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[发明专利]一种不等臂长的双臂机械手-CN202311072208.X在审
发明人：焦子洋;杨琦;刘恩龙;武一鸣;中岛隆志;川辺哲也;古市昌稔;曲泉铀;张平;周伟强;王贺明;贾豪;李家璇;西超博;苗义;朱骏驰;王晨旭;张文磊;徐圳 -专利权人：上海广川科技有限公司
申请日： 2023-08-24 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：一种不等臂长的双臂机械手，包括本体、左手臂、右手臂，所述本体包括绕旋转轴同轴设置的左臂伸缩驱动轴、右臂伸缩驱动轴和手臂旋转驱动轴；所述本体内的所述左臂伸缩驱动轴、所述右伸缩驱动轴和所述手臂旋转驱动轴以轴套轴的结构将所述本体内驱动单元的旋转运动传递到所述左手臂和所述的右手臂，实现所述左手臂和所述右手臂的伸缩和旋转运动，在所述左手大臂和左手小臂臂长不等时，或右手大臂和右手小臂臂长不等时，大臂和小臂传动副各带轮的传动比按推算出来的公式进行计算，不仅可以实现对单个工位和双工位进行晶圆取放片功能，还可以实现对水平间距可调、跨度大且存在高度差两工位晶圆的传输。
一种不等双臂机械手

[发明专利]一种变轨伸缩机械臂组、半导体晶圆双臂搬运机器人-CN202311106929.8在审
发明人：王贺明;刘恩龙;杨琦;武一鸣;中岛隆志;古市昌稔;川辺哲也;曲泉铀;张平;周伟强;张菊;贾豪;李家璇;焦子洋;西超博;苗义;朱骏驰;王晨旭;张文磊 -专利权人：上海广川科技有限公司
申请日： 2023-08-30 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： B25J5/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种变轨伸缩机械臂组、半导体晶圆双臂搬运机器人，其中该变轨伸缩机械臂组，包括：基座，直线交替驱动装置，一对呈镜像结构的末端执行器单元，其中直线交替驱动装置横向设置在基座上，各末端执行器单元分别与直线交替驱动装置的传动端连接并呈镜像位设置，所述基座上对应各所述末端执行器单元的位置处分别设有导槽，各所述末端执行器单元分别与导槽配接，以经导槽引导，沿直线交替驱动装置传动方向变轨，促使双臂交替外伸时令末端执行器单元逐渐汇入双臂间中心线航道、回退时双臂于交汇处相互避让，籍此以替代Scara双臂机器人，实现晶圆搬运工序中的搬运动作。
一种伸缩机械半导体双臂搬运机器人

[发明专利]一种自调节定位销及末端执行器、FOUP搬运机器人-CN202311106868.5在审
发明人：王贺明;武一鸣;杨琦;刘恩龙;中岛隆志;古市昌稔;川辺哲也;曲泉铀;张平;周伟强;张菊;贾豪;李家璇;焦子洋;西超博;苗义;朱骏驰;王晨旭;张文磊 -专利权人：上海广川科技有限公司
申请日： 2023-08-30 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种自调节定位销及末端执行器、FOUP搬运机器人，其中自调节定位销包括：基座，平移单元，伸缩定位单元，其中该基座顶部开口并设有内腔，以供在容纳平移单元的同时，为平移单元在基座内腔中留有水平位移空间，其中所述伸缩定位单元设置在平移单元上，并至少部分容纳在基座内腔中，且所述伸缩定位单元的销柱端常态下伸出基座顶部开口，其中所述伸缩定位单元的销柱端呈弹性伸缩状，以当销柱端经FOUP底面销孔引导其水平位移，以同轴对准并继续下压后，可压迫销柱退缩，令其底端抵住基座内腔底面，从而同步形成水平位移后的位置固定。籍此以自调节末端执行器上定位销的位置，消除与各FOUP底面销孔的位置偏差，并固定位置。
一种调节定位末端执行 foup 搬运机器人

