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[发明专利]具有声子晶体结构的TPoS谐振器、滤波器及电子设备-CN202310737358.1在审
发明人：李言嘉;鲍飞鸿;吴淑娴;吴宗霖;钱航宇;邹洁 -专利权人：复旦大学
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种具有声子晶体结构的TPoS谐振器、滤波器及电子设备，该具有声子晶体结构的TPoS谐振器包括：支撑台、谐振器主体以及位于所述支撑台和所述谐振器主体之间的悬臂梁；其中，所述悬臂梁的一端连接至所述支撑台，另一端连接至所述谐振器主体；位于所述悬臂梁上的声子晶体结构。也就是说该TPoS谐振器通过对悬臂梁进行改进，通过在悬臂梁上添加声子晶体结构，利用声子晶体结构对声波的带通效应与反射效应减少了声波能量从悬臂梁往外泄露，以此减少了TPoS谐振器的锚点损耗，有效提高了TPoS谐振器的品质因数。
有声晶体结构 tpos 谐振器滤波器电子设备

[发明专利]谐振器、滤波器及电子设备-CN202180089501.X在审
发明人： 鲍飞鸿;刘鹏;李起;张强 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2021-03-29 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本申请提供了一种谐振器、滤波器及电子设备，涉及谐振器领域，能够提高谐振器的品质因数；该谐振器包括压电基板、设置在压电基板上的叉指换能器；多个叉指电极的并列设置方向为第一方向；压电基板在沿第一方向上、位于多个叉指电极的至少一侧设置有侧边沟槽。
谐振器滤波器电子设备

[发明专利]声表面波谐振器、MEMS设备-CN202310651156.5在审
发明人：吴淑娴;鲍飞鸿;吴宗霖;钱航宇;胡昭;邹洁 -专利权人：深圳新声半导体有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请涉及谐振器技术领域，公开一种声表面波谐振器，包括：压电衬底，用于声电换能；压电衬底的外表面设置有叉指电极结构；叉指电极结构，通过施加电压以激励声电换能；叉指电极结构包括两个汇流条和垂直连接汇流条的多个电极指；第一活塞部，设置在有效区域靠近连接部的边缘；有效区域为电极指中属于有效孔径的区域；连接部为第一活塞部所处电极指连接的汇流条；第二活塞部，设置在各电极指的末端所处区域；第二活塞部与第一活塞部的俯视形状不同。这样，能够使得声波在声表面波谐振器的不同区域具有更大的声速差，从而更好地抑制声表面波谐振器的横向模式杂波，进而改善声表面波谐振器的声学性能。本申请还公开一种MEMS设备。
表面波谐振器 mems 设备

[发明专利]一种集成声子晶体矩阵的微机电谐振器及其加工方法-CN201910618049.6有效
发明人：鲍景富;周鑫;鲍飞鸿;陈英兰;张鹏宇;谢荣华 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H03H3/007 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成声子晶体矩阵的微机电谐振器及其加工方法，所述微机电谐振器包括支撑台、位于支撑台上面的外接输入电极、外接输出电极、外接地电极、支撑梁、谐振体以及声子晶体矩阵；外接输入电极和外接输出电极对称放置在支撑台顶端的两侧，且其两侧均对称设置有外接地电极；谐振体通过两根支撑梁的固定悬浮在支撑台顶端的中心处，其两侧对称的放置有声子晶体矩阵，且其上面的叉指电极通过对应的金属导线与外接输入电极和外接输出电极电性连接；声子晶体矩阵具有3×12个晶胞和频率范围从127MHz到216MHz的完全带隙。本发明解决了现有微机电谐振器在实际应用中存在的锚点损耗较大、品质因数较低以及稳定性低的问题。
一种集成晶体矩阵微机谐振器及其加工方法

[发明专利]一种微机电声波谐振器-CN202210978116.7在审
发明人： 鲍飞鸿;吴淑娴;吴宗霖;钱航宇;邹洁 -专利权人：复旦大学
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种微机电声波谐振器，涉及射频微机电系统领域，该谐振器包括：支撑台、绕线型减振外框、谐振体、输入电极和输出电极；支撑台的上表面开设有台阶沉孔，下表面开设有与台阶沉孔贯通的镂空结构；镂空结构在上表面上的投影能够覆盖台阶沉孔；绕线型减振外框位于台阶沉孔内且与支撑台固定；绕线型减振外框为封闭线框；谐振体位于绕线型减振外框内且与绕线型减振外框固定；输入电极和输出电极设置于支撑台的上表面，并分别通过金属导线与谐振体连接；金属导线沿着绕线型减振外框的轮廓布设。本发明能减小谐振器的能量损耗，提高谐振器的品质因数。
一种微机声波谐振器

