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[发明专利]一种陶瓷基板的填孔方法-CN202211408676.5有效
发明人：管鹏飞;贺贤汉;周鹏程;刘井坤;王斌 -专利权人：四川富乐华半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-11 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： H05K3/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种陶瓷基板的填孔方法，涉及半导体功率器件加工领域，旨在解决陶瓷基板填孔有气泡效率低的问题，其技术方案要点是：一种陶瓷基板的填孔方法，（1）激光钻通孔：使用激光器在陶瓷基板上通孔；（2）瓷片清洗：清洗瓷片表面污渍及激光钻孔后的粉尘；（3）真空溅射种子层：陶瓷表面金属化形成导电层；（4）脉冲电镀：激光钻的通孔通过脉冲电镀使孔内金属铜层形成连接；（5）皮秒切割：在金属铜层连接处通过皮秒激光器切割形成断口；（6）直流电镀：具有断口的通孔通过直流电镀金属铜使其填平；（7）磨抛：表面整平，去除填孔后的微小凹坑凸起。本发明的一种陶瓷基板的填孔方法填孔无气泡，并且效率高，良品率高。
一种陶瓷方法

[发明专利]一种适用于DPC产品贴膜前处理工艺的研磨方法-CN202210035454.7有效
发明人：李炎;贺贤汉;王松;孔进进;余龙;张进 -专利权人：江苏富乐华半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-01-13 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于DPC产品贴膜前处理工艺的研磨方法，对磁控溅射工艺处理后的陶瓷基板进行表面平整，在处理时首先对陶瓷基板进行清洗热烘，以去除其表面杂质，接着在陶瓷基板通过磁控溅射沉积一层钛钨合金和一层薄铜层，其中钛钨合金可作为过渡层，以提高陶瓷基板与表面铜层的粘结附着力，薄铜层厚度为0.5～1μm，作为种子层并进行后续电镀铜层；此时铜层表面会呈现部分凹凸不平的现象，为了在图形电镀前获得一个相对平滑的表面，本申请追加治具辅助刷磨从而实现镀薄铜后的表面整平，主要是消除部分凸起处，去除轻微氧化点，为后续压膜工艺提供一个洁净平整的表面。
一种适用于 dpc 产品贴膜前处理工艺研磨方法

[实用新型]一种覆铜陶瓷基板双层同时烧结治具-CN202222454101.9有效
发明人：陆玉龙;贺贤汉;蔡俊;董明锋;李炎;马敬伟 -专利权人：江苏富乐华半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-09-16 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： F27D5/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种覆铜陶瓷基板双层同时烧结治具，在治具主体的中间位置设置有放置槽，通过放置槽一方面可以对基板或者铜板进行放置，另外一方面可以减轻整体的重量，减少其形变量，而采用双层治具主体相互堆叠的布置方式，通过该设计可以同时对基板或者铜板进行烧制，进而大大的提高了烧制的效率。
一种陶瓷双层同时烧结

[发明专利]一种DCB基板双层同时烧结的方法-CN202211389733.X在审
发明人：祝林;贺贤汉;杜涛;阳强俊;戴洪兴 -专利权人：上海富乐华半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： F27B21/04 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域。一种DCB基板双层同时烧结的方法，包括如下步骤：步骤一，将一层待烧结的陶瓷板以及铜箔两者先后依次放置在烧结治具的凹形摆放槽内；步骤二，烧结治具的上端摆放有盖板，将另一层待烧结的陶瓷板以及铜箔两者先后依次放置在盖板上方；步骤三，进行烧结。本发明实现DCB基板铜箔和陶瓷板的烧结由单层变为上下双层同时烧结，提高了烧结炉烧结产能及生产效率，同时提高了烧结良率。
一种 dcb 双层同时烧结方法