[实用新型]一种用于搬运晶圆的末端执行器、机器人和装置-CN202320090590.6有效
发明人：刘恩龙;曲泉铀;杨琦;张菊;武一鸣;张平;王贺明;周伟强;中岛隆志;川辺哲也;贾豪;李家璇 -专利权人：上海广川科技有限公司
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于搬运晶圆的末端执行器、机器人和装置，其中，末端执行器用于搬运多尺寸规格的晶圆，包括手臂和末端手指，所述末端手指位于手臂的末端，所述末端手指为圆台状，且圆台状的末端手指内部设置有M个不同直径的同心圆凹槽，M为大于1的整数；相邻的两个同心圆凹槽之间形成晶圆放置位。本实用新型提供的一种用于搬运晶圆的末端执行器、机器人和装置，用于解决半导体工艺设备对多种规格晶圆搬运需求的技术问题，适用于不允许夹持式、真空吸附式的多规格晶圆搬运场景。
一种用于搬运末端执行机器人和装置

[实用新型]一种晶圆搬运组件、机器人和传输装置-CN202320090563.9有效
发明人：刘恩龙;武一鸣;杨琦;张菊;中岛隆志;川辺哲也;张平;曲泉铀;王贺明;周伟强;贾豪;李家璇 -专利权人：上海广川科技有限公司
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了本实用新型的目的在于提供一种晶圆搬运组件、机器人和传输装置，其中，晶圆搬运组件包括本体以及M个末端执行器，所述末端执行器中设置有末端手指，且每个末端执行器中设置的末端手指个数不同；M为大于1的整数。本申请将具有不同个数末端手指的末端执行器集成在一起，可以适用于不同个数的晶圆搬运，扩大了晶圆搬运组件的适用范围，可配套应用于半导体生产、高端封装、MEMS、LED等领域中的涂胶、显影、去胶等工艺设备中，同时还提高了晶圆搬运效率。
一种搬运组件机器人和传输装置

[发明专利]一种晶圆搬运机器人的测试系统-CN202310088161.X在审
发明人：周伟强;武一鸣;杨琦;刘恩龙;曲泉铀;张平;王贺明;中岛隆志;川辺哲也;张菊;贾豪;李家璇;苗义;朱骏驰;王晨旭;张文磊 -专利权人：上海广川科技有限公司
申请日： 2023-02-09 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： B25J19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆搬运机器人的测试系统，包括搬运机器人和晶圆测试台架，所述晶圆测试台架包括位于台面上相对设置的两个支撑组件，所述支撑组件连接驱动件，所述驱动件能够带动支撑组件朝着远离或者靠近彼此的方向移动；所述支撑组件包括堆叠且间隙设置的支撑板，所述支撑板用于承载晶圆的边缘。本发明提供的一种晶圆搬运机器人的测试系统，能够兼容不同尺寸和型号的晶圆搬运，进而实现搬运机器人中不同种类末端执行器的开发测试，以提高搬运机器人的测试效率和测试兼容性。
一种搬运机器人测试系统

[发明专利]一种晶圆传输系统-CN202011573358.5有效
发明人：刘恩龙;杨琦;张菊;中岛隆志;川辺哲也;马刚;张加峰;曹洁;张贤龙;李莹莹 -专利权人：上海广川科技有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆传输系统，包括上料单元、校正单元和/或缓存单元、处理单元和机械手臂，所述上料单元、校正单元和/或缓存单元中晶圆水平放置，所述处理单元中晶圆竖直放置；所述机械手臂包括本体、大臂、小臂、上末端执行器和下末端执行器，其中，所述大臂的固定端可旋转地安装在所述本体一端，所述小臂的固定端可旋转地安装在所述大臂的移动端，所述上末端执行器和下末端执行器的固定端上下叠加且可旋转地安装在所述小臂的移动端；所述上末端执行器和下末端执行器的移动端可旋转地安装上手指和下手指。本发明晶圆传输系统中晶圆可以实现水平放置位置和竖直放置位置的切换。
一种传输系统

