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[发明专利]基于量子点的TFT红外成像仪及其制备方法-CN202310355223.9在审
发明人：罗宇宁;张硕;刘雁飞 -专利权人： 中芯热成科技（北京）有限责任公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H10K39/32 文献下载
摘要：本公开实施例涉及一种基于量子点的TFT红外成像仪，包括：基底；探测单元，设置于基底的一侧，且阵列排布；探测单元包括阵列排布的探测子单元，每个探测子单元均包括平面耦合的TFT器件和量子点探测结构，且每个量子点探测结构的响应波段不同；量子点探测结构用于响应红外光输出对应的电信号；TFT器件用于基于通断状态的控制，选择性传输对应的电信号；其中，响应波段覆盖短波和中波，且响应峰值之间相差0.1μm至0.5μm。由此，通过将不同响应波段的量子点探测结构和对应的TFT器件平面耦合，形成了可以探测多个响应波段且具有高波段分辨率的TFT红外成像仪，从而实现多波段的高光谱红外成像。
基于量子 tft 红外成像及其制备方法

[发明专利]一种多光源光刻机及光刻方法-CN202211088527.5在审
发明人：谭伊玫;张硕;刘雁飞 -专利权人： 中芯热成科技（北京）有限责任公司
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本公开实施例涉及一种多光源光刻机及光刻方法，该光刻机包括：基底固定模块、掩膜板固定模块、图像获取模块以及曝光模块；沿预设方向，基底固定模块、掩膜板固定模块以及曝光模块顺次设置，图像获取模块设置于掩膜板固定模块朝向曝光模块的一侧；其中：基底固定模块用于放置待光刻的基底；掩膜板固定模块用于固定掩膜板；图像获取模块用于对掩膜板和/或基底进行不同预设位置的图像获取，以针对基底与掩膜板进行多点对准；曝光模块包括光源可选的多个可移动灯组，用于受控将多个可移动灯组中的目标可移动灯组移动至光刻的工作区域，以对被掩膜板覆盖的基底进行对准曝光。由此，实现多光源曝光。
一种光源光刻方法

[发明专利]红外量子点层、器件及其制备方法与应用-CN202211231882.3有效
发明人：薛晓梦;张硕;刘雁飞 -专利权人： 中芯热成科技（北京）有限责任公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H01L31/0352 文献下载
摘要：本发明涉及一种红外量子点层、器件及其制备方法与应用，属于光电传感器技术领域。该红外量子点层包括复合一起的p型量子点层、本征量子点层与n型量子点层，其中，p型量子点层、本征量子点层与n型量子点层形成P‑I‑N同质结，且本征量子点层比n型量子点层厚。该红外量子点层及由其制得的红外探测器件在室温下能够建立较强的内建电场，有助于进一步提升探测器的探测性能。
红外量子器件及其制备方法应用

[发明专利]钙钛矿紫外-X射线焦平面阵列探测器及其制备方法-CN202211262651.9有效
发明人：谭伊玫;张硕;刘雁飞 -专利权人： 中芯热成科技（北京）有限责任公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H10K30/60 文献下载
摘要：本公开实施例涉及一种钙钛矿紫外‑X射线焦平面阵列探测器及其制备方法，该焦平面阵列探测器包括阵列排布的探测单元，每个探测单元均包括：第一电极；钙钛矿层，设置于第一电极的一侧；第二电极，设置于钙钛矿层背离第一电极的一侧。通过使用具有优异光电性能的钙钛矿材料作为该焦平面阵列探测器的光电敏感材料，使得该探测器能够探测紫外‑X射线波段光谱；并且该探测器的垂直结构能够降低焦平面像素点之间的信号串扰，进一步减小焦平面阵列的暗电流强度，进而增强光电响应，以此提升探测器的探测性能。进一步地，该探测器中的膜层可以采用滴涂、旋涂、喷涂等方法制备，信号耦合过程无需倒装键合工艺，从而有利于降低制备成本和增加制备成功率。
钙钛矿紫外射线平面阵列探测器及其制备方法

[发明专利]傅里叶变换光致发光光谱仪及光谱检测方法-CN202211574758.7在审
发明人：唐鑫;刘雁飞;温崇 -专利权人：北京理工大学;中芯热成科技（北京）有限责任公司
申请日： 2022-12-08 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G01N21/35 文献下载
摘要：本公开涉及傅里叶变换光致发光光谱仪及光谱检测方法，该光谱仪包括：沿光路的方向顺次设置的频率调制光致发光组件、迈克尔逊干涉仪组件以及光谱信号检测组件；频率调制光致发光组件用于基于频率调制的光源，激发待测样品发出光致发光光谱；光致发光光谱对应的光束传输至迈克尔逊干涉仪组件；迈克尔逊干涉仪组件用于对光致发光光谱对应的光束进行分光并干涉，生成干涉光束；干涉光束传输至光谱信号检测组件；光谱信号检测组件至少包括探测器和与探测器连接的锁相放大器；探测器响应于干涉光束生成对应的光电响应信号，锁相放大器接收光电响应信号以及光源的调制信号，并进行锁相放大，得到待解调信号；待解调信号被解调得到对应的光致发光光谱。
傅里叶变换光致发光光谱仪光谱检测方法

