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[发明专利]一种触摸屏金属线的制作方法-CN201910754319.6有效
发明人：李思拥;谢为芝;曾一鑫 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2019-08-15 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：本发明公开了一种触摸屏金属线的制作方法，制作方法包括以下步骤：a.以氩气为工作气体，依次在玻璃基板上溅镀第一Mo层、中间Al层、第二Mo层；b.采用硝酸‑磷酸‑乙酸体系蚀刻液对溅镀好的Mo‑Al‑Mo层进行蚀刻；所述硝酸的质量百分比为8~11%；其中，在溅射第一Mo层和第二Mo层时，分别向溅镀体系中通入氧气；在溅镀第二Mo层时的通氧量等于溅镀第一Mo层时的通氧量。本申请在分别溅射第一Mo层和第二Mo层时，向溅镀体系中通入氧气，通过控制溅镀第一Mo层和第二Mo层时溅镀体系中的通氧量，并控制硝酸‑磷酸‑乙酸体系蚀刻液的质量百分比，得到的金属线的结构无底切现象，爬坡效果非常好。
一种触摸屏金属线制作方法

[发明专利]一种晶圆单面化学镀的装置和方法-CN202211657822.8在审
发明人：吕亦乐;张鸿鑫;陈强;谭灿健;谢为芝 -专利权人：株洲中车时代半导体有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： C23C18/06 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造领域，公开了一种晶圆单面化学镀的装置和方法，通过将两片晶圆的背面相对设置，然后在两片晶圆的背面之间设置环形保护膜；然后利用晶圆夹持组件夹持两片晶圆，使得所述环形保护膜紧密贴合在两片晶圆的背面，通过晶圆夹持组件的夹持使得晶圆背面被完全遮挡，避免了晶圆背面区域镀上目标金属；最后将夹持好的晶圆夹持组件放入目标金属镀液中对上述两片晶圆的正面同时进行单面化学镀，有利于提高化学镀的效率和节约成本；同时，本发明可以同时兼顾Taiko晶圆以及普通片厚晶圆，适应性更广；且本发明无需引进国外垄断的Taiko晶圆背面贴膜设备，也无需对现有的浸泡式化学镀设备进行任何调整和更换，极大地降低了晶圆单面化学镀的成本。
一种单面化学装置方法

[实用新型]一种异形基材的曝光装置-CN201920522081.X有效
发明人： 谢为芝;朱雁;曾一鑫 -专利权人：信元光电有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种异形基材的曝光装置，包括：异形基材，所述异形基材为非平面状；柔性掩膜板，贴合于所述异形基材上；异形夹具，所述异形夹具具有与所述异形基材相适应的起伏形貌的表面，用于放置所述异形基材；磁吸附装置，用于将所述柔性掩膜板、异形基材和异形夹具压紧固定；曝光光源，用于使异形基材上的感光油墨曝光。本实用新型中，异形基材卡位于异形夹具上，柔性掩膜板贴合于异形基材上，磁吸附装置用于将所述柔性掩膜板、异形基材和异形夹具压紧固定，提高曝光精度，开启曝光光源即可完成对异形基材的曝光制程，可以在异形基材上形成清晰、美观、连续的复杂腐蚀图案。
异形基材夹具异形掩膜板本实用新型磁吸附装置曝光光源压紧固定贴合形貌非平面状感光油墨曝光制程曝光装置曝光美观腐蚀图案清晰

[实用新型]一种传送轮-CN201920382980.4有效
发明人： 谢为芝;郑运松;曾一鑫 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2019-03-25 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： B65G49/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种传送轮，包括运输装置，所述运输装置由运输轮和高分子膜构成，所述运输轮外表面覆盖有高分子膜，所述高分子膜与运输轮固定连接，所述运输装置底部固定有固定架，所述固定架顶部固定有升降装置，所述运输装置顶部设有玻璃基材，此传送轮，在运输轮上包裹一层具备一定收缩性的柔性高分子膜，中间使用双面粘粘附于传送轮上，并且使用尾端露出、同向传送方向的包裹方式，此包裹方式可以有效防止双面粘溢胶导致脏污不良粘附至玻璃上，同时此方案使玻璃直接接触面为高分子膜，包裹的高分子膜易于更换，其收缩性柔韧性使其不会造成玻璃表面划伤，同时传送轮的寿命可以无限期延长。
高分子膜运输装置传送轮运输轮固定架收缩性双面粘粘附玻璃表面划伤柔性高分子膜玻璃本实用新型直接接触面柔韧性玻璃基材传送方向升降装置同向尾端溢胶脏污覆盖

[实用新型]一种OGM触摸屏-CN201821627033.9有效
发明人： 谢为芝 -专利权人：信元光电有限公司
申请日： 2018-10-08 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种OGM触摸屏，包括保护盖板、边框油墨和第一金属网格图案，所述边框油墨制作在所述保护盖板背面的外围区域上；所述第一金属网格图案包括位于显示区域上的第一网格电极和位于外围区域上的第一外围引线；所述边框油墨上制作有一无机绝缘膜，所述第一金属网格图案的第一外围引线制作在所述无机绝缘膜上。该OGM触摸屏的外围引线不易脱落，可靠性好。
边框金属网格图案外围引线触摸屏油墨无机绝缘膜保护盖板外围区域制作本实用新型网格电极显示区域

[发明专利]一种触摸屏的制作方法、触摸屏及触摸显示装置-CN201610279175.X在审
发明人：李源;程小鹏;谢为芝;吕以森;李志成;李建华 -专利权人：信利光电股份有限公司
申请日： 2016-04-29 - 公布日： 2016-09-21 - 主分类号： G06F3/041 文献下载
摘要：本发明公开了一种触摸屏的制作方法、触摸屏及触摸显示装置，包括：提供一基板；在所述基板的一表面上涂布液态的第一银纳米线材料层；固化所述第一银纳米线材料层为第一导电膜层；利用所述第一导电膜层制作第一触摸电极层。由上述内容可知，本发明提供的技术方案，采用银纳米线材料制作触摸屏的触摸电极层，不仅能够降低了触摸屏的制作成本，而且由于银纳米线材料的优越性能，能够采用其通过开发平面、曲面和柔性的触摸屏，进而提高触摸屏的适用范围。
一种触摸屏制作方法触摸显示装置