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[实用新型]全口径抛光浸没式元件加工装置及抛光机-CN201920853732.3有效
发明人：廖德锋;谢瑞清;王乙任;赵世杰;张飞虎;王健;许乔 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2019-06-06 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及全口径抛光浸没式元件加工装置及抛光机，其中全口径抛光浸没式元件加工装置包括：工件盘，工件盘中部限定出一个浸没室，浸没室用于浸没加工中的元件；及抛光液输送泵，抛光液输送泵出液端通过抛光液输送管连接至浸没室上方喷射抛光液；其进液端与抛光液储液桶连接。经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本实用新型公开提供了一种全口径抛光浸没式元件加工装置，将元件放置在浸没室内，抛光液输送泵供液，抛光液由浸没室顶部流入，抛光液与加工中的元件各表面传导热量，从而有利于改善元件内部的温度分布均匀性，降低非均匀温度分布引起的变形。
口径抛光浸没元件加工装置抛光机

[发明专利]大口径环抛修正盘表面形状误差的检测方法-CN201610879774.5有效
发明人：廖德锋;谢瑞清;陈贤华;赵世杰;王健;许乔 -专利权人：成都精密光学工程研究中心
申请日： 2016-10-09 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： G01B5/20 文献下载
摘要：本发明提供一种环形抛光中大尺寸修正盘表面形状误差的检测方法。大口径环抛修正盘表面形状误差的检测方法，采用中间带有探针的直线度表桥沿修正盘半径方向分段检测各子段的直线度，然后通过数据处理获得整个半径方向的直线度。本发明针对大尺寸修正盘工作面朝下并且难以翻转的问题，根据修正盘表面形状呈中心对称分布的特点，采用直线度表桥分段检测修正盘沿半径方形的轮廓，然后通过数据处理生成修正盘整个径向的轮廓。本发明能够检测大型环抛机的大尺寸修正盘的表面形状误差，检测过程简单方便且精度较高，通过本发明方法获得修正盘的表面形状，可以推测沥青抛光盘的形状，从而调整环抛工艺参数以改善光学元件的面形精度。
口径修正表面形状误差检测方法

[发明专利]全口径抛光中抛光盘表面摩擦特性的在线检测装置及方法-CN201911090087.5在审
发明人：廖德锋;李海波;谢瑞清;赵世杰;侯晶;陈贤华;刘民才;王健;许乔 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2019-11-08 - 公布日： 2020-03-24 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本发明涉及全口径抛光中抛光盘表面摩擦特性的在线检测装置及方法，装置包括：固定部可拆卸于全口径抛光机床的横梁上；竖直驱动部连接于固定部上，且远离全口径抛光机床横梁的一侧，滑动部沿竖直方向上可滑动连接于竖直驱动部上；精密力传感器固定于滑动部上，且位于远离竖直驱动部一侧；滑动部与推力驱动部上部铰接位置为A点，精密力传感器与推力驱动部下部接触位置为B点；推力驱动部输出端连接推杆用于改变推杆的行程；推杆底部与工作板连接，且工作板底面与环抛机抛光盘抵接位置为C点；根据精密力传感器检测的横向摩擦力F，测量A点和B点的距离为X，及A点和C点之间的距离为Y，以A点为旋转轴满足力矩平衡方程：Fx‑Gy＝0，其中G为横向摩擦力。
口径抛光表面摩擦特性在线检测装置方法

[发明专利]一种光学薄膜强化方法及激光强化装置-CN201811047931.1有效
发明人：许乔;李亚国;耿锋;欧阳升;王度;袁志刚;刘志超;金会良;王健;张清华 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2018-09-07 - 公布日： 2020-03-10 - 主分类号： G02B1/10 文献下载
摘要：本公开提供一种光学薄膜强化方法及激光强化装置，涉及激光技术领域。本公开提供的光学薄膜强化方法应用于激光强化装置，所述激光强化装置预存有激光功率与光学薄膜参考样品表面温度的对应关系，所述光学薄膜是由原子层沉积法制备所得；所述方法包括：以第一预设温度对应的第一功率对待处理的光学薄膜进行激光扫描；扫描完成后，以第二预设温度对应的第二功率对扫描过后的光学薄膜进行二次激光扫描；其中，所述第一预设温度高于所述第二预设温度。该光学薄膜强化方法及激光强化装置对原子层沉积法制备的光学薄膜进行激光扫描热处理，实现了对薄膜的可靠强化。
一种光学薄膜强化方法激光装置