[发明专利]基于量子点的红外器件及其制备方法-CN202310136509.8在审
发明人：刘雁飞;赵鹏飞;唐鑫 -专利权人： 中芯热成科技（北京）有限责任公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： H01L31/101 文献下载
摘要：本公开实施例涉及一种基于量子点的红外器件及其制备方法，包括：基底；反射结构，设置在基底的一侧，用于基于调整各层的厚度以控制反射的波长范围；谐振腔，设置在反射结构背离基底的一侧，用于基于调整其厚度以放大预设波长的光；偏振结构，设置在谐振腔内，用于对光形成偏振；量子点红外探测结构，设置在谐振腔背离反射结构的一侧，用于基于垂直耦合的结构响应红外光并输出对应的电信号。基于此，本公开实施例通过将基底、反射结构、谐振腔、偏振结构以及量子点红外探测结构耦合设置，形成基于量子点的红外器件；在此基础上，通过使用量子点红外探测结构，克服了红外器件中晶格错位和应用成本高等问题。
基于量子红外器件及其制备方法

[发明专利]红外焦平面探测器及其制备方法-CN202111399755.X有效
发明人：唐鑫;刘雁飞 -专利权人： 中芯热成科技（北京）有限责任公司
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本公开涉及一种红外焦平面探测器及其制备方法，该制备方法包括：形成电极电路基底；电极电路基底上设有阵列式的像素电极；在电极电路基底的一侧形成网格状公共电极；其中，阵列式的像素电极中每个像素电极均被网格状公共电极的一个格子包围，像素电极与网格状公共电极电绝缘；在网格状公共电极的格子内填充红外光敏层的光敏像元；其中，红外光敏层包括至少两种不同波段的光敏像元。根据本公开提供的制备方法，通过将不同波段的光敏像元同层填充在网格状公共电极中，简化了探测器的制备过程，从而成本较低，且产出率较高；同时，网格状公共电极和阵列式的像素电极均不会对各不同波段的光敏像元形成遮挡，提高了光学填充率和探测准确性。
红外平面探测器及其制备方法

[实用新型]一种多光源光刻机-CN202222378675.2有效
发明人：谭伊玫;张硕;刘雁飞 -专利权人： 中芯热成科技（北京）有限责任公司
申请日： 2022-09-07 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本公开实施例涉及一种多光源光刻机，该光刻机包括：基底固定模块、掩膜板固定模块、图像获取模块以及曝光模块；沿预设方向，基底固定模块、掩膜板固定模块以及曝光模块顺次设置，图像获取模块设置于掩膜板固定模块朝向曝光模块的一侧；其中：基底固定模块用于放置待光刻的基底；掩膜板固定模块用于固定掩膜板；图像获取模块用于对掩膜板和/或基底进行不同预设位置的图像获取，以针对基底与掩膜板进行多点对准；曝光模块包括光源可选的多个可移动灯组，用于受控将多个可移动灯组中的目标可移动灯组移动至光刻的工作区域，以对被掩膜板覆盖的基底进行对准曝光。由此，实现多光源曝光。
一种光源光刻

[发明专利]喷涂装置、方法、胶体量子点薄膜、器件及其制备方法-CN202211154069.0在审
发明人：罗宇宁;张硕;刘雁飞 -专利权人： 中芯热成科技（北京）有限责任公司
申请日： 2022-09-21 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B05B12/20 文献下载
摘要：本公开实施例涉及一种喷涂装置、方法、胶体量子点薄膜、器件及其制备方法，该装置包括：承托板、掩膜板以及喷枪，承托板朝向喷枪的一侧用于放置待喷涂的基底，掩膜板覆盖于基底朝向喷枪的一侧；喷枪将雾化的待成膜溶液喷涂至被掩膜板覆盖的基底的暴露部分，形成图案化的薄膜。本公开实施例中，通过上述装置实现自动化掩膜喷涂，即在基底朝向喷枪的一侧设置掩膜板，将喷涂与掩模板相结合，使待成膜溶液在被喷涂至基底时能够按照目标图案成膜，即形成图案化的薄膜，从而实现对胶体量子点的空间控制。
喷涂装置方法胶体量子薄膜器件及其制备

[实用新型]电流体动力学喷印装置-CN202222326274.2有效
发明人：谭伊玫;张硕;刘雁飞 -专利权人： 中芯热成科技（北京）有限责任公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：本公开实施例涉及一种电流体动力学喷印装置，该装置包括：供电模块、供气模块、出液模块以及基底固定模块，供电模块和供气模块分别与出液模块连接，基底固定模块连接一预设电位端，且用于固定待喷印的基底；其中，供气模块用于给出液模块中的液体提供气压，使出液模块末端的液体处于将要滴落的状态，供电模块用于给出液模块中的液体提供电荷，电荷对应的电位高于预设电位端的电位；供气模块和供电模块共同作用，使出液模块中的液体基于电流体动力学喷印至基底。本公开实施例，通过供电模块和供气模块共同提供喷印驱动力，即利用对应的电场及气压的能量共同驱动出液模块出液并喷印至基底，提高了喷嘴处的驱动能量且不会堵塞喷嘴。
流体动力学装置