[发明专利]一种提高氮化铝覆铝陶瓷基板耐热循环可靠性的方法-CN202211602440.5在审
发明人：王斌;贺贤汉;欧阳鹏;武威;高远;管鹏飞 -专利权人：江苏富乐华半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： C23C14/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种提高氮化铝覆铝陶瓷基板耐热循环可靠性的方法，涉及半导体加工领域，旨在解决氮化铝覆铝陶瓷基板耐热性能不够的问题，其技术方案要点是：一种提高氮化铝覆铝陶瓷基板耐热循环可靠性的方法，包括以下步骤：1）表面溅射镀钛：取氮化铝覆铝陶瓷基板进行表面清洗，然后镀钛，得到纳米级钛层的氮化铝覆铝陶瓷基板，镀钛层厚度为50‑100nm；2）激光强化：取步骤1中具有纳米级钛层氮化铝覆铝陶瓷基板进行激光强化处理；3）表面处理：取步骤2中处理后的氮化铝覆铝陶瓷基板进行表面处理。本发明的一种提高氮化铝覆铝陶瓷基板耐热循环可靠性的方法能够有效提升基板的耐热循环性能。
一种提高氮化铝覆铝陶瓷耐热循环可靠性方法

[发明专利]一种半导体干刻设备用石英部件的清洗再生方法-CN202211082883.6在审
发明人：杨炜;贺贤汉;蒋立峰;许俊 -专利权人：上海富乐德智能科技发展有限公司
申请日： 2022-09-06 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体蚀刻设备用石英部件的清洗再生方法，采用有机溶剂处理、高浓度混酸溶液处理、氧化剂溶液处理、硫酸溶液处理、低浓度混酸溶液处理、超声波清洗，无尘烘箱干燥七道工序依次处理，去除石英部件表面的沉积物及腐蚀破碎的石英晶粒。清洗前和清洗后的石英部件表面放大1000倍显微镜图像对比可以发现，处理后的石英部件表面整洁无污染、石英晶粒致密饱满，满足再生的要求。
一种半导体干刻设备用石英部件清洗再生方法

[实用新型]一种HNB电子烟薄膜加热装置-CN202221390047.X有效
发明人：王斌;贺贤汉;窦正旭;唐冬梅;管鹏飞 -专利权人：江苏富乐华功率半导体研究院有限公司
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： A24F40/46 文献下载
摘要：本实用新型提供一种HNB电子烟薄膜加热装置，涉及电子烟技术领域，该HNB电子烟薄膜加热装置，包括电子烟杆和连接管，所述电子烟杆前端设置有过滤烟嘴，所述电子烟杆内部设有安装板，所述安装板与电子烟杆之间设有用于定位的固定组件，所述安装板顶部设有加热组件，所述安装板顶部固定连接有固定框，所述固定框内部设有用于对加热组件固定的夹持组件，该HNB电子烟薄膜加热装置，操作人员将按上面的步骤，将安装板和加热组件取出，此时通过转动螺纹杆，使螺纹杆带动转动连接的夹持板进行移动，从而使夹持板解除对加热组件的夹持，从而将加热组件进行取出，便于对加热组件进行更换，节约成本。
一种 hnb 电子薄膜加热装置

[实用新型]一种用于试剂滤芯盒分拣用旋转结构-CN202222415653.9有效
发明人：田成柱;左月川;胡雷;陈芝娟;余海;贺贤汉 -专利权人：安徽博日生物科技有限公司
申请日： 2022-09-13 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： B07C5/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于试剂滤芯盒分拣用旋转结构，包括安装底座，所述安装底座上端转动连接有转盘，所述转盘上端安装固定有吸头放置块，所述吸头放置块上端表面开有吸头容纳孔，所述吸头放置块上方设有辅助支撑元件，所述辅助支撑元件位于所述吸头容纳孔上方，所述辅助支撑元件为两块支撑板，两个所述支撑板位于所述吸头容纳孔上方两侧，所述支撑板内侧侧壁具有弧形的支护部，所述支撑板根据竖直高度为第一支护端以及第二支护端，两个所述支撑板外侧均设有控制杆。本实用新型其提高了吸头放置于试剂滤芯盒内的效率以及稳定性。
一种用于试剂滤芯盒分拣旋转结构

