“路希龙”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果10个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种薄膜沉积设备、组装方法及减振连接器-CN202310954890.9在审
发明人：唐仁鹏;董文惠;路希龙;何吉超 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-07-31 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明提供了一种薄膜沉积设备、组装方法及减振连接器。所述薄膜沉积设备包括：主体框架，其上设有至少一个动作机构；工艺腔室，经由减振连接器连接所述主体框架，用于配合所述动作机构对待加工晶圆进行薄膜沉积；以及所述减振连接器，包括连接所述主体框架的第一接头、连接所述工艺腔室的第二接头，以及连接所述第一接头及所述第二接头的阻尼机构。基于这些配置，该薄膜沉积设备能够吸收主体框架上各种阀门及气液管道内部流体的动作产生的微振动，以提升薄膜沉积质量，并减小设备本身由振动带来的危害，以提高设备的工作寿命。
一种薄膜沉积设备组装方法连接器

[实用新型]一种晶圆升降结构以及薄膜沉积设备-CN202320352954.3有效
发明人：杨天奇;吴凤丽;郑旭东;刘振;万亿;何吉超;董文惠;路希龙;杨华龙;张翔宇 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶圆升降结构以及一种薄膜沉积设备。该晶圆升降结构包括：线性轴承，竖直安装于晶圆托盘，其中设有多个滚珠；顶针，安装于线性轴承内部，并经由多个滚珠滚动连接线性轴承；以及驱动机构，用于向顶针提供向上的驱动力，驱动顶针的顶端向上伸出线性轴承及晶圆托盘，以抬升晶圆。
一种升降结构以及薄膜沉积设备

[发明专利]管端接头、管路对接装置和半导体设备-CN202310693786.9在审
发明人：唐仁鹏;董文惠;路希龙;何吉超 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： F16L21/06 文献下载
摘要：本发明的实施例提供了一种管端接头、管路对接装置和半导体设备，涉及半导体技术领域。管端接头包括连接管本体、外套管、对接管和阀芯。阀芯设置于连接管本体的一端，且部分凸出连接管本体，阀芯与连接管本体之间形成有流道，以供气体通过。对接管的一端形成有阀座。外套管套设于对接管和连接管本体，且转动外套管可使连接管本体相对对接管移动，以使阀芯与阀座结合或分离。其能够对管路的端部进行封堵，从而可以避免气体或液体的泄漏。
端接管路对接装置半导体设备

[发明专利]一种源瓶加热组件及沉积设备-CN202310333475.1在审
发明人：何吉超;吴凤丽;董文惠;吉万顺;朱晓亮;路希龙 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明涉及半导体沉积设备技术领域，具体涉及一种源瓶加热组件及沉积设备。本发明提供的一种源瓶加热组件，包括托板、第一加热带、第二加热带、第三加热带和预紧机构，所述第三加热带设置在所述托板上，所述源瓶放置在所述第三加热带上；所述第二加热带贴合于所述源瓶的侧面，所述第一加热带盖合于所述源瓶的上表面；所述预紧机构包括夹紧结构和下压结构，所述夹紧结构用于夹紧所述第一加热带。瓶体的上表面、侧面和下表面分别与第一加热带、第二加热带和第三加热带相接触，使得瓶体的上表面、侧面和下表面均能够被加热，提高了加热效果，通过控制第三加热带、第二加热带和第一加热带的温度依次递增，以适应固体加热的温度需求。
一种加热组件沉积设备

[实用新型]用于半导体储气瓶的加热装置-CN202320687515.8有效
发明人： 路希龙;刘振;吴凤丽;董文惠;何吉超;刘润哲 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： F17C13/10 文献下载
摘要：本申请涉及储气装置技术领域，具体公开了一种用于半导体储气瓶的加热装置，包括第一金属加热模块以及加热棒，第一金属加热模块包括第一金属抱块和第二金属抱块，第一金属抱块和第二金属抱块扣合形成用于放置储气瓶的第一容纳腔室；第一金属抱块与第二金属抱块内部均设置有第一安装孔，加热棒插设在第一安装孔内，加热棒产生的热量通过第一金属抱块和第二金属抱块传递至第一容纳腔室。本申请通过对加热装置结构的改进能够对储气瓶进行稳定可靠的加热，提高用于半导体储气瓶加热装置的温度控制能力。
用于半导体储气瓶加热装置

[实用新型]用于加热棒固定的装置-CN202223447864.7有效
发明人： 路希龙;吴凤丽;刘振;杨天奇;卜夺夺;万亿;何吉超;吉万顺 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H05B3/40 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于加热棒固定的装置，涉及加热棒的技术领域，包括加热主体、加热棒和若干紧固件，加热棒插接于加热主体内；加热主体的外壁沿加热棒的径向设有多个固定孔，多个紧固件一一对应的分别插接于多个固定孔中，且多个紧固件的一端与加热棒相抵接，缓解了现有技术中存在的由于加热棒的长度与孔内深度存在差异，加热棒在安装孔内加热的过程中容易沿内壁轴向窜动，进而导致加热棒无法稳定与安装孔内部接触，降低加热棒的加热效率的技术问题，提升了加热棒对待加热工件的加热效果。
用于加热固定装置

