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- [发明专利]纳米柱阵列及其制备方法-CN202010174753.X有效
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段天利;张锐;王尧;马续航;王春柱;瞿学选
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南方科技大学
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2020-03-13
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2023-09-08
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B81B7/04
- 本发明涉及一种纳米柱阵列及其制备方法。上述纳米柱阵列的制备方法包括如下步骤：采用电子束抗蚀剂在衬底上形成抗蚀层；将抗蚀层进行曝光和显影，以在抗蚀层上曝光出多个间隔排列的直径为50nm～100nm的图案；在衬底上形成金属层，且金属层遮蔽抗蚀层，金属层的厚度至少为20nm且小于抗蚀层的厚度的三分之一；去除抗蚀层，得到具有多个间隔排列的金属图案的金属层；从衬底形成有金属层的一侧，沿垂直方向对衬底进行离子刻蚀，以使衬底上未被金属图案覆盖的区域被刻蚀，形成多个间隔的柱体；去除衬底上的金属图案，得到纳米柱阵列，纳米柱阵列包括多个间隔排列的纳米柱。上述制备方法能够使纳米柱阵列中的纳米柱直径小于50nm，高宽比大于20。
- 纳米阵列及其制备方法
- [实用新型]一种耐高温的气动翻转挡省空间挡板-CN202221965137.7有效
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马续航;高卫民;张锐;王春柱;王尧;瞿学选
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南方科技大学
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2022-07-28
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2023-01-24
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C23C14/34
- 本实用新型属于真空镀膜技术领域，公开了一种耐高温的气动翻转挡省空间挡板，包括真空镀膜机架以及与真空镀膜机架固定连接的工件承载支架，在工件承载支架的一侧通过螺钉可拆卸连接有连接垫板，在连接垫板背离工件承载支架的一侧转动连接有竖向连板，连接垫板与竖向连板相互平行设置，竖向连板包括导向段和连接段，导向段的顶部可拆卸连接有导向挡板架，在导向挡板架的上端一体连接有用于防止溅射物的污染翻转挡板，翻转挡板呈半球形凹面设计，节省空间，在连接段的底部转动连接有翻转传动组件。本实用新型设计简单，结构合理，解决了现有技术中挡板机构占用空间大，灵活性差，且会对腔体内部流场方向产生影响，从而造成使用可靠性下降等问题。
- 一种耐高温气动翻转空间挡板
- [实用新型]一种新型冷却结构的水冷腔体-CN202222242837.X有效
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高卫民;马续航;胡青莲
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深圳市新普真空技术有限公司
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2022-08-24
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2023-01-17
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F25D31/00
- 本实用新型属于真空镀膜技术领域，公开了一种新型冷却结构的水冷腔体，包括腔体本体，应用于真空镀膜设备并套设于所述真空镀膜设备外部，腔体本体呈多边棱柱体结构设计，在腔体本体的各个面设置有密封板，密封板与腔体本体槽接，在腔体本体的内部开设有若干条冷却水通道，冷却水通道包括水平孔道和竖直孔道，水平孔道呈正多边形结构设计并设置于腔体本体的上下表面，竖直孔道垂直设置于腔体本体的若干条棱柱内部。本实用新型通过将腔体本体设置成多边棱柱体结构并在其内部水平和竖直方向设置可选水冷结构，提高设备功率，减少热量损失。此外，多边棱柱体结构方便布置附件，且方便配合工艺角度易于加工，减少生产成本，提高了产品的市场竞争力。
- 一种新型冷却结构水冷
- [实用新型]一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置-CN202222307281.8有效
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高卫民;马续航;胡青莲
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深圳市新普真空技术有限公司
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2022-08-31
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2023-01-17
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C23C14/35