[发明专利]一种耐高温的机械人末端执行器、晶圆搬运装置和方法-CN202310047162.X在审
发明人：王贺明;武一鸣;杨琦;刘恩龙;曲泉铀;张平;周伟强;中岛隆志;川辺哲也;张菊;贾豪;李家璇;苗义;朱骏驰;王晨旭;张文磊 -专利权人：上海广川科技有限公司
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B25J15/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种耐高温的机械人末端执行器、晶圆搬运装置和方法，其中，机械人末端执行器，包括手臂和手指，所述手臂的末端连接所述手指，所述手臂中包括凹槽，所述凹槽内设置有隔热腔室、真空气路阀门和常压气路阀门；所述真空气路阀门和常压气路阀门均连接至隔热腔室；所述手指包括真空气道和真空吸盘，所述真空气道的一端连接隔热腔室，另一端连接真空吸盘；当需要吸附晶圆时，真空气路阀门打开，常压气路阀门关闭，使得隔热腔室、真空气道和真空吸盘形成真空；当需要松开晶圆时，真空气路阀门关闭，常压气路阀门打开，使得隔热腔室、真空气道和真空吸盘形成常压。本申请用于解决真空吸附式末端执行器无法耐受更高温度的问题。
一种耐高温机械人末端执行搬运装置方法

[实用新型]双臂机械手-CN202220302661.X有效
发明人：刘恩龙;董怀宝;杨琦;张菊;张贤龙;王晨旭;中岛隆志;川辺哲也;曹洁;马刚;乐佳浩 -专利权人：上海广川科技有限公司
申请日： 2022-02-15 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： B25J9/04 文献下载
摘要：本实用新型提供一种双臂机械手，左伸缩驱动轴驱动左大臂壳绕旋转轴顺时针或逆时针旋转第一角度，并带动左小臂壳绕所述左大臂壳逆时针或顺时针旋转第二角度，及传动左末端执行器沿所述旋转轴的径向往返；所述右伸缩驱动轴驱动右大臂壳绕所述旋转轴逆时针或顺时针旋转第一角度，并带动右小臂壳绕所述右大臂壳顺时针或逆时针旋转第二角度，及传动右末端执行器沿所述旋转轴的径向往返。本实用新型的双臂机械手可解决需要两个独立伸缩运动的手臂，适用于空间要求紧凑及伸缩范围大的应用场景。
双臂机械手

[发明专利]一种晶圆传输装置及传输方法-CN202011510453.0有效
发明人：李世敏;高飞翔;中岛隆志;冯琳 -专利权人：上海广川科技有限公司
申请日： 2020-12-18 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆传输装置，包括用于晶圆加工的工艺腔、用于晶圆中转的搬运腔和用于存储晶圆的装载腔；其中，所述搬运腔位于所述装载腔和工艺腔之间；所述搬运腔保持低真空状态，所述装载腔与外界连通时，保持大气状态，所述装载腔与搬运腔连通时，保持低真空状态；所述装载腔包括第一排气回路、位于第一排气回路上的阶梯阀Ⅰ、第一供气回路、位于第一供气回路上的阶梯阀Ⅲ；所述搬运腔包括第二排气回路、位于第二排气回路上的阶梯阀Ⅱ、第二供气回路、位于第二供气回路上的阶梯阀Ⅳ；所述阶梯阀Ⅰ、阶梯阀Ⅱ、阶梯阀Ⅲ和阶梯阀Ⅳ至少包括半开、全开和关闭三种状态。本发明用于简化搬运腔和装载腔的供气排气回路，提高晶圆传输效率。
一种传输装置方法

[实用新型]晶圆传输系统的上料装置-CN202220293801.1有效
发明人：刘恩龙;张贤龙;杨琦;张菊;中岛隆志;川辺哲也;曹洁;董怀宝;马刚;董阳;李莹莹;乐佳浩 -专利权人：上海广川科技有限公司
申请日： 2022-02-14 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆传输系统的上料装置，罩体呈开启状态以暴露上料台，且盖板封闭窗口，片盒容设有若干衬底，并置于上料台上；及，所述罩体呈闭合状态以罩盖所述片盒，且所述盖板敞开所述窗口，各所述衬底穿过所述窗口传送至所述晶圆传输系统内。本实用新型通过设置片盒夹持单元，实现片盒的精确定位，同时，片盒容设于罩体内，以隔离内外环境，避免交叉污染，此外，还通过设置衬底检测传感器，对片盒内的衬底进行位置检测。本实用新型的上料装置兼容性强，调节方便，适用行业范围广泛。
传输系统装置

