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[发明专利]一种表面具有纳米金刚石薄膜涂层的PCBN刀具及其制备方法-CN202110687456.X有效
发明人：王晓飞;邬苏东;李玉磊;任富增;赵予生 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2021-06-21 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C16/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种表面具有纳米金刚石薄膜涂层的PCBN刀具及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：将预处理后的PCBN刀具在纳米金刚石粉中进行干抛至光亮，然后置于基台上，放入微波等离子体化学气相沉积系统中抽真空，抽真空后通入第一反应源气体；开启微波等离子体化学气相沉积系统，微波激发第一反应源气体产生等离子体球，然后通入第二反应源气体开始沉积，沉积完成后得到表面具有纳米金刚石薄膜涂层的PCBN刀具；所述制备方法优化了微波等离子体化学气相沉积工艺，通过调控制备条件，在刀具表面均匀沉积纳米级金刚石涂层，有效提高了金刚石涂层的薄膜质量与稳定性，延长了刀具的使用寿命，具有较好的工业化应用前景。
一种表面具有纳米金刚石薄膜涂层 pcbn 刀具及其制备方法

[发明专利]光电玻璃及其制备方法、发光器件-CN202310021147.8在审
发明人：王晓飞;韩松柏;朱金龙;邬苏东;赵予生 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： C03C14/00 文献下载
摘要：本申请涉及激光照明技术领域，涉及一种光电玻璃及其制备方法、发光器件。光电玻璃，包括：发光点和基质；发光点分散在基质中；发光点为石墨烯量子点材料，基质为铝硼硅系微晶玻璃。本申请的光电玻璃，石墨烯量子点在微晶玻璃基质中均匀分散、无团聚，有助于提高大功率白光照明器件的发光效率和发光均匀性。并且本申请的光电玻璃相比于现有的发光薄膜来说，能够展现出更加优异的机械强度、热稳定性、耐蚀性。因而，将本申请的新型光电玻璃应用于发光器件，能够提高器件的发光稳定性，解决聚合物发光器件出现光通量衰减、稳定性下降、色坐标漂移等问题。
光电玻璃及其制备方法发光器件

[发明专利]一种有序图案化多孔金刚石薄膜及其制备方法和用途-CN202010611752.7有效
发明人：王晓飞;许佼;李玉磊;邬苏东;任富增;赵予生 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2020-06-29 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本发明公开了一种有序图案化多孔金刚石薄膜及其制备方法和用途。所述多孔金刚石薄膜包括微米尺度的有序图案化孔洞以及微米金刚石薄膜；所述孔洞的底面中空，所述微米金刚石薄膜连续分布在孔洞的底面边缘、侧壁以及非孔洞的位置。所述方法包括：1)采用纳米压印方法在基底上获得有序图案化的孔洞，得到图案化的基底；2)采用微波等离子体化学气相沉积方法，在基底上沉积生长微米金刚石薄膜，得到有序图案化多孔金刚石薄膜。本发明的金刚石薄膜在厚度方向上均匀致密、表面多孔结构空间尺寸可控可调，有效实现了金刚石超硬涂层表面的大面积图案化薄膜的制备和生长。
一种有序图案多孔金刚石薄膜及其制备方法用途

[发明专利]反钙钛矿电解质薄膜、全固态薄膜钠电池及制备方法-CN202210416261.6在审
发明人：王晓飞;李志强;邬苏东;任富增;赵予生 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： H01M10/058 文献下载
摘要：一种反钙钛矿电解质薄膜、全固态薄膜钠电池及制备方法，属于储能技术领域。利用磁控共溅射轰击NaB靶材和Na2AO4靶材，原位反应合成结晶性良好、膜层易于控制的反钙钛矿结构的Na3AO4B电解质薄膜。利用上述反钙钛矿结构的Na3AO4B电解质薄膜构建全固态薄膜钠电池，该电解质薄膜具有良好的离子导电率，适宜的膜层厚度，良好的结晶性，以提高全固态薄膜钠电池的电池性能。通过逐层连续沉积制备得到的全固态薄膜钠电池，在降低操作复杂性的同时，实现了各个膜层的固‑固接触，进一步提高全固态薄膜钠电池的电池性能。
反钙钛矿电解质薄膜固态电池制备方法

