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[发明专利]偏轴发光元件及应用其的图像提取模块-CN202210041441.0在审
发明人：陈运达;蔡明修;张育誉;黄建顺;周孟松 -专利权人：光宝科技股份有限公司
申请日： 2022-01-14 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： H04N23/55 文献下载
摘要：本发明提供一种偏轴发光元件及应用其的图像提取模块。偏轴发光元件包括载板、发光芯片以及光学件。载板具有一组装面，而发光芯片用以产生一光束，并具有一出光面。发光芯片设置在组装面上。光学件设置在组装面上，并具有一穹部。穹部位于光束的光路径上，并沿着第一方向延伸而呈长条形。穹部具有一第一参考面，且第一参考面在第二方向上相对于出光面的几何中心偏移，以使光束通过穹部，而形成偏轴投射光。借此，偏轴投射光所形成的光场呈非对称地分布，使光能可被限定在特定区域，抑制杂光并提高光能使用效率。
发光元件应用图像提取模块

[发明专利]光电封装结构-CN202111411880.8在审
发明人：林贞秀;陈柏智;黄建顺 -专利权人：光宝科技股份有限公司
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： H01L31/0203 文献下载
摘要：本发明公开一种光电封装结构。光电封装结构包括一基板、一金属件、一图案化绝缘层、一光电元件以及一固晶胶。金属件设置在基板上。图案化绝缘层设置在金属件上。图案化绝缘层具有多个凹槽。多个凹槽定义出一承载区。光电元件设置在承载区上。光电元件电性连接于金属件。固晶胶设置在光电元件与承载区之间，并且固晶胶填充于多个凹槽中。
光电封装结构

[发明专利]封装结构-CN202210021335.6在审
发明人：林贞秀;张育誉;黄建顺 -专利权人：光宝光电（常州）有限公司;光宝科技股份有限公司
申请日： 2020-08-10 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01L33/48 文献下载
摘要：本发明公开一种封装结构。封装结构包含第一电极对、第二电极对、第三电极对、以及本体。本体包覆第一电极对、第二电极对及第三电极对。本体包含第一容槽、第二容槽及第三容槽，第一容槽、第二容槽及第三容槽分别对应第一电极对、第二电极对及第三电极对的位置，并且第一容槽的开口面积大于第二容槽及第三容槽的开口面积。
封装结构

[发明专利]发光装置-CN202010796460.5有效
发明人：林贞秀;张育誉;黄建顺 -专利权人：光宝光电（常州）有限公司;光宝科技股份有限公司
申请日： 2020-08-10 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： H01L33/48 文献下载
摘要：本发明揭露一种发光装置。发光装置包含封装结构、第一发光芯片、第二发光芯片、第三发光芯片、第一封装胶体、第二封装胶体及第三封装胶体。第一发光芯片、第二发光芯片及第三发光芯片设置于封装结构的本体的第一容槽、第二容槽及第三容槽中，且与被本体包覆的第一电极对、第二电极对及第三电极对电性连接，而第一封装胶体、第二封装胶体及第三封装胶体填充于第一容槽、第二容槽及第三容槽中。第一容槽的第一开口大于第二容槽的第二开口，且第一容槽的第一开口大于第三容槽的第三开口。
发光装置

[实用新型]一种检测半导体设备的装置-CN201922050702.1有效
发明人：林茂春;田智杰;翁智杰;车应军;黄建顺 -专利权人：福建省福联集成电路有限公司
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2020-08-14 - 主分类号： G01N15/02 文献下载
摘要：本实用新型公布了一种检测半导体设备的装置，包括：制程腔、颗粒检测室、颗粒检测装置、气体输送器和抽气泵，所述制程腔与所述颗粒检测室通过第一管道连接，所述第一管道上设置有阀门，所述颗粒检测室与所述颗粒检测装置通过第二管道连接，所述颗粒检测室与所述气体输送器通过第四管道连接，所述第四管道上设置有阀门，所述颗粒检测室与所述抽气泵通过第六管道连接。本方案使用颗粒检测装置对颗粒检测室的颗粒进行检测，颗粒检测室的颗粒可以间接反映制程腔内的清洁度，不需要从制程腔中取出监控片便可以进行检测，避免晶圆出现报废，降低成本费用，测试效率高。
一种检测半导体设备装置

[实用新型]一种滤芯更换装置-CN201921297366.4有效
发明人：王嘉伟;黄建顺;王志伟;田智杰;郭书龙;陈东仰 -专利权人：福建省福联集成电路有限公司
申请日： 2019-08-12 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： B01D35/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种滤芯更换装置，包括外壳、承载台和升降机构，升降机构包括升降杆和驱动单元，外壳的一侧设置有开口，开口相对的壳体另一侧壁上设置有通孔。壳体的开口可以和滤芯的壳体相连接，并预先将滤芯放置在承载台上，通过升降机构的驱动单元，驱动升降杆移动，使得承载台可以朝向壳体的开口方向移动，继而将滤芯压入滤芯的壳体内。通过滤芯更换装置的机械结构安装滤芯，较为省时省力；且利用滤芯更换装置安装滤芯的过程中，会使得滤芯受力较为均匀，并降低滤芯端面处的密封圈以及滤芯本体损坏的概率，降低了维护的成本。
一种更换装置