[发明专利]一种基于光学元件的缺陷尺寸检测方法及系统-CN201911124049.7在审
发明人：张健;樊非;李亚国;张清华;王健;许乔 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2019-11-15 - 公布日： 2020-02-18 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种基于光学元件的缺陷尺寸检测方法及系统，涉及光学测量技术领域，该方法包括：获取所述光学元件中缺陷图像占用的缺陷像元数；判断所述缺陷像元数是否等于或小于预设的分辨率像元数；当所述缺陷像元数等于或小于预设的分辨率像元数时，获取缺陷散射光光强；以预设的尺寸检测算法和所述缺陷散射光光强为依据进行计算，得到缺陷尺寸。可见，实施这种实施方式，能够测量出传统方法中无法检测到缺陷尺寸，提高缺陷检测效果。
一种基于光学元件缺陷尺寸检测方法系统

[发明专利]连续位相板加工方法及装置-CN201711360800.4有效
发明人：侯晶;李洁;许乔;王健;钟波;邓文辉;陈贤华;唐才学;温圣林 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2017-12-14 - 公布日： 2020-02-18 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种连续位相板加工方法及装置，涉及位相板加工技术领域。所述连续位相板加工方法包括：获取不同宽度的磁流变抛光斑；基于所述磁流变抛光斑的不同宽度，对连续位相板的表面周期结构进行分割提取，生成多幅具有不同周期结构的位相板设计图；基于所述多幅不同周期结构的位相板设计图，利用所述不同宽度的磁流变抛光斑对所述连续位相板进行加工，获得加工结果。相对于现有技术，本发明提供的连续位相板加工方法及装置通过获取不同宽度的磁流变抛光斑，并提取连续位相板的不同周期结构进行分别加工，既实现了连续位相板的高精度加工，同时也有效提高了加工效率。
连续位相加工方法装置

[发明专利]一种基于光学元件的激光损伤检测方法及系统-CN201911111161.7在审
发明人：张健;李亚国;樊非;张清华;王健;许乔 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2019-11-14 - 公布日： 2020-02-04 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本申请实施例提供一种基于光学元件的激光损伤检测方法及系统，涉及光学测量技术领域，该方法包括：控制第一光源和第二光源对光学元件进行照明；获取光学元件的照明图像；对照明图像进行图像增强处理，得到检测图像；输出检测图像。实施这种实施方式，能够提高对光学元件的激光损伤检测精度，并且避免一定的检测误差。
光学元件激光损伤照明图像光源光学测量技术检测图像检测误差输出检测图像增强检测图像申请

[发明专利]一种硅酸钇镥晶体的表面修形方法-CN201610556656.0有效
发明人：李亚国;袁志刚;许剑锋;孙权权;王健;许乔;徐曦 -专利权人：成都精密光学工程研究中心
申请日： 2016-07-15 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明提供的硅酸钇镥晶体的表面修形方法，包括以下步骤：分别利用磨料对硅酸钇镥晶体进行N次研磨，再利用抛光料进行抛光，N为≥2的正整数。磨料中含有粒径为5微米～80纳米的刚玉，且第N次研磨采用的磨料中的刚玉的粒径小于第N‑1次研磨采用的磨料中的刚玉的粒径。抛光料含有粒径为1～3微米的二氧化铈。利用本发明中的加工方法，可以将硅酸钇镥晶体表面的面形精度控制在100nm以下，并且表面粗糙度低于<0.5nm，可满足正电子发射计算机断层扫描装置对其的要求。
一种硅酸晶体表面方法

