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[发明专利]粘性膜法剥离装置-CN202310763021.8在审
发明人：徐轩涛;钱永学;周一峰;吴长春;黄鑫 -专利权人： 上海昂瑞创新电子技术有限公司
申请日： 2023-06-26 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开提供了一种粘性膜法剥离装置，包括：机架，其被配置为用于支撑和定位机构元件；膜卷收放机构，其用于装载多种类型粘性膜卷，并且被配置为对粘性膜卷进行放卷；晶圆平台，其被配置为对晶圆进行吸附固定；以及辊架直线运动机构，其包括配置有贴膜辊和撕膜辊的辊架以及离合装置，其中，从所述膜卷收放机构放出的胶膜从晶圆平台的上表面和贴膜辊之间穿过，当粘性膜法剥离装置执行贴膜操作时，贴膜辊随辊架沿直线导轨的直线运动而进行转动滚压运动，使得胶膜粘贴于晶圆平台的上的晶圆上，并且其中，当粘性膜法剥离装置执行撕膜操作时，通过所述离合装置使得辊架在直线运动的时候带动撕膜辊转动，使得从晶圆平台上撕出的胶膜粘贴在撕膜辊上。
粘性剥离装置

[实用新型]用于半导体生产工艺的洁净环境湿度精调节装置-CN202223418747.8有效
发明人：朱云飞;钱永学;黄鑫;赖亚明;王正前;朱正 -专利权人： 上海昂瑞创新电子技术有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： F24F7/003 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于半导体生产工艺的洁净环境湿度精调节装置，包括：进风空气过滤单元，其被配置为用于对进气空气过滤，并且将过滤的空气提供给超声波加湿器以用作输送被汽化后水分子的媒介；进水过滤单元，其被配置为对进水进行过滤，并且将过滤后的洁净水提供给超声波加湿器；超声波加湿器，其被配置为包括雾化板，通过雾化板的高频振荡，从而生成高湿空气，并且将生成的高湿空气提供到雾化管；雾化管，其被配置为连接超声波加湿器与新风系统或者循环风系统的送风系统的加湿段；高精度湿度传感器，其被配置对所述湿度控制目标区域的相对湿度进行实时测量，以产生用于控制超声波加湿量的控制湿度调节控信号。
用于半导体生产工艺洁净环境湿度调节装置

[发明专利]用于半导体生产工艺的洁净环境湿度精调节装置-CN202211643367.6在审
发明人：朱云飞;钱永学;黄鑫;赖亚明;王正前;朱正 -专利权人： 上海昂瑞创新电子技术有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： F24F7/003 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于半导体生产工艺的洁净环境湿度精调节装置，包括：进风空气过滤单元，其被配置为用于对进气空气过滤，并且将过滤的空气提供给超声波加湿器以用作输送被汽化后水分子的媒介；进水过滤单元，其被配置为对进水进行过滤，并且将过滤后的洁净水提供给超声波加湿器；超声波加湿器，其被配置为包括雾化板，通过雾化板的高频振荡，从而生成高湿空气，并且将生成的高湿空气提供到雾化管；雾化管，其被配置为连接超声波加湿器与新风系统或者循环风系统的送风系统的加湿段；高精度湿度传感器，其被配置对所述湿度控制目标区域的相对湿度进行实时测量，以产生用于控制超声波加湿量的控制湿度调节控信号。
用于半导体生产工艺洁净环境湿度调节装置

[实用新型]声表面波SAW器件压测装置-CN202220945253.6有效
发明人：徐轩涛;钱永学;赖亚明;周一峰;吴长春;黄鑫 -专利权人： 上海昂瑞创新电子技术有限公司
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本公开提供了一种声表面波SAW器件压测装置，其特征在于包括：机架，其被配置为包括底座和支杆；曲柄滑块机构，其与所述支杆连接，并且被配置为具有压紧自锁功能以在对压头执行压紧动作时，处于自锁状态；压头，其被配置为与所述曲柄滑块机构连接；测试电路板底座，其被配置为用于放置测试电路板；以及器件限位板，其被配置为用于调整器件的位置，以使得压头的中心位置与器件的中心重合。
表面波 saw 器件装置