[实用新型]一种新型过滤装置-CN201921297380.4有效
发明人：林茂春;黄建顺 -专利权人：福建省福联集成电路有限公司
申请日： 2019-08-12 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： B01D29/01 文献下载
摘要：本实用新型提供一种新型过滤装置，包括壳体和滤芯，壳体包括进液外壳和出液外壳，进液外壳的一端面设置有进液口，出液外壳的一端面设置有出液口，滤芯的一侧面上设置有过滤孔，与滤芯一侧面相对的另一侧面上设置有滤芯导管。将滤芯装夹于进液外壳的第一容置槽和出液外壳的第二容置槽内。且进液口、出液口与滤芯的过滤孔相互平行，因此可以降低滤芯的占用空间。且两半式的装夹固定，便于安装或拆卸滤芯，加上滤芯导管的定位安装，可以有效的避免滤芯安装偏移的问题，提高过滤性能。且新型过滤装置中的液体以近直线方式过滤，液体流动的动能损害小，流量可调解范围大，提高了过滤的效果。
一种新型过滤装置

[实用新型]改善ICP腔体制程气体分布不均的结构及气体均匀组件-CN201921742193.2有效
发明人：林茂春;翁智杰;田智杰;车应军;黄建顺 -专利权人：福建省福联集成电路有限公司
申请日： 2019-10-17 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： H01J37/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及了改善ICP腔体制程气体分布不均的结构及气体均匀组件，包括上分流板、下分流板以及外壳，外壳为上端设置有开口的壳状结构，且外壳底部均匀开设有外壳通孔，上分流板以及下分流板均设置于外壳内，且上分流板设置于下分流板的上方；上分流板外缘均匀开设有上分流板通孔，所述上分流板上端设置有气流通道，所述气流通道设置有进气口与出气口，所述气流通道的进气口朝上设置，所述气流通道的出气口朝向上分流板通孔设置，用于均匀地向各分流板通孔输送气流；所述下分流板上环形阵列设置有下分流板通孔，所述下分流板通孔孔径自上分流板中心到边缘方向逐渐减小。该气体均匀组件能有效地将气流均匀分散开，从而提高晶圆生产质量。
改善 icp 体制气体分布不均结构均匀组件

[实用新型]一种基于制程腔体的吸盘结构及制程腔-CN201921412162.0有效
发明人：林茂春;翁智杰;黄建顺 -专利权人：福建省福联集成电路有限公司
申请日： 2019-08-28 - 公布日： 2020-04-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种基于制程腔体的吸盘结构及制程腔，基于制程腔体的吸盘结构包括转动机构、吸盘载台、控制器、机台。吸盘载台上沿中心阵列设置有多个吸盘，吸盘载台位于机台上方，转动机构位于吸盘载台下方与机台之间，转动机构与吸盘载台中心连接，转动机构用于带动吸盘载台转动，控制器与转动机构相连。利用机械手臂将晶舟内的多片晶圆依次传送至制程腔中，通过转动机构将空置的吸盘转动至相应的位置接受晶圆，直至所有吸盘中都具有晶圆时方可进行制程，制程结束后，机械手臂再将腔体内的晶圆依次取出，并重新传回晶舟原其所在的位置。在本实用新型中，对晶圆的单片制程进行改进，将大大提升晶圆制程的效率，同时极大程度减少了腔体中能量、气体的损失。
一种基于制程腔体吸盘结构制程腔

[实用新型]一种晶圆背面洁净的载台-CN201921346077.9有效
发明人：翁智杰;林茂春;黄建顺 -专利权人：福建省福联集成电路有限公司
申请日： 2019-08-19 - 公布日： 2020-04-14 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆背面洁净的载台，包括载台、清洁机构和盖子，载台包括放置腔和清洁腔，放置腔与清洁腔之间设置有清洗通孔，放置腔远离清洁腔的载台侧壁设置有开口，盖子可密封或分离设置在开口上。通过载台的开口，将晶圆置于放置腔内，并且晶圆的背面朝向清洁腔，继而再使用盖子将开口封闭。此时，驱动清洁机构对晶圆的背面进行清洁，有效的避免的人工手动擦洗晶圆的背面，防止晶圆二次污染的问题，同时晶面圆背擦拭过程中无需用手触碰，因此避免了人为因素造成晶圆损坏的问题。
一种背面洁净