[实用新型]晶圆缓存装置-CN202222002742.0有效
发明人：刘恩龙;杨琦;张贤龙;中岛隆志;川辺哲也;代国俊;曹洁;张菊;董怀宝;马刚;董阳;武一鸣;乐佳浩 -专利权人：上海广川科技有限公司
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型的一种晶圆缓存装置，包括若干支撑组件及两冷却组件，各支撑组件设有纵向排布的若干层支撑片，同层所述支撑片沿同层的晶圆的周向设置，各所述支撑片具有台阶部以支撑及固定所述晶圆；所述两冷却组件相对一所述支撑组件对称设置，并均设有纵向排布的若干层喷嘴；其中，同层的两所述喷嘴之间以预设角度喷出气体至同层所述晶圆以冷却所述晶圆。本实用新型兼容性强，可广泛地应用于不同规格尺寸的晶圆的缓存，并具有调节方便及装配简便的特点，适用行业范围广泛，既可以可应用于IC行业，也可应用于LED等其他泛半导体行业。
缓存装置

[发明专利]晶圆缓存装置-CN202210906385.2在审
发明人：刘恩龙;杨琦;张贤龙;中岛隆志;川辺哲也;代国俊;曹洁;张菊;董怀宝;马刚;董阳;武一鸣;乐佳浩 -专利权人：上海广川科技有限公司
申请日： 2022-07-29 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明的一种晶圆缓存装置，包括至少一支撑组件及至少一冷却组件，所述支撑组件设有纵向排布的若干层支撑片，若干晶圆置于对应层的所述支撑片上；所述冷却组件设有纵向排布的若干层喷嘴组；各层所述喷嘴组包括纵向排布的上喷嘴和下喷嘴以分别喷出气体至同层所述晶圆的正面及背面。本发明的晶圆缓存装置不仅可实现高温度晶圆的快速冷却和缓存功能，还可以实现对各层晶圆有无状态的检测功能。本发明兼容性强，可广泛地应用于不同规格尺寸的晶圆的缓存，并具有调节方便及装配简便的特点，适用行业范围广泛，既可以可应用于IC行业，也可应用于LED等其他泛半导体行业。
缓存装置

[发明专利]晶圆传输系统的上料装置-CN202210134672.6在审
发明人：刘恩龙;张贤龙;杨琦;张菊;中岛隆志;川辺哲也;曹洁;董怀宝;马刚;董阳;李莹莹;乐佳浩 -专利权人：上海广川科技有限公司
申请日： 2022-02-14 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆传输系统的上料装置，罩体呈开启状态以暴露上料台，且盖板封闭窗口，片盒容设有若干衬底，并置于上料台上；及，所述罩体呈闭合状态以罩盖所述片盒，且所述盖板敞开所述窗口，各所述衬底穿过所述窗口传送至所述晶圆传输系统内。本发明通过设置片盒夹持单元，实现片盒的精确定位，同时，片盒容设于罩体内，以隔离内外环境，避免交叉污染，此外，还通过设置衬底检测传感器，对片盒内的衬底进行位置检测。本发明的上料装置兼容性强，调节方便，适用行业范围广泛。
传输系统装置

[发明专利]双臂机械手-CN202210138337.3在审
发明人：刘恩龙;董怀宝;杨琦;张菊;张贤龙;王晨旭;中岛隆志;川辺哲也;曹洁;马刚;乐佳浩 -专利权人：上海广川科技有限公司
申请日： 2022-02-15 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： B25J9/04 文献下载
摘要：本发明提供一种双臂机械手，本体包括绕旋转轴同轴设置的旋转驱动轴、第一/第二伸缩驱动轴；第一臂组件的一端旋转地耦连所述旋转驱动轴及所述第一伸缩驱动轴，另一端旋转地耦连所述第一末端执行器；第二臂组件的一端旋转地耦连所述旋转驱动轴及所述第二伸缩驱动轴，另一端旋转地耦连所述第二末端执行器；所述旋转驱动轴驱动所述第一臂组件带动所述第一末端执行器，及驱动所述第二臂组件带动所述第二末端执行器绕所述旋转轴旋转；所述第一/第二伸缩驱动轴分别对应驱动所述第一/第二臂组件以对应带动所述第一/第二末端执行器沿所述旋转轴的径向往返。本发明的双臂机械手仅需3个驱动轴，降低成本。
双臂机械手

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