[发明专利]一种声表面波谐振器、温度传感器及温度检测方法-CN202210960120.0在审
发明人：钱航宇;鲍飞鸿;吴淑娴;吴宗霖;邹洁 -专利权人：复旦大学
申请日： 2022-08-11 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本发明涉及一种基于多层结构的声表面波谐振器、温度传感器及温度检测方法，所述声表面波谐振器包括从下到上依次设置的压电层、电极层和温度敏感层；所述温度敏感层的温度‑频率系数大于所述压电层的温度‑频率系数。本发明通过增加温度‑频率系数较大的温度敏感层，以提升声表面波谐振器整体的温度‑频率系数，克服了现有的声表面波谐振器的检测精度(取决于声表面波谐振器整体的温度‑频率系数)，受到压电层的温度‑频率系数的限制的技术缺陷，进一步提高了声表面波谐振器的温度检测精度。
一种表面波谐振器温度传感器温度检测方法

[发明专利]一种集成鱼鳞形反射镜阵列的体声波谐振器及其加工方法-CN201910769613.4有效
发明人：宋亚梅;周鑫;鲍景富;鲍飞鸿;张翼;吴兆辉 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2019-08-20 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种集成鱼鳞形反射镜阵列的体声波谐振器及其加工方法，所述体声波谐振器包括SOI基底、位于SOI基底顶端的输入电极盘、输出电极盘、地电极盘，以及通过支撑梁固定并悬浮于SOI基底中心处的谐振体，谐振体两侧集成了鱼鳞形反射镜阵列；输入电极盘和输出电极盘对称设置在SOI基底顶端的两侧，且输入电极盘和输出电极盘的两侧均对称设置有地电极盘；鱼鳞形反射镜阵列由四列反射镜通过交错排列构成，并集成在谐振体两侧的末端。本发明解决了现有体声波谐振器中存在的锚点损耗较大、品质因数较低的问题，有利于实现其在低相位噪声振荡器，窄带滤波器和高精度传感器中的应用。
一种集成鱼鳞反射阵列声波谐振器及其加工方法

[发明专利]一种具有多对驱动感应电极的电容式MEMS谐振器-CN201710191273.2有效
发明人：鲍景富;秦风;李昕熠;鲍飞鸿;张翼;张亭 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2017-03-23 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：本发明属于电子科学技术领域，具体提供一种具有多对驱动感应电极的电容式MEMS谐振器，用以克服现有电容式谐振器输出电流小、带负载能力差的问题；本发明MEMS谐振器，包括1个振动块、4个振动块支撑梁、4个振动块锚点、4个输入输出电极、4个电极支撑梁及4个电极锚点，通过对振动块进行分区掺杂、及输入输出电极掺杂的方法，构造四对驱动感应电极，使谐振器工作时的静电力大幅增加，从而使谐振器的输出电流和最大振动幅度也大幅增加，提高了谐振器的驱动能力。
一种具有驱动感应电极电容 mems 谐振器

[发明专利]一种薄膜体声波谐振器-CN201710139948.9有效
发明人：鲍景富;李昕熠;鲍飞鸿;张翼;张亭;鲍蕾蕾 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2017-03-10 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本发明公开了一种薄膜体声波谐振器，涉及射频微机电系统技术领域。本发明谐振器包括基底、支撑台、薄膜结构层和外接电极，所述薄膜结构层包括石墨烯薄膜、压电薄膜和金属钛膜；薄膜结构层中两个石墨烯薄膜分别作为顶电极和底电极，顶电极和底电极相互交叉且隔离设置，并分别对应支撑台形成电气连通；压电薄膜位于顶电极与底电极平面之间形成石墨烯薄膜‑压电薄膜‑石墨烯薄膜的压电谐振堆，顶电极与输入外接电极电气连通，能够基于逆压电效应能够将电能量转换成声波形成谐振，底电极与输出外接电极电气连通，能够将产生信号进行输出。本发明能够有效降低薄膜体声波谐振器的锚点损耗和界面损耗，提高器件的工作频率和高品质因素。
一种薄膜声波谐振器