[实用新型]一种旋转叉臂-CN201921358008.X有效
发明人：黄自培;黄建顺;林元鼎 -专利权人：福建省福联集成电路有限公司
申请日： 2019-08-21 - 公布日： 2020-03-24 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型提供一种旋转叉臂，包括叉臂和加热模块，叉臂包括传动臂和承载环，加热模块包括导热单元和控温单元。通过叉臂上的环形承载环对晶圆进行支撑，提高晶圆与叉臂之间的接触面积，同时可以稳定的移动晶圆。并在取晶圆时，可以通过加热模块对承载环进行预先加热，达到退火时晶圆的温度，避免承载环宇晶圆之间温差较大造成破片，且通过控温单元对导热单元进行逐级的降温，达到晶圆自然降温的效果，而不会因为环境的温差而造成破片，提高了晶圆退火后的生产良率，以及生产效率。
一种旋转

[实用新型]一种用于清除半导体设备废气的接头装置-CN201920136728.5有效
发明人：林茂春;黄建顺 -专利权人：福建省福联集成电路有限公司
申请日： 2019-01-25 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： F04B53/16 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于清除半导体设备废气的接头装置，包括接头本体和排气管，接头本体的一侧设置为弧面，弧面设置有多个吸气孔，且多个吸气孔位于接头本体的内部相互导通设置，排气管设置在接头本体的另一侧面上，且排气管贯穿接头本体的侧面与吸气孔相导通设置。将半导体设备的顶盖打开时，使用接头本体贴合着半导体设备的开口位置，并将外溢的有害气体从吸气孔中吸入，并经由排气管进行存储或中和处理，避免环境的污染或对人体造成伤害，提高接头装置的安全性。
接头本体半导体设备排气管吸气孔接头装置导通废气本实用新型顶盖打开弧面设置开口位置中和处理弧面贴合吸入存储侧面贯穿伤害污染

[实用新型]一种蚀刻化学槽-CN201920108149.X有效
发明人：王嘉伟;黄建顺 -专利权人：福建省福联集成电路有限公司
申请日： 2019-01-22 - 公布日： 2019-09-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种蚀刻化学槽，包括槽体、槽盖和动力模块，槽体设置有开口，槽体外侧面设置有闭环密封槽，且闭环密封槽沿着开口周侧闭环设置，闭环密封槽内设置有密封圈，动力模块用于推动槽盖对槽体的开口进行封盖或开启；当槽盖封盖与开口时，密封圈位于槽盖与槽体之间。在槽体上开设一个开口，并通过动力模块将槽盖封盖在该开口上。同时，沿着开口的轮廓开设一个闭环密封槽，并在该闭环密封槽内放置一个密封圈，使得槽体与槽盖之间在封盖时可以达到密封，避免槽体内的化学药液的挥发，提高蚀刻化学槽的整体装置的使用寿命和安全性。
闭环槽体开口密封槽槽盖密封圈封盖蚀刻动力模块化学槽本实用新型槽体外侧面化学药液使用寿命整体装置推动槽挥发密封体内

[发明专利]一种蚀刻装置控制方法和系统-CN201810215114.6有效
发明人：许孟凯;王嘉伟;黄建顺;陈胜男;林张鸿;林豪;林伟铭 -专利权人：福建省福联集成电路有限公司
申请日： 2018-03-15 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开一种蚀刻装置控制方法和系统，应用于蚀刻装置内，包括如下步骤：控制循环洁净单元将溶液由溢流槽抽到反应槽底部的入射单元；控制机械手臂移动晶舟到反应槽内；在达到制程结束前的预设时间时，控制循环洁净单元将溶液由反应槽底部抽到喷淋单元；在制程结束时控制机械手臂将晶舟从反应槽内移出。上述技术方案通过循环洁净单元抽取反应槽内的溶液，并在过滤洁净后对反应后的晶圆进行冲刷，避免晶圆上的反应物残留，进而提高化学蚀刻的品质。
反应槽洁净单元蚀刻装置机械手臂控制循环晶圆晶舟制程化学蚀刻入射单元反应物溢流槽冲刷喷淋移出预设抽取过滤残留洁净移动应用

[实用新型]一种废铅还原熔炼烟气除尘装置-CN201721874342.1有效
发明人：朱建浩;黄建顺 -专利权人：饶平县华宇环保技术有限公司
申请日： 2017-12-26 - 公布日： 2018-10-30 - 主分类号： B01D50/00 文献下载
摘要：本实用新型提供本实用新型为一种废铅还原熔炼烟气除尘装置，主要包括旋风收尘器、表冷器及电脉冲布袋收尘器，所述电脉冲布袋收尘器进气端均通过管道与表冷器连通、出气端均通过管道与风机连通，还设有与电脉冲布袋收尘器并联的气体旁路管，其中，电脉冲布袋收尘器的进气端、出气端均设有第一电动蝶阀，气体旁路管中设有第二电动蝶阀。本实用新型以解决烟气除尘后排出的粉尘容易扬尘的问题为目的，通过在收集同时进行输送、冷却、增湿，使增湿物料湿度均匀可靠，同时粉尘所排出的气体进一步过滤，保证车间工作环境的干净、卫生。
布袋收尘器电脉冲本实用新型烟气除尘装置电动蝶阀还原熔炼气体旁路表冷器出气端进气端废铅增湿连通粉尘车间工作环境旋风收尘器烟气除尘并联风机排出扬尘后排过滤冷却卫生保证

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