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[发明专利]一种全温程模拟旋转移动床变压吸附（FTrSRMPSA）的空分制氮工艺-CN202210260602.5在审
发明人：汪兰海;钟娅玲;陈运;唐金财;钟雨明;蔡跃明 -专利权人：浙江天采云集科技股份有限公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： B01D53/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种全温程模拟旋转移动床变压吸附（FTrSRMPSA）的空分制氮工艺，将置于一多通道旋转阀中央且在其周围安置于一圆环形旋转托盘上多个轴向流固定床吸附塔并通过管道连接以及调控旋转阀旋转方向与旋转速度（ω1）、圆环形旋转托盘旋转方向与旋转速度（ω2），使得流经吸附塔中旋转移动的吸附床层的气体，在不断地通过进出每个吸附塔进出口的位置及每个吸附床层在旋转同时完成各自的吸附与解吸步骤的传质，实现了轴向流固定床变压吸附基础上的模拟旋转移动床变压吸附过程，使得吸附与解吸多步骤的循环操作，从空气中获得纯度为96~99.9%、收率为50~70%的氮气产品气。
一种全温程模拟旋转移动变压吸附 ftrsrmpsa 空分制氮工艺

[发明专利]一种变换气全温程模拟旋转移动床变压吸附增强反应制氢工艺-CN202210260623.7在审
发明人：汪兰海;钟娅玲;陈运;唐金财;钟雨明;蔡跃明 -专利权人：浙江天采云集科技股份有限公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： B01D53/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种变换气全温程模拟旋转移动床变压吸附（FTrSRMPSA）增强反应制氢工艺，将置于一多通道旋转阀中央且在其周围安置于一圆环形旋转托盘上多个混合装载的中低温变换催化剂与吸附剂的轴向流固定床吸附反应器并通过管道连接以及调控旋转阀旋转方向与旋转速度（ω1）、圆环形旋转托盘旋转方向与旋转速度（ω2），使得流经吸附反应床层的气体，在不断地通过进出每个吸附反应器进出口的位置及每个吸附反应床层在旋转同时完成各自的反应‑吸附与解吸再生步骤的传质传热，实现了轴向流固定床变压吸附基础上的模拟旋转移动床变压吸附增强反应过程，从中直接获得氢气（H2）产品气，纯度大于等于99.9~99.99%，收率大于等于92~95%，且同时副产高纯度二氧化碳（CO2）。
一种换气全温程模拟旋转移动变压吸附增强应制工艺

[发明专利]一种PDH混合气脱C2+提H2的全温程模拟旋转移动床变压吸附工艺-CN202210260624.1在审
发明人：汪兰海;钟娅玲;陈运;唐金财;钟雨明;蔡跃明 -专利权人：浙江天采云集科技股份有限公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： B01D53/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种丙烷脱氢制丙烯（PDH）混合气脱C2+提H2的全温程模拟旋转移动床变压吸附（FTrSRMPSA）工艺，将置于一多通道旋转阀中央且在其周围安置于一圆环形旋转托盘上多个轴向流固定床吸附塔并通过管道连接以及调控旋转阀旋转方向与旋转速度（ω1）、圆环形旋转托盘旋转方向与旋转速度（ω2），使得流经吸附塔中旋转移动的吸附床层的气体，在不断地通过进出每个吸附塔进出口的位置及每个吸附床层在旋转同时完成各自的吸附与解吸步骤的传质，实现了轴向流固定床变压吸附基础上的模拟旋转移动床变压吸附过程，使得吸附与解吸多步骤的循环操作，从中获得纯度大于等于99.95%且烯烃总含量小于等于0.05%的H2产品气，收率大于等于92%。
一种 pdh 混合 c2 h2 全温程模拟旋转移动变压吸附工艺

[发明专利]一种含低浓度HF的HCl气体深度脱氟干燥的FTrPSA分离与净化方法-CN202011490433.1有效
发明人：汪兰海;钟娅玲;钟雨明;陈运;唐金财;蔡跃明 -专利权人：浙江天采云集科技股份有限公司
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： C01B7/07 文献下载
摘要：本发明涉及以含少量氟化氢/水杂质的工业级氯化氢气体为原料制备电子级HCl的净化提纯技术领域，更具体的说是涉及一种含低浓度HF的HCl气体深度脱氟干燥的FTrPSA分离与净化方法，利用工业级氯化氢气体中有效组分HCl与少量的主要杂质组分氟化氢、水，以及微量或痕量的氟硅烷、氯硅烷、二氧化碳、水溶性金属离子及胶体颗粒等杂质之间本身在不同压力与温度下的吸附/精馏/膜分离系数及物理化学性质的差异性，采取以中温变压吸附工序的吸附与解吸循环操作之间达到一种动态平衡为目的并与HCl精馏、膜分离耦合，使得中温变压吸附过程中吸附与解吸易于匹配从而达到一种平衡的循环操作来进行HCl气体深度脱氟干燥的分离与净化，从而实现电子级HCl产品的制取。
一种浓度 hf hcl 气体深度干燥 ftrpsa 分离净化方法