[发明专利]一种单轴抛光机构-CN201911124156.X在审
发明人：文中江;钟波;陈贤华;张清华;王健;许乔 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2019-11-15 - 公布日： 2020-01-17 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种单轴抛光机构，属于光学制造技术领域，包括刀柄和研抛组件，研抛组件与刀柄滑动连接，研抛组件能够沿刀柄的轴心线相对于刀柄滑动。本发明提供的单轴抛光机构结构简单，利用注气套将压缩气体注入刀柄上的滑槽后，可以带动研抛工具相对于刀柄移动，当研抛组件移动到合适的位置后，保持注气套内的压力稳定，可以对研抛组件的位置进行固定，固定后可以轻易得到具有利于面形修正的近高斯去除函数和利于匀滑的去除函数，从而使其去除效果与以往双旋转研抛工具一致，且研抛组件可以保证抛光刀具在运行过程中的稳定性。
刀柄去除抛光机构单轴注气光学制造技术滑动连接面形修正抛光刀具压力稳定压缩气体运行过程组件移动双旋转轴心线滑动高斯滑槽移动保证

[发明专利]永磁电机定转子温度和振动测量装置和永磁电机-CN201911092908.9在审
发明人：尚海;江欣怡;张义;白明山;王卫;许乔 -专利权人：西安安凡达智能电机有限公司
申请日： 2019-11-11 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： H02K11/20 文献下载
摘要：本申请涉及一种永磁电机定转子温度和振动测量装置和永磁电机，测量装置包括：用于插入定子齿上预设的传感器孔的长条形的一体式传感器组；传感器孔位于电机定子轴向中心位置且位于定子齿中心线的径向方向；一体式传感器组包括依次排列的非接触式测温传感器、接触式测温传感器和振动传感器；非接触式测温传感器用于设置在传感器孔中靠近定子齿顶部的一端，以检测转子的温度；振动传感器用于设置在传感器孔中靠近定子轭的一端，以检测电机的振动；接触式测温传感器用于设置在非接触式测温传感器和振动传感器之间，以检测定子的温度。上述方案中，可以同时测量转子、定子的温度以及电机的振动情况，且上述装置结构简单、安装过程便捷，便于使用。
传感器孔非接触式测温振动传感器定子齿传感器接触式测温传感器一体式传感器永磁电机检测电机振动测量装置轴向中心位置转子安装过程测量转子测量装置电机定子依次排列装置结构长条形定转子定子轭预设申请

[发明专利]一种激光薄膜及其制备方法和应用-CN201711177793.4有效
发明人：卫耀伟;许乔;张清华;王建;王震;吴倩;张飞;潘峰 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2017-11-21 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： G02B1/10 文献下载
摘要：本发明提供一种激光薄膜及其制备方法和应用，涉及光学薄膜技术领域。一种激光薄膜的制备方法，包括：以HfCl
一种激光薄膜及其制备方法应用

[实用新型]一种用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置-CN201920341848.9有效
发明人：周炼;韦前才;陈贤华;赵世杰;谢瑞清;张清华;王健;许乔;李洁;郑楠;廖德峰 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2019-03-18 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： B24B49/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于非球面光学元件中频波纹误差的在位检测装置，该装置搭载在磨削机床上，将待测光学元件放置磨削机床的工作台上，通过调节倾角调节装置使平面标准镜沿待测轮廓的倾斜角度等于待测轮廓的弦倾角，位移传感器一从待测轮廓的起始点运动至终止点，同时位移传感器二从平面标准镜的起始端运动至终端，将两位移传感器采集的数据输送至数据处理系统，通过数据处理系统计算得到待测轮廓的全频段误差，去除待测轮廓的非球面理论形貌、低频形状误差和高频粗糙度误差，得到中频波纹误差。该检测装置实现了在原有加工成形磨削机床上的在位检测，无需购置专用高精密测量仪器，也无需拆装元件，节约检测成本和检测时间。
位移传感器磨削机床数据处理系统平面标准镜波纹非球面光学元件形貌倾角调节装置在位检测装置本实用新型高精密测量光学元件加工成形检测装置形状误差在位检测粗糙度非球面起始点起始端全频段终止点检测拆装去除采集终端节约

