08-21
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H03H7/38
- 本发明公开了一种负载阻抗匹配装置及匹配方法,属于阻抗匹配领域。所述发明包括声表面波器件适配座,在其一端连接有端口一匹配电路单元,在其另一端连接有端口二匹配电路单元,端口一匹配电路单元与第一接头相连,在端口二匹配电路单元与第二接头相连。本发明通过该装置中四个单刀双掷开关状态的调节,分别构成与待测声表面波器件对应的未匹配通道及匹配通道,从而使待测声表面波器件一步完成负载阻抗匹配。相对于现有技术,避免了在整个过程中对多个硬件进行拆卸这一情况的发生,并且可以针对两个端口分别设计不同的无源负载阻抗匹配网络,灵活处理使两端口同时达到阻抗匹配中心点,减少传输线上的反射波,提高了声表面波信号的传输效率和质量。
- 一种负载阻抗匹配装置匹配方法
- [实用新型]一种负载阻抗匹配装置-CN201521031682.9有效
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文常保;姜燕妮;靳雪莹;李演明;全思;茹锋;巨永锋
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长安大学
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2015-12-11
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2016-04-13
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H03H7/38
- 本实用新型公开了一种负载阻抗匹配装置,属于阻抗匹配领域。所述实用新型包括声表面波器件适配座,在其一端连接有端口一匹配电路单元,在其另一端连接有端口二匹配电路单元,端口一匹配电路单元与第一接头相连,在端口二匹配电路单元与第二接头相连。本实用新型通过该装置中四个单刀双掷开关状态的调节,分别构成与待测声表面波器件对应的未匹配通道及匹配通道,从而使待测声表面波器件一步完成负载阻抗匹配。相对于现有技术,避免了在整个过程中对多个硬件进行拆卸这一情况的发生,并且可以针对两个端口分别设计不同的无源负载阻抗匹配网络,灵活处理使两端口同时达到阻抗匹配中心点,减少传输线上的反射波,提高了声表面波信号的传输效率和质量。
- 一种负载阻抗匹配装置
- [实用新型]一种磁控溅射载物台-CN201520169679.7有效
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文常保;马跃;靳雪莹;巨永锋;李演明;全思
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长安大学
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2015-03-24
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2015-07-29
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C23C14/50
- 本实用新型公开了一种磁控溅射载物台,包括载物板,所述载物板上方安装有底座;所述载物板底面设置有用于放置目标器件的置物槽;所述置物槽的侧壁上设置有多个金属片槽,所述多个金属槽的轴线均与所述载物板的轴线垂直;所述多个金属片槽内均安装有可相对于所述目标器件沿水平或竖直方向运动的固定装置。本实用新型设计侧壁纵截面为双曲线的底座,使得载物板与磁控溅射装置的连接更加简便;载物板底面设置有置物槽,并设置可相对于目标器件沿水平或竖直方向运动的金属片,使得本实用新型的载物台能够固定不同长度和高度的目标器件。
- 一种磁控溅射载物台
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