[发明专利]红外量子点层、光导型红外探测器及其制备方法与应用-CN202211059019.4在审
发明人：薛晓梦;张硕;刘雁飞 -专利权人： 中芯热成科技（北京）有限责任公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： H01L51/48 文献下载
摘要：本发明涉及一种红外量子点层、光导型红外探测器及其制备方法与应用，属于光电传感器技术领域。本发明通过对量子薄膜进行表面处理使掺杂状态为P型的量子点向本征态转移，制得的光导型器件中，光照入射时，电导率增加，光生载流子增多，减少了电子与空穴的复合几率，且光电流增大，使得光导型器件的暗电流有效降低，光暗电流比增大，噪声减小，最终有利于提高光导型器件的响应度和比探测率等性能。
红外量子光导型红外探测器及其制备方法应用

[发明专利]电流体动力学喷印装置及方法-CN202211059282.3在审
发明人：谭伊玫;张硕;刘雁飞 -专利权人： 中芯热成科技（北京）有限责任公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：本公开实施例涉及一种电流体动力学喷印装置及方法，该装置包括：供电模块、供气模块、出液模块以及基底固定模块，供电模块和供气模块分别与出液模块连接，基底固定模块连接一预设电位端，且用于固定待喷印的基底；其中，供气模块用于给出液模块中的液体提供气压，使出液模块末端的液体处于将要滴落的状态，供电模块用于给出液模块中的液体提供电荷，电荷对应的电位高于预设电位端的电位；供气模块和供电模块共同作用，使出液模块中的液体基于电流体动力学喷印至基底。本公开实施例，通过供电模块和供气模块共同提供喷印驱动力，即利用对应的电场及气压的能量共同驱动出液模块出液并喷印至基底，提高了喷嘴处的驱动能量且不会堵塞喷嘴。
流体动力学装置方法

[实用新型]多波段超像元红外焦平面探测器-CN202122854739.7有效
发明人：唐鑫;刘雁飞 -专利权人： 中芯热成科技（北京）有限责任公司
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： H01L27/144 文献下载
摘要：本公开涉及一种多波段超像元红外焦平面探测器，该探测器包括：电极电路基底，电极电路基底上设有阵列式的像素电极；网格状公共电极，设置在电极电路基底上，且阵列式的像素电极中每个像素电极均被网格状公共电极的一个格子包围，像素电极与网格状公共电极电绝缘；红外光敏层，包括至少两种不同波段的光敏像元；光敏像元填充于网格状公共电极的格子内。根据本公开提供的探测器，通过设置像素电极位于红外光敏层的下方，且至少两种不同波段的光敏像元填充于网格状公共电极的格子内，避免了网格状公共电极和像素电极对入射到红外光敏层的光线的遮挡，在实现至少两种不同波段的光线的探测的同时，提高光学填充率和探测准确性。
波段超像元红外平面探测器

[实用新型]一种具有网格状公共电极结构的红外焦平面探测器-CN202122857178.6有效
发明人：唐鑫;刘雁飞 -专利权人： 中芯热成科技（北京）有限责任公司
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： H01L27/144 文献下载
摘要：本公开涉及一种具有网格状公共电极结构的红外焦平面探测器。该探测器包括：电极电路基底，电极电路基底上设有阵列式的像素电极；网格状公共电极，设置在电极电路基底上，且阵列式的像素电极中每个像素电极均被网格状公共电极的一个格子包围，像素电极与网格状公共电极电绝缘；红外光敏层，至少填充于网格状公共电极的格子内。根据本公开实施例提供的红外焦平面探测器，通过将公共电极设置为网格状，像素电极设在网格状公共电极的格子内，红外光敏层设置于网格状公共电极的上方，由此相当于将公共电极和像素电极均设置在红外光敏层靠近电极电路基底的一侧，从而避免了电极对红外光的遮挡，提高了光学填充率，有利于提高探测器的信噪比。
一种具有网格公共电极结构红外平面探测器

[发明专利]红外焦平面探测器及其制备方法-CN202111400810.2在审
发明人：唐鑫;刘雁飞 -专利权人： 中芯热成科技（北京）有限责任公司
申请日： 2021-11-19 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本公开涉及一种红外焦平面探测器及其制备方法，其用于制备形成一种具有网格状公共电极结构的红外焦平面探测器；该制备方法包括：形成电极电路基底；电极电路基底上设有阵列式的像素电极；在电极电路基底的一侧形成网格状公共电极；其中，阵列式的像素电极中每个像素电极均被网格状公共电极的一个格子包围，像素电极与网格状公共电极电绝缘；在网格状公共电极背离电极电路基底的一侧形成红外光敏层；其中，红外光敏层至少填充于网格状公共电极的格子内。由此，相当于将公共电极和像素电极均形成在红外光敏层靠近电极电路基底的一侧，从而避免了两电极对红外光入射到红外光敏层时的遮挡，提高了光学填充率，有利于提高探测器的信噪比。
红外平面探测器及其制备方法

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