[发明专利]一种含HF工业尾气FTrPSA有效组分回收再利用的方法-CN202011488994.8有效
发明人：钟雨明;钟娅玲;汪兰海;陈运;唐金财;蔡跃明;蒋强 -专利权人：四川天采科技有限责任公司
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： B01D53/047 文献下载
摘要：本发明公开一种含HF工业尾气FTrPSA有效组分回收再利用的方法，涉及含氟工业尾气净化环保领域，本发明以含HF、SiF4、氟硅酸、HCl为有效组分的含氟工业尾气为原料气，经预处理、氟硅酸喷淋吸收、中温变压吸附、HF精馏、HCl精馏、吸收解吸、氨水脱碳和尾气吸收等工序有机耦合，提取出纯度大于等于99.9％的SiF4、99.99％的HF、99.9％的HCl气体产品，氟硅酸与硫酸作为吸收剂得到了循环使用；本发明实现了含HF工业尾气中有效组分全部回收再利用，得到了远高于传统湿法吸收或精馏所得到的产品纯度或收率，解决了现有干法吸附中吸附剂使用寿命短且不适用于含有多种杂质组分的工业含氟尾气净化等缺陷，填补了含氟工业尾气处理回收技术的空白。
一种 hf 工业尾气 ftrpsa 有效组分回收再利用方法

[发明专利]一种萤石法生产无水HF精制的FTrPSA深度脱水除杂的分离与净化方法-CN202011490138.6有效
发明人：汪兰海;钟娅玲;钟雨明;陈运;唐金财;蔡跃明 -专利权人：浙江天采云集科技股份有限公司
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： C01B7/19 文献下载
摘要：本发明公开了一种萤石法生产无水HF精制的FTrPSA深度脱水除杂的分离与净化方法，涉及工业上萤石法生产无水氟化氢(AHF)精制过程中控制含水量为主的分离与净化方法，其主要步骤为，以萤石法制备无水氟化氢(AHF)生产过程中经冷凝后得到的粗HF气体为原料气，进入由两段变压吸附(PSA)组成的中温变压吸附工序，得到的精HF气体再进入由上下两段精馏组成的HF精馏工序，从中得到纯度大于99.99％、收率超过90％的AHF产品气，由此替代传统的精馏与脱气精馏工艺，实现了AHF深度脱水与除杂净化，填补了萤石法生产AHF工艺技术的空白。
一种萤石生产无水 hf 精制 ftrpsa 深度脱水分离净化方法

[发明专利]一种氯基SiC-CVD制程尾气为反应循环气的FTrPSA可调节分离方法-CN202011534045.9有效
发明人：钟雨明;钟娅玲;汪兰海;陈运;唐金财;蔡跃明;蒋强 -专利权人：四川天采科技有限责任公司
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： B01D53/047 文献下载
摘要：本发明公开了一种氯基SiC‑CVD制程尾气为反应循环气的FTrPSA可调节分离方法，属于碳化硅晶体及薄膜外延的CVD生长过程中的尾气回收与循环再利用技术领域；该方法包括原料气预处理、氯硅烷喷淋吸收、中温变压吸附浓缩、多级蒸发/压缩/冷凝、HCl精制、氯硅烷中浅冷精馏等步骤；本发明利用氯基SiC‑CVD制程尾气中不同组分本身在不同压力与温度下的吸附分离系数与物理化学性质的差异性，采取中温喷淋吸收与中温变压吸附浓缩过程中吸收/吸附与解吸易于匹配和平衡的循环操作来进行可调节各有效组分比例的分离和净化，使制程尾气作为循环反应气返回到氯基SiC‑CVD制程中使用，既实现了氯基SiC‑CVD制程尾气的综合利用，又能有效地增加SiC晶体或薄膜外延的沉积效率与质量。
一种 sic cvd 尾气反应循环 ftrpsa 调节分离方法

[发明专利]一种从MOCVD制程尾气提氢解吸气中提氮再利用的方法-CN201910309326.5有效
发明人：钟娅玲;钟雨明;汪兰海;陈运;蔡跃明 -专利权人：浙江天采云集科技股份有限公司
申请日： 2019-04-17 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： C01B21/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种从MOCVD制程尾气提氢解吸气中提氮再利用的方法，包括将发光二极管(LED)在内的半导体制程中采用的金属氧化物化学气相沉积(MOCVD)及其它化学气相沉积(CVD)工艺产生的氢气、氮气、氨气经回收氨气、氢气后的PSA解吸气或含大量氮气少量氢气的氮氢混合尾气，作为原料气，经换热60～160℃及加压至1.6MPa以上，先后通过渗氢膜分离、催化脱氢、干燥脱水及低温吸附，获得纯度大于等于99.9999％的氮气产品，直接或经过氮气纯化器后，返回到MOCVD制程中加以再利用。本发明解决了MOCVD制程在常压或低压含氮废气回收无法由MOCVD制程中加以使用、在氮气中脱除少量氢气的问题以及现有的提氢解吸气直接排放的问题，实现了少排放甚至零排放。
一种 mocvd 尾气解吸气中提氮再利用方法