- 本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，公开了一种模块化的磁控阴极的阳极布气装置，包括基体法兰，在基体法兰的一侧设置有阳极布气组件，阳极布气组件包括：两个阳极端板以及连接于所述两个阳极端板之间的若干阳极中间板；阳极端板的一端设置固定有阳极端挡板，并通过阳极端挡板与基体法兰固定，在阳极端板和阳极中间板的外侧还设置有阳极纵挡板；阳极端板和阳极中间板的表面开设有若干气孔；在阳极端板和阳极中间板的内侧设置有分别与阳极端板相配合的端组合靶材和与阳极中间板相配合的中间组合靶材。本实用新型设置模块化的阳极布气板块及气路，使得气路可根据需要调节，提高靶材的利用率和镀膜均匀性，提高了装置的实用性和市场竞争力。
- 一种模块化阴极阳极装置
- [实用新型]一种无密封槽的真空腔体-CN202222242829.5有效
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高卫民;马续航;胡青莲
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深圳市新普真空技术有限公司
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2022-08-24
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2023-01-13
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C23C14/22
- 本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，公开了一种无密封槽的真空腔体，包括腔体框架以及嵌设于腔体框架各个面的若干密封板，腔体框架包括第一、第二基体法兰以及设置于所述第一、第二基体法兰之间的若干密封柱，密封柱沿着基体法兰的圆周边线设置，用于与密封板相抵接；密封板与密封柱螺纹连接，密封板靠近密封柱的一侧开设有斜槽面，密封柱靠近密封板的一侧设置有挤压棱柱，挤压棱柱与斜槽面相匹配；斜槽面分为第一、第二斜面，以及设于第一斜面与第二斜面夹角处的切割槽，切割槽内设置有用于提升密封性能的第一密封圈。本实用新型设置的斜槽面与挤压棱柱很大程度降低了加工难度，更利于批量生产，此外这种结构设计也提升了腔体的密封性能。
- 一种密封空腔
- [实用新型]一种高安全性的多弧源-CN202222235471.3有效
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高卫民;马续航;胡青莲
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深圳市新普真空技术有限公司
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2022-08-24
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2022-12-20
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C23C14/32
- 本实用新型属于真空镀膜生产设备技术领域，公开了一种高安全性的多弧源，包括多弧源装置本体以及穿设于所述多弧源装置本体的引弧装置，所述多弧源装置本体包括：基体法兰以及嵌设于所述基体法兰底部的磁路座，所述磁路座的底部向内嵌设有磁路套筒，所述磁路座的底部向外套设有磁路座绝缘盖板，在所述磁路座绝缘盖板的底部设有磁场调节千分头，所述磁场调节千分头的一端穿过所述磁路座绝缘盖板延伸至所述磁路套筒内部，此外，所述引弧针背离所述引弧装置的一端向所述靶材表面弯曲，且由柔性材料制成。本实用新型通过设置可调节的磁场千分头以及将引弧针设计成柔性材料，提升靶材利用率和生产安全性，增强了产品的实用性和市场竞争力。
- 一种安全性多弧源
- [发明专利]深槽的填充方法及深槽的填充结构-CN202110452788.X有效
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瞿学选;马续航;王尧;段天利;王春柱;张锐
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南方科技大学
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2021-04-26
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2022-11-15
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H01L21/768
- 本发明涉及一种深槽的填充方法及深槽的填充结构。上述深槽的填充方法包括如下步骤：提供具有至少一深槽的半导体衬底，深槽的深宽比小于或等于40；将绝缘件置于半导体衬底上，且绝缘件遮蔽深槽的开口，绝缘件的材质为聚合物材料；对绝缘件进行加热，使绝缘件呈液态；在真空条件下，对绝缘件加压，使液态的绝缘件填充于深槽内，然后固化，在深槽内形成绝缘层。上述深槽的填充方法在深槽内填充绝缘层仅需要几分钟至十几分钟，较传统的化学气相沉积的方法(需要几十个小时)大大节省了沉积时间，提高了生产效率。且以聚合物材料为绝缘件的材料，较传统的以二氧化硅为绝缘层，介电常数相差不大，甚至部分高于二氧化硅，绝缘性好。
- 填充方法结构
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