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[发明专利]双上炉体连续加料硅单晶炉及其使用方法-CN201110297917.9无效
发明人：杨永录;葛亮;赖章田;贺贤汉 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2011-09-30 - 公布日： 2012-02-15 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明双上炉体连续加料硅单晶炉，包括：主机架；下炉体，所述下炉体设置在所述主机架上；所述双上炉体连续加料硅单晶炉还包括双上炉体组件，所述双上炉体组件包括两个分立设置的左上炉体及右上炉体。本发明双上炉体连续加料硅单晶炉可以实现在不更换石英坩埚及不开炉的情况下进行二次连续加料及硅单晶棒的拉制，从而从节能、节约坩埚、及节约时间上降低硅单晶棒的生产成本。
双上炉体连续加料硅单晶炉及其使用方法

[发明专利]单晶炉隔离系统-CN201110300690.9有效
发明人：葛亮;杨永录;贺贤汉 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2011-09-28 - 公布日： 2012-01-25 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种单晶炉技术领域的单晶炉隔离系统，包括：密封构件、阀板组件、控制开阀装置和压紧装置，控制开阀装置和压紧装置均与阀体固定连接，阀板组件与控制开阀装置活动连接，密封构件设置于阀体内且与阀体固定连接，本发明通过开阀气缸控制，使阀板组件能实现水平至向下90°翻转，阀板组件向下翻转确保了隔离阀开闭时不会影响到晶棒。
单晶炉隔离系统

[发明专利]晶棒定位装置输出轴机构-CN201110295589.9有效
发明人：杨永录;葛亮;贺贤汉 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2011-09-30 - 公布日： 2012-01-18 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明晶棒定位装置输出轴机构，包括：输出轴，在所述输出轴的一端设有铜螺母；接近传感器，所述接近传感器设置在所述输出轴的外侧；滑移柱塞，所述滑移柱塞的一端与所述输出轴的一端连接；密封装置，所述密封装置与所述滑移柱塞的另外一端连接。本发明晶棒定位装置输出轴机构摒弃了原先硅单晶炉在上炉筒下方开口处配备了晶棒晶棒定位组件，利用设置在上炉筒外侧的减速器组件可实现晶棒有效定位，并且结构紧凑，零部件数量少且容易加工制造。
定位装置输出机构

[实用新型]一种防止砂浆流挂的切方机-CN201020500400.6有效
发明人：叶国卿;贺贤汉 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司;上海申和热磁电子有限公司
申请日： 2010-08-20 - 公布日： 2011-10-19 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开一种防止砂浆流挂的切方机，在切方机的加工室移动钣金门内侧设置有用于阻挡切割砂浆流挂外泄的阻挡装置，所述阻挡装置包括篷布组成的柔性帘布以及在所述帘布边缘设置的金属扣，柔性帘布通过所述金属扣悬挂在强力磁性扣上，强力磁性扣可调整地吸附于加工室的顶板上。本实用新型在加工室钣金门的内侧设置了阻挡装置，使得钣金门外侧没有砂浆外泄，不仅可以阻挡砂浆外泄，从而减少浪费，还可以防止地面打滑，更加清洁美观。
一种防止砂浆切方机

[实用新型]切方机导线轮-CN201120011834.4有效
发明人：范威秋;贺贤汉 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2011-01-14 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： B28D7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种切方机导线轮，包括铝圈本体与外圈聚氨酯层，其特点是，所述本体铝圈上与外圈聚氨酯层的接合处设置数个均匀分布的键槽，所述键槽的截面呈半圆形，键槽结构向本体铝圈内部凹陷。进一步，所述本体铝圈上设置四个、六个或八个键槽。作为优选方案，本体铝圈上设置四个等分的键槽，相邻两个键槽之间的夹角为90度，均匀分布于所述本体铝圈上。本实用新型结构简单，易于加工，达到晶棒切割时导线轮高速运行换向过程中防止铝圈本体打滑的目的，使切方机的切割尺寸更稳定、准确。
切方机导线

[实用新型]四轴高效率切片机-CN201120070537.7有效
发明人：叶国卿;贺贤汉 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2011-03-17 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开一种四轴高效率切片机，包括主轴，其特征在于所述主轴为四根，四根主轴从左到右依次布置，其中左右端两根主轴朝下倾斜设置，在所述四根主轴之间从左到右依次放置三根加工工件。本实用新型将切片机主轴设计为四轴的方式，同时能够加工三根工件，且由于是采用每两根主轴之间只摆放一根工件的方式，因此不会导致切割线弯曲过大，由于一台机器可以相当于传统型的1.5-3倍的切割能力，所以钢丝和切割砂浆等资源利用率大大提高。
高效率切片机