[实用新型]一种碳化硅炉真空压力调控装置-CN202222062784.3有效
发明人：陈士利;贺贤汉;赖章田;夏孝平;陈有生;周旭阳 -专利权人：上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-08-05 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本实用新型提供一种碳化硅炉真空压力调控装置，包括生长炉，生长炉的上方连接一充气系统，生长炉的右侧连接第一抽气支路和第二抽气支路，第一抽气支路包括第一比例控制阀和真空泵，第一比例控制阀和真空泵分别通过真空管路与生长炉连接，真空泵还与一排放管路连接，第二抽气支路包括插板阀、分子泵和第二比例控制阀，第二抽气支路通过真空管路与第一抽气支路和生长炉导通；生长炉的右侧还连接超压保护支路和真空释放支路，超压保护支路包括一单向阀，单向阀的一端通过真空管路连接生长炉，单向阀的另一端与排放管路连接，真空释放支路包括电动加气阀和手动加气阀，电动加气阀和手动加气阀分别安装在真空管路上。
一种碳化硅真空压力调控装置

[发明专利]一种便于装卸料的坩埚旋转升降机构-CN202211087182.1在审
发明人：赖章田;贺贤汉;陈有生;夏孝平;徐淑文;张城 -专利权人：上海汉虹精密机械有限公司
申请日： 2022-09-06 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本发明提供一种便于装卸料的坩埚旋转升降机构，包括升降机构主体，升降机构主体包括坩埚旋转机构、坩埚升降机构、机架，托盘和升降盘，机架上安装有两组直线导轨，直线导轨上的四组滑块连接升降盘，坩埚旋转机构和坩埚升降机构固定在升降盘上，托盘通过托盘升降机进行上下运动。
一种便于装卸坩埚旋转升降机构

[实用新型]一种基板的检测装置-CN202222170198.0有效
发明人：周轶靓;贺贤汉;王斌;季成龙;吴承侃 -专利权人：江苏富乐华功率半导体研究院有限公司
申请日： 2022-08-18 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： G01R31/12 文献下载
摘要：本实用新型提供一种基板的检测装置，包括盒体，所述盒体上端为开口状，所述盒体内上部位置设有无色透明状的蓝宝石片，所述蓝宝石片下侧设有两个支撑条，所述支撑条与盒体固定连接，所述蓝宝石片上表面烧结有两个铜片，所述蓝宝石片和铜片形成的结构被封装在有机硅灌封胶层内，两个所述铜片上均焊接有高压接线柱，所述高压接线柱上端贯穿有机硅灌封胶层并延伸至有机硅灌封胶层上侧，所述盒体内底部中间位置设有用于记录放电的瞬变过程的扫描式高速摄像机，本实用新型具有如下的有益效果：通过将陶瓷更换为蓝宝石，由于蓝宝石在材料结构上与陶瓷接近，且蓝宝石无色透明，可以在基板封装完成后透过蓝宝石对基板内部放电情况进行检测。
一种检测装置

[发明专利]一种覆铜陶瓷基板图形侧壁无镀银层的方法-CN202211497177.8在审
发明人：李辛未;贺贤汉;于明洋;李炎;马敬伟;张恩荣 -专利权人：江苏富乐华半导体科技股份有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： H05K3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种覆铜陶瓷基板图形侧壁无镀银层的方法，涉及半导体基板加工领域，旨在解决陶瓷基板侧壁有镀银层的问题，其技术方案要点是：真空烧结：将钎焊浆料采用丝印技术印刷在陶瓷基板上,在此基础上覆盖无氧铜后放到真空钎焊炉内进行烧结；化学前处理；镀银：在处理好的覆铜陶瓷基板表面化学镀银,让铜面沉积一层银层；贴膜、曝光、显影；蚀刻图形：将镀有银层的覆铜陶瓷基板蚀刻出所需要的图形；去膜：将表面剩余部分干膜/湿膜去除干净；清洗烘干：最后将产品表面清洗干净，并烘干即可。本发明的一种覆铜陶瓷基板图形侧壁无镀银层的方法可以去除图形侧壁的镀银层，提升陶瓷基板质量。
一种陶瓷图形侧壁镀银方法