[实用新型]一种高通量筛选结构及沉积设备-CN202220886355.5有效
发明人：王晓飞;邬苏东;任富增;赵予生 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2022-04-15 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： C23C16/27 文献下载
摘要：本实用新型提供一种高通量筛选结构及沉积设备，涉及涂层沉积辅助设备技术领域。高通量筛选结构包括底座、托盘、支架和热丝。托盘设置于底座上，用于放置基材；支架设置于底座上，支架包括支撑杆和两根横杆，支撑杆包括固定部和伸缩部，固定部的一端与底座固定连接，另一端套设于伸缩部上，且与伸缩部滑动连接，伸缩部远离固定部的一端与横杆固定连接，横杆沿其长度方向开设有滑槽；热丝的一端设置于其中一根横杆的滑槽内，另一端设置于另一根横杆的滑槽内，且与滑槽滑动连接。本实用新型提供的高通量筛选结构，仅通过一次沉积过程即可高通量筛选出具有最佳表面形貌及内应力的金刚石薄膜，提高了生产效率，降低了劳动强度和生产成本。
一种通量筛选结构沉积设备

[发明专利]一种高透耐磨透光材料及其制备方法以及应用-CN202210592494.1在审
发明人：王晓飞;陈彦延;邬苏东;梁文俊;任富增;赵予生 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： C23C16/02 文献下载
摘要：本申请涉及金刚石膜层制备技术领域，具体而言，涉及一种高透耐磨透光材料及其制备方法以及应用。高透耐磨透光材料的制备方法包括在透光基底表面形成非晶碳膜得到中间体，然后通过热丝化学气相沉积方式在中间体的非晶碳膜表面沉积金刚石膜。先在透光基底上形成非晶碳膜，非晶碳膜有利于提高后续金刚石膜的形核率，导致形成的金刚石膜的晶粒尺寸较小，使得形成的金刚石膜的表面粗糙度显著降低，有利于提高透光材料的光学性能；同时采用热丝化学气相沉积法在非晶碳膜表面沉积金刚石膜，可以提高金刚石膜的沉积效率以及形核速率，以使得金刚石膜的厚度可以显著降低，实现制得超薄、透光率高、化学稳定性高以及耐磨性高的透光材料。
一种耐磨透光材料及其制备方法以及应用

[实用新型]一种抛光设备-CN202221239763.8有效
发明人：王晓飞;梁文俊;邬苏东;赵予生;任富增 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2022-05-23 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种抛光设备，涉及金刚石抛光设备技术领域。抛光设备包括工作台、打磨装置、驱动装置、检测装置和控制装置。打磨装置活动地设置于工作台上，用于抛光金刚石；驱动装置与打磨装置连接，用于驱动打磨装置在工作台上活动，以抛光金刚石；检测装置与打磨装置连接，用于检测金刚石的抛光情况；控制装置分别与检测装置和驱动装置连接。本实用新型提供的抛光设备，能够自动采集并实时分析判断金刚石的抛光情况，能够在极短的时间内达到对金刚石抛光的高效检测，提高了准确性和可靠性。
一种抛光设备