[实用新型]环抛中抛光液的循环供液装置-CN201920220986.1有效
发明人：廖德锋;王乙任;谢瑞清;赵世杰;周炼;陈贤华;张飞虎;张清华;王健;许乔 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2019-02-21 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及环抛中抛光液的循环供液装置，装置包括供液器；供液管路，其与供液器可转换连通或截止，且其固定于环抛机的多工位桥架上；多个喷嘴，按照预设间距布置于供液管路上，且与供液管路可转换连通或截止；其中预设间距指根据光学元件在环抛机上的位置对应设置喷嘴的位置；回收桶，其连接于环抛机的抛光盘底部；回收泵，其通过管路与回收桶连通，且与供液器可转换连通或截止；及控制柜，供液器、喷嘴和回收泵均与控制柜电性连接。解决了单点供给抛光液造成的抛光液分布不均匀，导致元件表面散热速度不同，引起变形的技术问题，从而改善元件内部的非均匀温度场及其引起的变形，提高加工精度；同时循环利用抛光液可以降低加工成本。
供液器抛光液连通喷嘴可转换供液管路环抛机回收泵回收桶控制柜截止预设非均匀温度场循环供液装置本实用新型电性连接光学元件间距布置循环利用元件表面变形的不均匀多工位供液管抛光盘散热单点桥架加工变形

[实用新型]光学超精密加工磨削液智能监测报警装置-CN201920241550.0有效
发明人：周炼;韦前才;陈贤华;张清华;刘民才;王健;许乔;赵世杰;廖德峰;李洁;郑楠;谢瑞清 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2019-02-26 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及光学超精密加工磨削液智能监测报警装置，包括控制器，其内部预设有磨削试验台各工况下许用的磨削液的液位值、温度值、压力值及流量值；数据采集模块，其安装于磨削试验台中与控制器电性连接，并用于采集磨削试验台磨削液上述信号；报警输出模块，控制器电性连接报警输出模块，报警输出模块与磨削试验台的控制系统可转换电性连接或断开连接；控制器根据数据采集模块采集的磨削试验台磨削液的上述信号并与其内部预设许用值比对，低于或高于预设值，控制器均控制报警输出模块报警；加工工件时报警输出模块与磨削试验台的控制系统电性接通，磨削试验台的控制系统控制磨削试验台的主轴抬起远离加工工件表面，保护工件安全。
试验台磨削报警输出模块磨削液控制系统控制器数据采集模块控制器电性预设智能监测报警装置光学超精密加工加工工件表面采集本实用新型电性连接断开连接加工工件磨削试验输出模块可转换比对电性抬起液位接通报警安全

[实用新型]抛光盘弹性模量和蠕变特性在位测量装置-CN201920216722.9有效
发明人：廖德锋;谢瑞清;赵世杰;孙荣康;周炼;陈贤华;张飞虎;张清华;王健;许乔 -专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
申请日： 2019-02-20 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： G01N3/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及全口径抛光中抛光盘弹性模量和蠕变特性在位测量装置，包括固定于抛光机床横梁顶部的控制器；与控制器通信连接的显示终端；固定于横梁上的加载力执行器，且与控制器电性连接；测试板，其为圆形板；其顶部与加载力执行器铰接，其底部与抛光机床的抛光盘抵接；及位移传感器，其通过连接件固定于加载力执行器上，与控制器通信连接，且位移传感器的检测方向指向测试板的顶部。本实用新型实现了抛光盘弹性模量或蠕变特性的在位测量，无需拆卸抛光盘，操作简单，精度高；同时无需购买专用测量设备，测试成本得到降低；由于测量时无需拆卸抛光盘，防止了抛光盘的形状精度的改变，进而延长了抛光盘的使用寿命。
抛光盘加载力弹性模量本实用新型控制器通信位移传感器抛光机床蠕变特性测试板横梁拆卸测量在位测量装置专用测量设备控制器电性测试成本检测方向使用寿命显示终端控制器连接件全口径圆形板抛光抵接铰接在位指向购买