[发明专利]一种抽气环及其加工方法以及一种薄膜沉积设备-CN202310199971.2在审
发明人：杨天奇;吕志鹏;吴凤丽;刘振;何吉超;董文惠;杨华龙;路希龙;卜夺夺;张翔宇;万亿;张启辉 -专利权人：拓荆科技股份有限公司
申请日： 2023-03-03 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本发明公开了一种抽气环及其加工方法，以及一种薄膜沉积设备。该抽气环设置于反应腔体内的晶圆托盘的外围，其至少一侧设有该反应腔体的抽气口，用于经由该抽气环的环体上分布的多个抽气孔，从该抽气环内部抽气，至少一部分该抽气孔包括设于该抽气环的内侧的第一孔径的第一槽孔，以及设于该第一槽孔外侧的第二孔径的第二槽孔，其中，该第二孔径大于该第一孔径，以构成阶梯孔，该第二槽孔的槽孔深度随该抽气孔到该抽气口的距离的递增而递增。通过上述结构，能够解决抽气环上各抽气孔到抽气口的距离不同，所产生的抽气环环内区域抽气不均匀问题，从而避免生成的晶圆薄膜沉积厚度不均匀问题。
一种抽气环及其加工方法以及薄膜沉积设备

[实用新型]一种加热棒的检验工装-CN202223468731.8有效
发明人： 路希龙;吴凤丽;刘振;杨天奇;卜夺夺;万亿;何吉超;吉万顺 -专利权人：拓荆科技(上海)有限公司
申请日： 2022-12-23 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G01B5/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及加热棒检测技术领域，具体涉及一种加热棒的检验工装。本实用新型提供的一种加热棒的检验工装，包括检验块，所述检验块的一个面为检测面；在所述检测面上开设有至少一组检验孔；一组所述检验孔包括第一通孔和第二通孔；所述第一通孔的直径等于所述加热棒所允许的最大直径，所述第二通孔的直径等于所述加热棒所允许的最小直径，所述第一通孔和第二通孔的深度均大于所述加热棒的长度。所述检验块为矩形块、圆柱体、正多棱柱体中的任意一种。能够检测出加热棒的整体尺寸是否合格，通过直接插入就能判断加热棒整体外径是否能满足要求及是否影响使用，检测过程简单高效。
一种加热检验工装

[实用新型]改进的手动压力机-CN201320607523.3有效
发明人：王玉伟;杜见第;路希龙;陶翠莲;罗永红;关超 -专利权人：王玉伟;杜见第;路希龙
申请日： 2013-09-29 - 公布日： 2014-06-04 - 主分类号： B30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种改进的手动压力机，其特征是：在手动压力机的连杆(2)与压头(5)之间增加一个弹性橡胶垫(4)结构，所述的连杆(2)与压头(5)通过螺栓(3)连接，所述的弹性橡胶垫(4)采用异戊橡胶材料制成，厚度随生产要求而调整，是随压头(5)的形状而改变形状的环形弹性橡胶垫。本实用新型克服人们在使用手动压力机时由于不小心操作使压头向下行程控制不精确而压到工件时可能把工件压坏、损坏压头的缺点，起到缓冲保护工件与压头的作用。本实用新型结构简单，易于制造，造价低廉，使用方便。
改进手动压力机

[发明专利]简易带笔筒可转动书架-CN201310020172.0无效
发明人： 路希龙;王建鹏;罗永红;毕莉明;谭尚拓;孙益广;赵永生;章德胜;关超;李芹 -专利权人：上海理工大学
申请日： 2013-01-21 - 公布日： 2013-04-24 - 主分类号： A47B65/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种简易带笔筒可转动书架，架体为四分之一圆柱体，架体上端面开口，架体的直角处设有笔筒，架体内设置隔板，笔筒下端面与架体的底板之间设有连接轴，且连接轴与隔板转动连接，隔板与架体的底板之间可调位置连接。架体的底板上设有环绕连接轴的间隔的凹槽，隔板右侧下部设有隔板凸起，左端设有隔板套筒，隔板左端套筒套在连接轴上，隔板凸起插入架体的底板的凹槽中与架体的底板固定连接，凹槽深度小于隔板套筒上端距离笔筒底部的长度。本发明可根据摆放书本的数量来旋转调节书本位置，可以放在办公桌上直角的角落里使用，充分利用角落空间，简易方便，美观大方。
简易笔筒转动书架

1
共 10 条