[发明专利]多轴线切割机-CN201110064640.5无效
发明人：叶国卿;贺贤汉 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2011-03-17 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明公开一种多轴线切割机，包括主轴，所述主轴为三根或三根以上，所述主轴从左到右依次布置，其中每两根主轴之间设置一根工件，所述主轴上设有切割线。本发明将线切割机主轴设计为三轴或三轴以上的方式，同时能够加工两根以上工件，且由于是采用每两根主轴之间只摆放一根工件的方式，因此不会导致切割线弯曲过大，由于一台机器可以相当于传统型的几倍的切割能力，所以钢丝和切割砂浆等资源利用率大大提高。
轴线切割机

[实用新型]切方机单晶切割精确定位装置-CN201020502984.0有效
发明人：叶国卿;贺贤汉 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司;上海申和热磁电子有限公司
申请日： 2010-08-24 - 公布日： 2011-06-08 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种切方机单晶切割精确定位装置，包括在数控机床的面板上两相对的侧边上分别设置有一定位销，切割定位模板上两侧分别设置有一组定位销孔，所述切割定位模板与数控机床通过定位销与定位销孔连接；每组定位销孔中各定位销孔中心位于同一直线上，该直线与所述钢丝所在直线成45度夹角，数目与每个主轴的钢丝槽数目相同，两相邻的定位销孔中心之间间距为钢丝槽间距的倍。本实用新型提供的切割精确定位装置，可以应用在单晶硅切割设备上，与数控机床上的定位销配合，可以精确完成定位，避免在钢丝槽更换时造成定位不精确而导致的切割单晶硅报废的问题。
切方机单晶切割精确定位装置

[发明专利]单晶硅制造装置-CN201110026811.5无效
发明人：渡边健一;贺贤汉 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2011-01-25 - 公布日： 2011-05-18 - 主分类号： C30B15/10 文献下载
摘要：本发明提供一种单晶硅制造装置，包括密闭真空单晶炉、该单晶炉内设置有加热器、加热器的内侧空间内设置有一支撑托盘，该托盘上直接承接了一个用于盛装硅溶液的石英坩埚，在该石英坩埚外可拆卸地套接了一个C/C套筒，该C/C套筒上下开口，底部置于所述支撑托盘上。本发明具有效率高、质量轻拆装方便的优点。
单晶硅制造装置

[实用新型]一种坩埚搬运装置-CN201020238623.X有效
发明人：赖章田;贺贤汉 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司;上海申和热磁电子有限公司
申请日： 2010-06-25 - 公布日： 2011-04-13 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种坩埚搬运装置，安装在单晶炉的立柱侧面，它包括悬臂、通过直梁连接悬臂的手柄，位于直梁下的卷扬机吊钩，卷扬机吊钩通过钢丝绳连接悬臂内的导线轮，导线轮侧部连接导线轮座，导线轮座下方轴承座，轴承座再连接盖板，所述盖板下设置微型电动卷扬机。连接卷扬机吊钩的钢丝绳穿过导线轮座竖直而下，一直延伸到所述微型电动卷扬机，所述钢丝绳与微型电动卷扬机的转动机构连接，通过钢丝绳卷起或放松，带动卷扬机吊钩勾住的重物做升降运动；而通过人操作手柄转动悬臂在水平方向移动。本实用新型实现了半自动搬运硅料与石英坩埚，节约了劳动力，工作效率高，改变了以前人工搬运易污染原料、效率低的状况。
一种坩埚搬运装置

[发明专利]一种定位精确的单晶切方机-CN201010259175.6有效
发明人：叶国卿;贺贤汉 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司;上海申和热磁电子有限公司
申请日： 2010-08-20 - 公布日： 2011-02-16 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明提供一种定位精确的单晶切方机，包括数控机床、可在数控机床上移动的单晶定位模板，设置在单晶定位模板四周的四组主轴，主轴上各设置用于在一个方向上切割单晶的钢丝，主轴上设置有多个钢丝槽，钢丝可移动地设置在对应的主轴的钢丝槽内，两相邻的钢丝槽之间间距固定；数控机床的面板设置有一定位销，单晶定位模板两侧分别设置一组定位销孔，每组定位销孔中各定位销孔中心位于同一直线上，该直线与所述钢丝所在直线成45度夹角，数目与每个主轴的钢丝槽数目相同，两相邻的定位销孔中心之间间距为钢丝槽间距的倍。首先，本发明提供的单晶切方机，可以精确完成定位，节约成本，也节省时间，从而达到提高工作效率的目的。
一种定位精确单晶切方机