[发明专利]一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备-CN202211147758.9在审
发明人：王圣福;贺贤汉;张正伟;李帅雨;刘宇航 -专利权人：安徽富乐德科技发展股份有限公司
申请日： 2022-09-19 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： C23G5/00 文献下载
摘要：本发明涉及Open Mask清洗领域，具体为一种OLED蒸镀工艺Open Mask部件清洗设备，包括清洗箱，所述清洗箱内设置有超声波振板。本发明通过设置承载机构、升降机构、循环管、除垢箱和过滤箱，药水通过承载箱上的过滤网进入到承载箱内，与Open Mask接触，使得open mask部件表面的镀膜脱离，随后通过升降机构，将承载箱向上运动，进入到除垢箱内，在驱动电机的作用下，驱动承载箱进行旋转，在离心力的作用下，使得承载箱内脱离的镀膜通过排水孔排出，由于设置过滤网，使得脱离的镀膜无法穿过承载箱进入到清洗箱内与药水进行混合，而清洗箱内的药水可以自由通过过滤网，避免浸泡时镀膜对药水的污染，从而提高了药水对Open Mask的清洗效果，并且能延长药水的使用周期，节约药水量。
一种 oled 工艺 open mask 部件清洗设备

[发明专利]一种碳化硅晶体高效抛光设备及方法-CN202210383712.0有效
发明人： 贺贤汉;赖章田;陈有生;张城 -专利权人：上海申和投资有限公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： B24B31/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种碳化硅晶体高效抛光设备及方法，利用环聚型超声振动工作流体电化学抛光设备对碳化硅晶体试件进行抛光，环聚型超声振动工作流体电化学抛光设备包括用来对碳化硅晶体试件进行机械抛光的抛光盘、用来施加超声振动的倒扣式超声波清洗槽、用来对碳化硅晶体试件进行电化学加工的电化学组件、辅助振动组件、位于抛光盘内部的工作流体、用来将抛光盘内工作流体排到抛光盘外的n形绝缘排料管、用来驱动绝缘排料管进行排料的驱动机构。本发明能够对碳化硅晶体的表面进行精抛光和超精抛光，抛光所需时间短，抛光效率高，对亚表面损伤层的伤害小；抛光后的表面无凹坑和划痕，平坦区域面积大。
一种碳化硅晶体高效抛光设备方法

[实用新型]一种用于碳化硅晶片表面加工装置-CN202220524942.X有效
发明人：周杰;李有群;贺贤汉;殷雪苑;吴寒 -专利权人：安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： B24B9/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及碳化硅晶片表面加工技术领域，具体是一种用于碳化硅晶片表面加工装置，包括工作台，所述工作台的台面上设置有四个支块，所述支块的一侧连接有支杆，所述支杆的外壁活动设置有夹持装置，所述夹持装置的上方设置有切割装置，本实用新型中，通过设置激光头对碳化硅晶片进行外形切割，方便后续的加工，倒角装置可以在吸盘底座带动碳化硅晶片转动时对外侧棱角进行倒角，防止加工完成时，工作人员取下产品对手指造成伤害，同时也减少后期进行二次倒角，起到流水线的功能，夹持装置起到对产品的夹持带动产品进行移动，产品在研磨时漏下的碎屑和研磨液可以通过漏孔导出，防止对产品的损坏。
一种用于碳化硅晶片表面加工装置