专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]静电吸附装置和晶圆吸附方法-CN202111356477.X在审
  • 罗艳杰;董智超;陈倩男;孟颖;胡淼龙 - 长江存储科技有限责任公司
  • 2021-11-16 - 2022-03-04 - H01L21/683
  • 本发明公开了一种静电吸附装置和晶圆吸附方法。该静电吸附装置包括:卡盘;电压源;至少一个光源;至少一个传感器,用于接收源光束或者源光束的反射光束,并将源光束或反射光束的光信号转化为电信号;以及电压调节模块,与至少一个传感器相连接以接收电信号,与电压源相连接以提供调节信号,调节信号用于调节吸附电压。其中,电压调节模块根据电信号判断至少一个传感器是否接收到光束,在至少一个传感器未接收到光束的情形下,重复调节吸附电压,直至至少一个传感器接收到光束。本发明的静电吸附装置重复调整卡盘的吸附电压,因而无需根据晶圆翘曲度计算吸附电压,可以降低系统复杂度并且提高吸附电压调节的响应速度和准确度。
  • 静电吸附装置方法

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