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- [发明专利]半导体工艺设备及其清洗方法-CN202211212745.5在审
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都娴;何忠义;郝亮;荣威
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北京北方华创微电子装备有限公司
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2022-09-30
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2023-04-11
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B08B5/02
- 本发明提供一种半导体工艺设备及其清洗方法,该设备包括工艺腔室、用于向工艺腔室内通入气体的进气装置、用于抽出工艺腔室内气体的抽气装置,以及用于激发工艺腔室内气体形成等离子体的上电极装置,其特征在于,进气装置包括喷嘴、设置在喷嘴中的多个进气通道,以及气体分配组件,其中,不同的进气通道的出气方向不同;气体分配组件与多个进气通道连接,且用于与气体供应源连接,气体分配组件用于选择性地将气体供应源与至少一个进气通道连通,以能够在进行清洗工艺时,依次对各个进气通道和工艺腔室的内部进行清洗。本发明提供的半导体工艺设备及其清洗方法,可以有效提高对各个进气通道的清洁效果,降低刻蚀副产物掉落在晶圆上的风险。
- 半导体工艺设备及其清洗方法
- [实用新型]一种用于肥料箱两端上料的升降式化肥装填设备-CN202221287495.7有效
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曹成禹;荣威
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荣威
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2022-05-27
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2022-12-02
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A01C15/00
- 本实用新型涉及农业机械技术领域,具体涉及一种用于肥料箱两端上料的升降式化肥装填设备;包括固定安装在肥料箱上表面的机架,所述机架上转动连接有旋转架,所述旋转架上设置有升降臂支架和油缸支架,所述升降臂支架上转动连接有升降臂,且升降臂的一端通过绳索连接有肥料袋夹持件,所述油缸支架上转动连接有动力装置,所述机架上以旋转架的旋转中心为对称点呈旋转对称开设有两个定位插孔,所述旋转架上设置有与两个定位插孔处于同一环线上的定位插销;本实用新型有效解决了现有化肥只从一端填装时造成肥料箱内部一端堆积而另一端无法填装的问题,无需作业人员将肥料箱进行手动填平。
- 一种用于肥料两端升降化肥装填设备
- [实用新型]一种袋装物料快速抓取机械手-CN202221576467.7有效
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荣威
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荣威
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2022-06-23
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2022-12-02
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B65B43/54
- 本实用新型涉及抓取夹具技术领域,具体涉及一种袋装物料快速抓取机械手;包括交叉转动连接的第一转动臂和第二转动臂,第一转动臂和第二转动臂的两上端之间连接有柔性提拉物,第一转动臂的下端连接有袋口压紧槽条,第二转动臂的下端连接有袋口压紧板;本袋装物料快速抓取机械手的结构设计简单,生产制造成本低,而且在对袋装物料进行抓取提升过程中操作简单便捷,安全可靠、维护方便,同时还利用杠杆原理使其对袋装物料的夹紧力随着物料重量的提升而增大,能够有效防止袋装物料在提升过程中发生滑脱,整个抓取机械手的使用效果优异、实用性强。
- 一种袋装物料快速抓取机械手
- [实用新型]一种生态修复用湖泊清淤装置-CN202220024971.X有效
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张勇;陈松;荣威;赵欣;谢聪
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松滋市江南水利水电工程有限公司
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2022-01-06
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2022-05-13
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E02F5/28
- 本实用新型提供了一种生态修复用湖泊清淤装置,包括升降组件和清淤组件,所述升降组件包括滑板,所述清淤组件包括连接板、第一固定板、滑槽、滑块、第二固定板、第二电动缸、固定筒、抽沙罩、安装板、电机、连接轴、铰刀和抽淤管;所述滑板的一侧铰接有连接板,所述连接板的前表面焊接有第一固定板,所述第一固定板的一侧开设有滑槽;因为连接板铰接于滑板的一侧,使连接板可围绕滑板一侧转动,第二电动缸的活塞杆一端移动,给滑块施加推力,带动滑块移动于滑槽内部,推动连接板绕滑板一侧转动,可调节抽淤管的位置,增加清淤船单次行驶过程中抽沙的面积,从而减少清淤船在湖泊上往复行驶次数,提高清理工作的效率。
- 一种生态修复湖泊清淤装置
- [实用新型]一种具有高稳定性的升降式化肥装填设备-CN202121892946.5有效
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荣威
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荣威
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2021-08-13
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2022-03-18
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B65G65/32
- 本实用新型涉及农业机械技术领域,具体涉及一种具有高稳定性的升降式化肥装填设备;包括安装在肥料箱上表面的机架,机架的一端设置有转动支架,且转动支架上转动连接有调节杆,机架的另一端设置有支点,支点上连接有伸缩装置,且伸缩装置的活动端与调节杆的近端相连接,支点上端连接有升降臂,且升降臂的升降端连接有肥料袋夹持件,调节杆的另一端连接有拉杆,且拉杆的端部连接有两个分别与升降臂上下表面相抵接的滚轮;本设备有效解决了现有施肥机在上料时需要人工装填而导致劳动量过大的问题,而且整个升降臂的提升过程更加稳定,从而使得化肥填装设备具有更高的稳定性,实际使用效果更加优异。
- 一种具有稳定性升降化肥装填设备
- [实用新型]一种升降式化肥填装设备-CN202121530135.0有效
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荣威
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荣威
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2021-07-07
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2021-12-28
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A01C15/00
- 本实用新型涉及农业机械技术领域,具体涉及一种升降式化肥装填设备;包括安装在肥料箱上表面的机架,所述机架上设置有转动座,所述转动座上转动连接有升降臂,所述升降臂一端连接有肥料袋夹持件,所述机架上还设置有连接升降臂另一端、且用于驱动升降臂连接挂钩一端升起的动力组件;本实用新型公开的升降式化肥装填采用了以伸缩装置为动力源,通过伸缩装置将挂有化肥袋一端的升降臂提升至肥料箱填料口的正上方进行填装,有效解决了现有施肥机在上料时需要人工装填而导致劳动量过大的问题,其整体结构虽然简单,但是切实有效的解决了现有施肥机进行填料时存在的问题,实用性较强。
- 一种升降化肥装设
- [实用新型]一种管杆输送机-CN202020871771.9有效
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吕军涛;王城镇;党宁军;庞应虎;李桂婷;荣威;丁喜;孙剑;李建国
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胜利油田物华实业发展有限公司
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2020-05-21
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2021-02-12
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E21B19/14
- 本实用新型公开了一种管杆输送机,涉及机械设备领域,解决了现有技术中管杆输送机无抽油杆输送功能的问题。本实用新型的上料夹持机构用于夹持管柱和/或抽油杆,并将管柱和/或抽油杆输送至滑车夹持机构内夹紧;举升机构安装于变轨机构上,使得举升机构能够在前进的同时实现高度的增加;滑车机构安装于举升机构的滑槽内并在滑槽内沿水平方向移动;滑车夹持机构安装于滑车机构内,使得滑车夹持机构能够通过滑车机构在水平方向的移动带动滑车夹持机构上夹持的管柱和/或抽油杆沿水平方向移动。该管杆输送机可以实现抽油杆的输送,解决了现有技术中的管杆输送机无抽油杆的输送功能,依然使用人力作业,拖拽抽油杆到管排架上,费工费力的技问题。
- 一种输送
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