[发明专利]一种全温程模拟旋转移动床变压吸附FTrSRMPSA的空气富氧工艺-CN202210260940.9在审
发明人：钟雨明;陈运;汪兰海;詹家聪;陈勇;蔡跃明 -专利权人：四川天采科技有限责任公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： B01D53/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种全温程模拟旋转移动床变压吸附的空气富氧工艺，属于变压吸附技术领域，解决了O2产品纯度与收率无法实现双高的技术问题；该工艺将置于一多通道旋转阀中央且在其周围安置于一圆环形旋转托盘上多个轴向流固定床吸附塔并通过管道连接以及调控旋转阀旋转方向与速度、圆环形旋转托盘旋转方向与速度，使得流经多通道旋转阀通道及通道进出口端与圆环形旋转托盘上的吸附塔进出口端连接的管道及吸附塔中旋转移动的吸附床层的气体，在不断地通过进出每个吸附塔进出口的位置及每个吸附床层在旋转同时完成各自的吸附与解吸步骤的传质，形成“模拟旋转移动床”变压吸附过程，提升了传质效率与生产规模，可获得高纯度与高收率的O2产品。
一种全温程模拟旋转移动变压吸附 ftrsrmpsa 空气工艺

[发明专利]一种基于烷烃与硅烷反应的SiC-CVD无氯外延制程尾气FTrPSA回收方法-CN202011537653.5有效
发明人：汪兰海;钟娅玲;钟雨明;陈运;唐金财;蔡跃明 -专利权人：浙江天采云集科技股份有限公司
申请日： 2020-12-23 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： C01B3/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于烷烃与硅烷反应的SiC‑CVD无氯外延制程尾气FTrPSA回收方法，通过预处理、浅冷变压吸附浓缩、吸附净化、变压吸附提氢、氢气纯化、中浅温冷凝、中浅冷精馏、丙烷精制和硅烷提纯工序，将来自基于烷烃与硅烷反应的无氯SiC‑CVD外延制程尾气中的H2、硅烷、C2+（丙烷）以及甲烷加以高纯度高收率的回收并返回SiC‑CVD制程循环使用，既实现无氯SiC‑CVD外延制程尾气的全组分（有效组分）回收再利用，又减少了尾气排放，弥补了SiC外延制程尾气处理技术的空白。
一种基于烷烃硅烷反应 sic cvd 外延尾气 ftrpsa 回收方法

[发明专利]一种从炼厂干气分离提取H2-CN202210261435.6在审
发明人：汪兰海;钟娅玲;陈运;唐金财;钟雨明;蔡跃明 -专利权人：浙江天采云集科技股份有限公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： B01D53/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种炼厂干气分离提取H2/C2+的全温程模拟旋转移动床变压吸附工艺，是将置于一多通道旋转阀中央且在其周围安置于一圆环形旋转托盘上多个轴向流固定床吸附塔并通过管道连接以及调控旋转方向与旋转速度、圆环形旋转托盘旋转方向与旋转速度机构所构成的中温变压吸附系统，与增压机、真空泵、缓冲罐、脱CO2净化装置及工艺管道组成一个系统，使得流经旋转阀通道及通道进出口端与圆环形旋转托盘上的吸附塔进出口端连接的管道及吸附塔中旋转移动的吸附床层的气体，在不断地通过进出每个吸附塔进出口的位置及每个吸附床层在旋转同时完成各自的吸附与解吸步骤的传质，进而形成了“模拟旋转移动床”的变压吸附过程，实现了轴向流固定床变压吸附基础上的模拟旋转移动床变压吸附过程，使得吸附与解吸多步骤的循环操作而高纯度高收率地获得H2与C2+产品气，其中，H2产品气纯度大于等于99.9%，收率大于等于95%，C2+产品气纯度大于等于96%，收率大于等于98%。
一种炼厂干气分离提取 base sub