[发明专利]一种MPCVD载具以及在刀具表面沉积金刚石涂层的方法-CN202210478201.7在审
发明人：王晓飞;邬苏东;任富增;赵予生 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2022-05-05 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本申请涉及微波等离子体化学气相沉积技术领域，具体而言，涉及一种MPCVD载具以及在刀具表面沉积金刚石涂层的方法。MPCVD载具包括基台以及首尾相接的金属围挡，基台的表面具有放置区域，金属围挡设置于基台的表面并围设于放置区域的四周。本申请提供的MPCVD载具用于对刀具表面沉积金刚石涂层时，有利于使得刀具刃口处生长出附着力强、厚度均匀且连续致密的高品质金刚石涂层，不仅能够增强刀具切削刃的强度和耐磨损性能，延缓切削刃的磨损失效，提高刀具寿命及切削效率，还可以改善刀具的切削区状态，提升刀具的健壮性和工件加工表面质量的可控性，并保证刀具的加工表面质量和精度，使切削刀具的综合性能得到提升。
一种 mpcvd 以及刀具表面沉积金刚石涂层方法

[发明专利]一种全固态薄膜锂电池及其制备方法-CN202111672576.9在审
发明人：王晓飞;李志强;邬苏东;夏威;朱金龙;赵予生 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： H01M10/052 文献下载
摘要：一种全固态薄膜锂电池及其制备方法，属于锂离子电池技术领域。全固态薄膜锂电池的制备方法，包括：依次进行的薄膜基板的供给操作和对薄膜基板的溅射操作。其中，薄膜基板的供给操作和溅射操作包括：在同时存在第一电子集流体靶材、第一电极靶材、锂镧锆钽氧靶材以及第二电极靶材的第一真空环境中，通过磁控溅射的方式在衬底基片上依次沉积形成叠层设置的第一电子集流体薄膜、第一电极薄膜、锂镧锆钽氧薄膜以及第二电极薄膜。利用该制备方法，能够解决锂镧锆钽氧薄膜与电极薄膜之间固‑固界面接触较差的问题，并且能够通过原位生长制备出厚度可控的致密薄膜材料，以提高制备得到的全固态薄膜锂电池的稳定性和电化学性能。
一种固态薄膜锂电池及其制备方法

[发明专利]一种垂直结构石墨烯的衬底快速筛选方法-CN202010843466.3在审
发明人：王俊杰;叶继春;邬苏东;杨熹;廖明墩;盛江 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2020-08-20 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： C01B32/186 文献下载
摘要：本发明公开一种垂直结构石墨烯的衬底快速筛选方法，包括以下步骤：1）在衬底表面划分区域并对其不同区域分别采用不同材料沉积预处理；2）将预处理后的衬底置于喷射式等离子体的反应腔室内的样品台上；3）将反应腔室抽至真空后通入Ar气，调节反应腔室压力达到200‑1500 Pa后，激发等离子体，随后通入H2和含碳反应气体；本发明可以在多种材料预处理后的衬底区域上一次性生长相同等离子体环境下的垂直结构石墨烯，也可以通过微区多点的方式生长不同等离子体条件下的垂直结构石墨烯。
一种垂直结构石墨衬底快速筛选方法

[发明专利]一种垂直结构石墨烯的大面积快速制备方法-CN202010708947.3在审
发明人：王俊杰;叶继春;邬苏东;杨熹;廖明墩;盛江 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2020-07-22 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： C01B32/186 文献下载
摘要：本发明公开一种垂直结构石墨烯的大面积快速制备方法，包括以下步骤：1）将衬底置于喷射式等离子体的反应腔室内的样品台上；2）将反应腔室抽至真空后通入Ar气，调节反应腔室压力到200‑1500Pa后，激发等离子体炬，随后通入H2和含碳反应气体；3）将样品通过样品台在等离子体炬下旋转和/或平移实现垂直结构石墨烯的大面积沉积；本发明通过样品在高能量密度的喷射等离子体下的旋转或平移实现垂直结构石墨烯的大面积制备，大大提高了垂直结构石墨烯的生长速度，减少了时间成本。
一种垂直结构石墨大面积快速制备方法

