专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]宽光谱干涉显微测量方法、装置、电子设备及介质-CN202210160959.6在审
  • 张为国;孙艳林;熊欣;邓晓洲;杜春雷 - 珠海迈时光电科技有限公司
  • 2022-02-22 - 2022-06-10 - G01B11/24
  • 本发明提供一种宽光谱干涉显微测量方法、装置、电子设备及介质,该宽光谱干涉显微测量方法包括:获取待测样品的干涉图;确定干涉图的调制度,通过调制度标识干涉图的第一区域,第一区域用于表征符合设定阈值的相位展开区域;对第一区域执行相位展开,得到干涉图多个焦面的真实相位图;对多个焦面的真实相位图相位拼接,得到干涉图的相位分布;根据相位分布确定待测样品的表面高度分布。本发明的有益效果为:以干涉条纹调制度量化条纹质量,以相位展开方法获得在设定区域的样品高度分布;将不同焦面位置获取的样品高度进行拼接,可获得扩展量程的高精度形貌测量结果,适用用于高精度、大量程宽光谱干涉显微测量。
  • 光谱干涉显微测量方法装置电子设备介质

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