[实用新型]用于贴膜机的膜收放卷装置及其贴膜机-CN202221686639.6有效
发明人：徐轩涛;赖亚明;周一峰;吴长春;钱永学;黄鑫 -专利权人： 上海昂瑞创新电子技术有限公司
申请日： 2022-07-01 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： B65B33/02 文献下载
摘要：本公开提供了一种用于贴膜机的膜收放卷装置及其贴膜机。所述贴膜机的膜收放卷装置包括：支撑结构，其被配置为对保护膜卷和底膜卷提供支撑；带传动组件，包括第一带轮、第二带轮、第一轮轴、第二轮轴以及传动带，其中，所述第一带轮和第二带轮通过传动带连接；保护膜卷，包括保护膜卷筒、第一膜轴、第一压紧端板组和第一压紧调节器；底膜卷，包括底膜卷筒、第二膜轴、第二压紧端板组、以及第二压紧调节器，其中，所述第一轮轴与通过第一啮合结构第一膜轴同轴连接，以及其中，所述第二轮轴与通过第二啮合结构第二膜轴同轴连接。
用于贴膜机膜收放卷装置及其

[实用新型]声表面波SAW器件解剖装置-CN202220945954.X有效
发明人：徐轩涛;钱永学;赖亚明;周一峰;吴长春;黄鑫 -专利权人： 上海昂瑞创新电子技术有限公司
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本公开提供了一种声表面波SAW器件解剖装置，其特征在于，包括：底座，其被配置为用于承载所述SAW器件解剖装置的零部件；器件升降平台，其被固定在底座上，并且用于安装器件夹具；升降旋钮，其被配置为通过转动所述升降旋钮，使得器件升降平台的上表面垂直移动；器件夹具，其被配置为夹持SAW器件；刀片固定平台，其被固定在底座上，并且通过旋杆与水平移动旋钮连接；刀片夹具，其被配置为通过旋杆与水平移动旋钮连接，并且被配置为用于夹持刀片；水平移动旋钮，其被配置为通过旋杆与刀片固定平台和刀片夹具连接，并且通过旋转所述水平移动旋钮使得刀片在水平方向移动；以及刀片，其被固定在所述刀片夹具上。
表面波 saw 器件解剖装置

[实用新型]鼓风式温控手臂-CN202220762495.1有效
发明人：吴雷雷;周一峰;吴长春 -专利权人： 上海昂瑞创新电子技术有限公司
申请日： 2022-04-02 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：一种鼓风式温控手臂，所述鼓风式温控手臂包括：所述鼓风式温控手臂包括：底部手臂，用于支撑晶圆，温控单元，其被配置为将加热的空气提供到晶圆，以控制晶圆温度的下降速度，连接杆，将所述底部手臂与所述温控单元耦合连接。
鼓风温控手臂

[发明专利]声表面波SAW器件解剖装置-CN202210429896.X在审
发明人：徐轩涛;钱永学;赖亚明;周一峰;吴长春;黄鑫 -专利权人： 上海昂瑞创新电子技术有限公司
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本公开提供了一种声表面波SAW器件解剖装置，包括：底座，其被配置为用于承载所述SAW器件解剖装置的零部件；器件升降平台，其被固定在底座上，并且用于安装器件夹具；升降旋钮，其被配置为通过转动所述升降旋钮，使得器件升降平台的上表面垂直移动；器件夹具，其被配置为夹持SAW器件；刀片固定平台，其被固定在底座上，并且通过旋杆与水平移动旋钮连接；刀片夹具，其被配置为通过旋杆与水平移动旋钮连接，并且被配置为用于夹持刀片；水平移动旋钮，其被配置为通过旋杆与刀片固定平台和刀片夹具连接，并且通过旋转所述水平移动旋钮使得刀片在水平方向移动；以及刀片，其被固定在所述刀片夹具上。
表面波 saw 器件解剖装置

