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- [发明专利]负型感光性树脂层压体、以及负型感光性树脂层压体的使用方法-CN201210291125.5有效
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井出阳一郎
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旭化成株式会社
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2008-12-15
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2017-04-19
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G03F7/11
- 本发明提供一种负型感光性树脂层压体，其为用于通过使用投影光掩模像的i射线单色光并隔着透镜对负型感光性树脂层进行曝光而形成抗蚀剂固化物的负型感光性树脂层压体，其至少具有支撑体(A)和i射线单色曝光用的负型感光性树脂层(B)，前述负型感光性树脂层(B)由i射线单色曝光用的负型感光性树脂组合物形成，所述i射线单色曝光用的负型感光性树脂组合物含有(a)羧基含量以酸当量计为100~600、且重均分子量在5000~500000之间的粘结剂用树脂20~90质量%、(b)可光聚合的不饱和化合物3~70质量%、以及(c)光聚合引发剂0.1~20质量%，并且，该负型感光性树脂层(B)在波长365nm下的透光率为25%以上36%以下。
- 感光性树脂层压以及使用方法
- [发明专利]感光性树脂组合物及其层压体-CN201180069663.3有效
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姬田优香理;井出阳一郎
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旭化成株式会社
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2011-03-29
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2017-03-01
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G03F7/033
- 本发明提供了作为抗蚀剂或抗镀覆剂等抗蚀材料的具有优异的分辨率和密合性的感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物特征在于，含有（A）粘结剂聚合物20～90重量%、（B）光聚合性化合物5～75重量%和（C）光聚合引发剂0.01～30重量%，所述（A）粘结剂聚合物是通过使羧酸或羧酸酐的第一单体与具有1个聚合性不饱和基团且非酸性的第二单体共聚而获得的重均分子量5,000～100,000的共聚物，所述（B）光聚合性化合物是加聚性单体，且对上述感光性树脂组合物进行曝光、接着进行显影后获得的感光性树脂层的水接触角超过60°、且杨氏模量为1.5GPa以上且低于4GPa。
- 感光性树脂组合及其层压
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