[实用新型]高低速电机二合一籽晶头-CN201020238653.0有效
发明人：赖章田;胜又大祐;中村胜;吴志豪;贺贤汉 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司;上海申和热磁电子有限公司
申请日： 2010-06-25 - 公布日： 2011-01-19 - 主分类号： C30B15/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高低速二合一籽晶头，包括底板、基座，设置在底板上的圆柱形滑线环，位于所述基座上的籽晶腔体，连接在基座底部的旋转电机，其特点是，还包括均位于所述基座上的高低速电机、双联蜗轮蜗杆减速器和内置离合器的一体化行星齿轮变速器，所述高低速电机通过联轴器连接所述变速器，所述双联蜗轮蜗杆减速器通过滚珠花键轴连接主VF磁流体，主VF磁流体安装在所述籽晶腔体上，所述籽晶腔体内设有卷线轮机构，使籽晶绳能收放以便实现籽晶升降，其内部还设有籽晶称重机构。本实用新型操作简单，提高了籽晶转速，通过一个电机可实现高低速籽晶升降两个功能，相比以前减少一组直流电机和控制模块，有效降低了成本。
低速电机二合一籽晶

[实用新型]自动坩埚搬运机构-CN201020238632.9有效
发明人：赖章田;贺贤汉 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司;上海申和热磁电子有限公司
申请日： 2010-06-25 - 公布日： 2011-01-19 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动坩埚搬运机构，用于自动拖运单晶炉内的石墨坩埚、石英坩埚以及石英坩埚里面所装的硅料。本机构主要包括以下功能部件，底部减速箱，减速箱里有转轴、齿轮传动副、减速电机，减速箱上面安装有转轴座，还有安装在转轴上的立柱；所述立柱上设有悬臂梁，及使悬臂梁上下运动的升降机构，悬臂梁的前端设有坩埚抓手部件、气动单元与锁紧单元，以及用于调节坩埚抓手横向位置的横向调节部件。本实用新型使得搬运硅料及坩埚实现全自动化，省时省力，大大提高了生产效率。
自动坩埚搬运机构

[实用新型]可伸缩式晶棒托架-CN201020238642.2有效
发明人：赖章田;胜又大祐;贺贤汉 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司;上海申和热磁电子有限公司
申请日： 2010-06-25 - 公布日： 2011-01-19 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可伸缩式晶棒托架，它包括转轴座、连接在转轴座底部的制动器托架，与转轴座通过轴承连接的轴承座，两组竖向放置的连杆及连接在所述两组连杆之间水平放置的晶棒托板，连接在轴承座前壁的托板固定座。所述两组连杆的一端通过轴位螺钉连接在晶棒托板的中部，另一端通过轴位螺钉连接在所述轴承座的侧部；所述晶棒托板靠内侧的一端通过转轴与所述托板固定座连接。本实用新型通过连杆可实现晶棒托板在垂直方向旋转90度，即实现晶棒托板打开与伸缩功能，同时还可通过转轴与轴承座能在水平方向旋转，本机构可以很好的避免和单晶炉主体的干涉，在不需要使用时可以将晶棒托板合拢，节约空间，操作方便。
伸缩式晶棒托架

[实用新型]切方机切割液喷嘴-CN201020160688.7无效
发明人：叶国卿;贺贤汉 -专利权人： 上海汉虹精密机械有限公司;上海申和热磁电子有限公司
申请日： 2010-04-15 - 公布日： 2011-01-19 - 主分类号： B05B13/02 文献下载
摘要：本实用新型公开一种切方机切割液喷嘴，包括活动喷嘴，活动喷嘴设置在切方机切割区域四周，所述活动喷嘴安装于圆形喷管之上，圆形喷管与活动软管相连接，活动软管另一端装有不锈钢喷嘴。本实用新型将传统切方机切割区域四周的整体开槽式喷嘴改进为多个活动喷嘴对每根切割线喷淋，不但可以使喷淋更有效，而且可以减少四周喷淋切割液的总流量，从而将更多的流量分配到切割中央区域圆喷嘴部分，使切割更有效，切割单晶和多晶表面质量更高。
切方机切割喷嘴