[发明专利]用于贴膜机的膜收放卷装置及其贴膜机-CN202210774471.2在审
发明人：徐轩涛;赖亚明;周一峰;吴长春;钱永学;黄鑫 -专利权人： 上海昂瑞创新电子技术有限公司
申请日： 2022-07-01 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B65B33/02 文献下载
摘要：本公开提供了一种用于贴膜机的膜收放卷装置及其贴膜机。所述贴膜机的膜收放卷装置包括：支撑结构，其被配置为对保护膜卷和底膜卷提供支撑；带传动组件，包括第一带轮、第二带轮、第一轮轴、第二轮轴以及传动带，其中，所述第一带轮和第二带轮通过传动带连接；保护膜卷，包括保护膜卷筒、第一膜轴、第一压紧端板组和第一压紧调节器；底膜卷，包括底膜卷筒、第二膜轴、第二压紧端板组、以及第二压紧调节器，其中，所述第一轮轴与通过第一啮合结构第一膜轴同轴连接，以及其中，所述第二轮轴与通过第二啮合结构第二膜轴同轴连接。
用于贴膜机膜收放卷装置及其

[实用新型]用于划片工艺的空气净化装置-CN202220943629.X有效
发明人：朱云飞;朱正;周一峰;吴长春;钱永学;赖亚明;黄鑫 -专利权人： 上海昂瑞创新电子技术有限公司
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： F24F3/167 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于划片工艺的空气净化装置，其特征在于包括：水雾分离装置，所述水雾分离装置通过短管与划片机连接以接收划片湿空气，并且被配置为包括填料填充区和折流板；空气过滤装置，被配置为包括初效过滤装置和中效过滤装置；以及离心风机装置，被配置在所述初效过滤装置和中效过滤装置之间，以为所述中效过滤装置提供静压区，所述中效过滤装置与划片工艺的环境静压层连接，以将净化后的通气提供到环境静压层。
用于划片工艺空气净化装置

[实用新型]用于不同倍率光刻机的套刻标记-CN202220944276.5有效
发明人：祝嘉泳;王大地;吴雷雷;吴长春;周一峰;钱永学;赖亚明;黄鑫 -专利权人： 上海昂瑞创新电子技术有限公司
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本公开提供了一种用于不同倍率光刻机的套刻标记，其特征在于，包括：第一层套刻标记，所述第一层套刻标记被设置为十字形图案，并且用于X倍投影倍率的光刻机，X1,第二层套刻标记，所述第二层套刻标记被设置为回字形图案，并且用于1倍投影倍率的光刻机，以及当所述第一层套刻标记和所述第二层套刻标记被形成在晶圆上时，所述十字形的端点与所述回字形内部的四边等距。
用于不同倍率光刻标记

[发明专利]声表面波SAW器件压测装置-CN202210429885.1在审
发明人：徐轩涛;钱永学;赖亚明;周一峰;吴长春;黄鑫 -专利权人： 上海昂瑞创新电子技术有限公司
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G01R31/00 文献下载
摘要：本公开提供了一种声表面波SAW器件压测装置，包括：机架，其被配置为包括底座和支杆；曲柄滑块机构，其与所述支杆连接，并且被配置为具有压紧自锁功能以在对压头执行压紧动作时，处于自锁状态；压头，其被配置为与所述曲柄滑块机构连接；测试电路板底座，其被配置为用于放置测试电路板；以及器件限位板，其被配置为用于调整器件的位置，以使得压头的中心位置与器件的中心重合。
表面波 saw 器件装置

[发明专利]用于划片工艺的空气净化装置-CN202210429439.0在审
发明人：朱云飞;朱正;周一峰;吴长春;钱永学;赖亚明;黄鑫 -专利权人： 上海昂瑞创新电子技术有限公司
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： F24F3/167 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于划片工艺的空气净化装置，包括：水雾分离装置，所述水雾分离装置通过短管与划片机连接以接收划片湿空气，并且被配置为包括填料填充区和折流板；空气过滤装置，被配置为包括初效过滤装置和中效过滤装置；以及离心风机装置，被配置在所述初效过滤装置和中效过滤装置之间，以为所述中效过滤装置提供静压区，其中，所述中效过滤装置与划片工艺的环境静压层连接，以将净化后的通气提供到环境静压层。
用于划片工艺空气净化装置

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