[实用新型]一种具有多级减振外框的体声波谐振器-CN201822166121.X有效
发明人：鲍焦隆;李泽民;鲍景富;鲍飞鸿;李中豪;骆晓宝;苏应兵;欧阳添倍 -专利权人：浙江铭道通信技术有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2019-08-09 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本实用新型提供的一种具有多级减振外框的体声波谐振器，包括支撑台，以及位于支撑台顶端的谐振体、外接输入电极、外接输出电极、外接地电极以及多级减振外框；外接输入电极和外接输出电极对称设置在支撑台顶端的两侧，且外接输入电极和外接输出电极的两侧均对称设置有外接地电极；谐振体设置在支撑台顶端的中心处，且其两侧分别通过对应的金属导线与外接输入电极和外接输出电极电性连接；多级减振外框围绕中心的谐振体均匀设置；本实用新型解决了现有技术存在的锚点损耗较大、品质因数难以提高以及可靠性低的问题。
外接多级减振输出电极输入电极支撑台外框谐振体体声波谐振器本实用新型对称设置接地电极电性连接金属导线均匀设置品质因数中心处锚点

[发明专利]一种具有多级减振外框的体声波谐振器及其加工方法-CN201811573062.6在审
发明人：鲍焦隆;李泽民;鲍景富;鲍飞鸿;李中豪;骆晓宝;苏应兵;欧阳添倍 -专利权人：浙江铭道通信技术有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种具有多级减振外框的体声波谐振器及其加工方法，所述具有多级减振外框的体声波谐振器，包括支撑台，以及位于支撑台顶端的谐振体、外接输入电极、外接输出电极、外接地电极以及多级减振外框；外接输入电极和外接输出电极对称设置在支撑台顶端的两侧，且外接输入电极和外接输出电极的两侧均对称设置有外接地电极；谐振体设置在支撑台顶端的中心处，且其两侧分别通过对应的金属导线与外接输入电极和外接输出电极电性连接；多级减振外框围绕中心的谐振体均匀设置；本发明解决了现有技术存在的锚点损耗较大、品质因数难以提高以及可靠性低的问题。
外接多级减振外框输出电极输入电极支撑台体声波谐振器谐振体对称设置接地电极电性连接金属导线均匀设置品质因数中心处锚点加工

[发明专利]一种高精度模数转换器-CN201410426242.7有效
发明人：鲍景富;汪帆;张元玮;鲍飞鸿;朱亚军;邓迪 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2014-08-27 - 公布日： 2017-12-01 - 主分类号： H03M1/12 文献下载
摘要：本发明属于电子电路技术领域，具体涉及到一种高精度模数转换器。本发明由依次连接的第二电压跟随器102和模数转换器104构成电压测量部分；依次连接的数模转换器103和第一电压跟随器101构成电压产生部分；由第一电阻110、第二电阻111、第三电阻112、第四电阻113和运算放大器115构成减法运算电路108；由第五电阻114与仪表放大器116构成电压放大器109；减法运算电路108与电压放大器109构成剩余电压放电部分。本发明的有益效果为，能够实现20bit分辨率，1MHZ采样率，1LSB最大积分非线性，满量程转换误差小于1ppm，可以应用于6位半数字万用表，也可应用于对采样速度要求较高的高准确度数字采集器和高端仪器仪表。本发明尤其适用于高精度模数转换器。
一种高精度转换器

[发明专利]一种具有低插入损耗的MEMS压电谐振器-CN201510873190.2在审
发明人：鲍景富;李昕熠;张超;秦风;鲍飞鸿;张翼 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2015-12-03 - 公布日： 2016-03-09 - 主分类号： H03H9/24 文献下载
摘要：本发明属于射频通信及微机电系统中的元器件技术领域，涉及一种具有低插入损耗的MEMS压电谐振器，该谐振器采用叉指形状的输入、输出换能电极，使得谐振块上施加的驱动力分布更加均匀，解决了由于宽度增加带来的电极换能器应力分布不均匀的问题，包括基底、支撑台、谐振块、支撑梁，所述谐振块上设置压电薄膜，压电薄膜上设置输入、输出换能电极，输入、输出换能电极通过位于支撑梁上的金属走线与位于支撑台上的外部互连金属区连接导通，其特征在于，所述输入、输出换能电极呈叉指形状分布。本发明压电谐振器，在谐振频率不改变的情况下，通过增加谐振块的宽度w来减小动态阻抗R、并提升品质因数，进而大大降低谐振器的插入损耗。
一种具有插入损耗 mems 压电谐振器

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