[发明专利]适用于窄带物联网的低开销动态反馈安全传输方法及系统-CN201910112567.0有效
发明人：杨文东;唐玄玄;蔡跃明;胡健伟;魏琛;杨炜伟;孙小丽;史鑫 -专利权人：中国人民解放军陆军工程大学
申请日： 2019-02-13 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： H04B7/06 文献下载
摘要：一种适用于窄带物联网的低开销动态反馈安全传输方法及系统。本发明利用上一时隙的信道向量判断是否能够传输，在能够传输时直接按照上一时隙的信道状况进行传输；而在不能够传输时，进一步通过当前时隙的信道向量判断当前时隙是否能够传输。经过如此方式的二次判断后，本发明仅在当前时隙的信道向量能够传输时才反馈当前时隙的量化信道向量因而减少了反馈量化信道向量的次数，降低了CSI反馈信令开销，并同时，充分利用信道前后性质的相关度保证当前时隙的传输效率。本发明由此采用相应的波束赋形传输维纳编码后的信号x，来增强合法用户通信质量，同时采用动态反馈方案降低波束赋形过程中的反馈开销，对硬件资源要求低，操作简单，容易工程应用。
适用于窄带联网开销动态反馈安全传输方法系统

[发明专利]一种含HF/HCl蚀刻尾气FTrPSA分离与回收循环再利用方法-CN202011485842.2有效
发明人：钟娅玲;汪兰海;钟雨明;陈运;唐金财;蔡跃明 -专利权人：浙江天采云集科技股份有限公司
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： C01B7/07 文献下载
摘要：本发明公开了一种含HF/HCl蚀刻尾气FTrPSA分离与回收循环再利用方法，涉及半导体制程中蚀刻尾气的有效组分回收与循环再利用环保领域，其主要步骤为，含有HF/HCl干法蚀刻尾气先后经过预处理、氯硅烷/HCl喷淋吸收、中温变压吸附、HF精馏、多级蒸发/压缩/冷凝、HCl精制、氯硅烷中浅冷精馏与尾气吸收工序，从中获得纯度大于等于99.99％的HF与HCl产品气，并返回干法蚀刻制程中循环使用，其中，中温变压吸附为二段PSA、HF精馏为上下两段、HCl精制为两塔精馏。本发明实现了从含HF/HCl干法蚀刻尾气中分离回收HF与HCl，并返回蚀刻制程中循环使用，大幅度降低了蚀刻气体原料成本与尾气环保处理成本，解决了现有技术仅是达标排放而无法实现尾气综合利用，填补了该技术领域的空白。
一种 hf hcl 蚀刻尾气 ftrpsa 分离回收循环再利用方法

[发明专利]一种氟基SiC-CVD晶体与薄膜生长制程尾气FTrPSA全组分回收再利用方法-CN202011489037.7有效
发明人：钟雨明;钟娅玲;汪兰海;陈运;唐金财;蔡跃明;蒋强 -专利权人：四川天采科技有限责任公司
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： C01B7/19 文献下载
摘要：本发明公开了一种氟基SiC‑CVD晶体与薄膜生长制程尾气FTrPSA全组分回收再利用方法，涉及第三代半导体材料碳化硅(SiC)晶体及薄膜外延生长过程中的尾气中有效组分的回收以及返回到半导体制程循环使用的环保领域，采取氯硅烷喷淋吸收、C2+浅冷油吸收、氯硅烷中浅冷精馏与中温变压吸附浓缩之间的耦合与循环操作来分离和提纯所需的主要有效组分C2+、SiF4、HF、HCl、氯硅烷，甚至H2，或返回到SiC‑CVD制程循环使用，或返回至本发明系统中循环使用，由此实现制程尾气资源的循环再利用，解决了尾气中C2+与SiF4/HF/HCl难以分离的困难。
一种 sic cvd 晶体薄膜生长尾气 ftrpsa 组分回收再利用方法

[发明专利]一塔式异丙醇溶液吸附精馏分离与净化方法-CN202111503661.2在审
发明人：汪兰海;陈运;唐金财;钟雨明;蔡跃明 -专利权人：浙江天采云集科技股份有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： C07C29/84 文献下载
摘要：本发明公开一塔式异丙醇溶液吸附精馏分离与净化方法，异丙醇（IPA）含量为20~60%（w/w）的水溶液，温度为20~60℃，压力为常压或低压，进入由吸附精馏塔下段、吸附精馏塔中段及吸附精馏塔上段组成的吸附精馏系统，其中，上下两段为常规精馏塔，中段由气液平衡分离盘、物流分布塔板、加热与冷却盘管以及固体颗粒吸附剂或规整吸附剂组成，从下段塔底馏出水及其它微量的杂质组分排出，从上段塔底馏出纯度大于等于99.9%（w/w）的异丙醇产品，从上段塔顶馏出的接近异丙醇‑水二元系统共沸点的物流，一部分作为冲洗气/液从中段上部进入，与上升的物流逆向接触进行吸附与精馏的稳态传质，一部分返回到下段顶部进一步分离与回收异丙醇，产品收率达到99%以上。
塔式异丙醇溶液吸附精馏分离净化方法