[发明专利]一种固体润滑薄膜及其制备方法和用途-CN202010622451.4在审
发明人：王晓飞;许佼;李玉磊;邬苏东;任富增;赵予生 -专利权人：南方科技大学
申请日： 2020-06-30 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： C23C14/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种固体润滑薄膜及其制备方法和用途。所述固体润滑薄膜包括由MoS2层和Mo‑S‑N复合层交替连接形成的多层结构膜，所述MoS2层和Mo‑S‑N复合层的厚度均为纳米级厚度，所述Mo‑S‑N复合层为N掺杂MoS2复合层。本发明的固体润滑薄膜中，纳米级厚度的MoS2层和Mo‑S‑N复合层交替堆叠，得到纳米级或微米级的多层结构膜，所得固体润滑薄膜呈现为高强度、低摩擦、长寿命等优异性能的真空润滑，有效实现了过渡族金属二硫化物基固体润滑薄膜机械性能和润滑性能的协同优化。
一种固体润滑薄膜及其制备方法用途

[发明专利]一种基于超薄金属网格的透明电极及其制备方法-CN201710760201.5有效
发明人：叶继春;杨熹;高平奇;邬苏东;肖剑峰;黄志林;夏金才;周建宏 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所;日地太阳能电力股份有限公司
申请日： 2017-08-30 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： H01B5/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于超薄金属网格的透明电极及其制备方法，涉及透明电极技术领域。该透明电极包括经表面修饰过的柔性透明衬底，所述柔性透明衬底经表面修饰的一面沉积有厚度为1～10nm的导电金属网格层。该透明电极的制备方法是在衬底表面嫁接一层胺基、用光刻或胶体印刷形成掩模板、掩模板间隙沉积1～10nm厚度的金属层、除去掩模板，即得基于超薄金属网格的透明电极。本发明通过降低金属网格的厚度，提高了金属网格的透光率，同时使金属网格在厚度为1～10nm时仍具有较好的导电性，解决了透明电极导电性和透光率“此消彼长”的问题，实现了导电性和透光率二者性能的平衡。
一种基于超薄金属网格透明电极及其制备方法

[发明专利]多晶硅薄膜的制备方法以及光电器件-CN201611227126.8有效
发明人：芦子玉;邬苏东;叶继春;高平奇;丁丽 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
申请日： 2016-12-27 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：一种多晶硅薄膜的制备方法，包括以下步骤：S1，提供非晶硅薄膜，将所述非晶硅薄膜放入反应室中的水冷样品台上；S2，向所述反应室中通入等离子体气体源，并将所述反应室的压力调节至100Pa至10000Pa；S3，激发所述等离子体气体源并产生等离子体，在所述等离子体环境中，所述非晶硅薄膜发生退火晶化，从而得到所述多晶硅薄膜。本发明通过将非晶硅薄膜置于中压条件下电感耦合产生的射频等离子体环境中，使得所述非晶硅薄膜进行快速退火晶化，从而在低温条件下快速制备多晶硅薄膜；本发明不仅可以使用普通玻璃等廉价衬底，从而极大的降低了制备成本，而且极大的节约了时间成本，同时还具有低沉本、大面积制备和工艺简单的优势。
多晶薄膜制备方法以及光电器件

[实用新型]高通量CVD装置-CN201820744022.2有效
发明人： 邬苏东;汪晓平;杨熹;叶继春;张欢;项晓东;盛江 -专利权人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所;宁波英飞迈材料科技有限公司
申请日： 2018-05-18 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高通量CVD装置，包括：反应腔室；设置于反应腔室内的沉积台；气体导入装置，与沉积表面之间可围成多个独立的沉积微区，气体导入装置上形成有多个独立的反应气体进入通道，每个反应气体进入通道分别连通于一个所述沉积微区，每个沉积微区分别具有反应气体出口。实用新型本实用新型通过一次实验可以实现不同气氛、连续温度变化和不同衬底材料的组合工艺条件的研究，大大加快试验效率，加快新材料和工艺的开发和筛选。
沉积微区气体导入装置本实用新型反应气体高通量反应气体出口衬底材料反应腔室试验效率组合工艺沉积台反应腔连通筛选室内开发研究

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