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- [发明专利]一种PCVD拉丝用夹持装置及方法-CN201910050993.6有效
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伍志军
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苏州赛森电子科技有限公司
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2019-01-21
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2023-08-08
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C03B37/03
- 本发明公开了一种PCVD拉丝用夹持装置，涉及PCVD工艺中预制棒的夹持技术领域，包括驱动机构、斜齿轮、连接齿轮、盘座、夹紧机构。驱动机构具有驱动电机和限力组件，驱动电机主轴具有弧形凹槽。限力组件具有卡件和弹性件一，卡件贴合弧形凹槽。弹性件一连接卡件。斜齿轮连接限力组件。连接齿轮与斜齿轮相互啮合。盘座具有滑槽，滑槽具有通槽，连接齿轮位于通槽中。夹紧机构具有定位件一，连接齿轮驱动定位件一运动。本发明驱动斜齿轮带动连接齿轮以相同速度进行旋转，使得连接齿轮的齿距离盘座中心都处于相同距离，在定位件一和连接齿轮形成配合时保证了每次夹紧预制棒都是处于相同中心点，使得夹持机构夹持的预制棒与炉内壁中心保持均匀间隙。
- 一种pcvd拉丝夹持装置方法
- [发明专利]一种防止刮擦掩膜版边缘设备-CN201810004569.3有效
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伍志军
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苏州赛森电子科技有限公司
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2018-01-03
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2023-06-27
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G03F7/20
- 本发明公开了一种防止刮擦掩膜版边缘设备，包括掩膜版台面，所述掩膜版台面的顶部固定安装有六个固定销，且掩膜版台面的顶部放置有掩膜版，所述掩膜版与六个固定销均相配合，且掩膜版台面的一侧固定安装有竖直板，所述竖直板的顶部延伸至掩膜版台面的上方，且竖直板靠近掩膜版台面的一侧顶部焊接有顶板，所述顶板的底部开设有第一安装槽，且第一安装槽内安装有第一推杆电机，所述第一推杆电机的输出轴上焊接有横板，且横板的底部两侧均焊接有放置板，两个放置板相互靠近的一侧均开设有第二安装槽。本发明实用性高，通过移动板和风机，方便清除掩膜版上表面和下表面的灰尘，并且通过弹簧和盛装箱，方便在清除掩膜版的同时将掩膜版固定，提高掩膜版的稳定性。
- 一种防止刮擦掩膜版边缘设备
- [发明专利]一种定位组件及硅片抛光机-CN202211596686.6在审
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伍志军
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苏州赛森电子科技有限公司
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2022-12-12
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2023-06-23
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B24B29/02
- 本发明涉及硅片抛光机相关技术领域，具体为一种定位组件，定位组件包括主支架、载物台、次级支架、滑座、伸缩电缸、移动悬梁、安装座、转轴、定位件，主支架设置在设置在设备本体上，载物台固定安装在主支架上，其载物台上开设有开口槽；通过设置由主支架、次级支架、滑座、伸缩电缸、移动悬梁、安装座、转轴和定位件组合构成的定位组件，从而通过滑座、伸缩电缸、移动悬梁、安装座、转轴和定位件的运动以对待加工硅片的位置进行调整，从而提高对待加工硅片位置调节的便利性，并且由吸附腔和密封垫圈组合构成的定位件可以有效优化定位件的整体结构，其结构原理更简单，并且负压吸附的定位方式可以更好的对待加工硅片进行保护。
- 一种定位组件硅片抛光机
- [发明专利]一种磁控溅射门防下垂辅助装置及方法-CN201910050990.2有效
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伍志军
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苏州赛森电子科技有限公司
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2019-01-21
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2023-06-02
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C23C14/35
- 本发明公开了一种磁控溅射门防下垂辅助装置，涉及防下垂技术领域，包括连接体、辅助装置。连接体左端具有调整体，连接体右端固定在磁控溅射门上。辅助装置固定在磁控溅射设备上，连接体与辅助装置位于相对方向，调整体位于辅助装置内，辅助装置与调整体具有一定间隙，辅助说装置包括复位件，复位件具有导向面，复位件为刚性材料，复位件位于调整体一侧，复位件为弧形。本发明在打开或关闭磁控溅射门过程中，使得调整体刚性接触复位件对磁控溅射门进行复位，达到保证金属腔体的密封性的目的。其中，调整体和复位件接触过程极为短暂，只有在磁控溅射门密封时才进行接触，极大减小了调整体和复位件的摩擦，有利于长时间保证金属腔体密封性。
- 一种磁控溅射下垂辅助装置方法
- [发明专利]一种清洗机构及硅片去污机-CN202211622295.7在审
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伍志军
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苏州赛森电子科技有限公司
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2022-12-16
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2023-05-09
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H01L21/687
- 本发明涉及硅片去污机相关技术领域，具体为一种清洗机构，清洗机构包括清洗槽、龙门支架、液压组件、安装板、一级夹持机构、二级夹持机构，清洗槽固定在地面上，且清洗槽的后侧面设置有进液口和排液口，进液口和排液口的端口位置处均设置有阀门结构，龙门支架的横梁位于清洗槽的开口正上方；本发明通过设置由清洗槽、龙门支架、液压组件、安装板、一级夹持机构和二级夹持机构组合构成的清洗机构，从而通过一级夹持机构和二级夹持机构交替对硅片进行夹持定位，从而避免了单组夹具对硅片进行夹持时，会造成夹具的夹持位置无法实现清理的问题，而两组夹具的交替运行，便可以保证硅片的各个位置可以充分的进行清理。
- 一种清洗机构硅片去污
- [发明专利]一种废料收集组件及硅片烘干机-CN202211622293.8在审
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伍志军
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苏州赛森电子科技有限公司
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2022-12-16
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2023-05-09
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F26B25/00
- 本发明涉及硅片烘干机领域，具体公开了一种废料收集组件及硅片烘干机，包括：硅片烘干机主体的侧面设置有破碎箱，破碎箱的顶端的两侧设置有安装块；一号导料板设置于破碎箱的顶端，一号导料板的表面开设有伸缩孔，伸缩孔的内部插接有控制杆；二号导料板设置于破碎箱的顶端；有益效果为：将报废的硅片通入一号导料板与二号导料板之间，通过一号导料板与二号导料板将报废硅片竖直导入两组破碎辊之间，避免了硅片平铺在破碎辊的顶面无法破碎，破碎后的硅片落入集料盒的内部，可以充分利用集料盒内部的空间，减少了更换集料盒的次数，解决了废料收集箱中硅片与硅片相互支撑，浪费废料收集箱中的储存空间，导致需要频繁更换废料收集箱的问题。
- 一种废料收集组件硅片烘干机
- [发明专利]一种传输组件及硅片输送机-CN202211596682.8在审
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伍志军
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苏州赛森电子科技有限公司
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2022-12-12
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2023-05-09
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H01L21/677
- 本发明涉及半导体加工领域，具体为一种传输组件及硅片输送机，包括两个支撑柱、润滑组件、推送组件、旋转组件、调节组件、两个传输轮，支撑柱水平对称设置，润滑组件插接置于两个支撑柱之间设置，且润滑组件包括润滑盒，推送组件竖直设于润滑盒内中心设置，且推送组件包括推杆和活塞，旋转组件套接两个支撑柱靠近润滑盒一侧设置，通过两个支撑柱配和旋转管的方式取代现有的支撑辊结构，然后在两个支撑柱之间设置润滑组件，在设备使用状态下带动旋转管的旋转，自动对旋转轴承进行润滑操作，另外在调节组件的作用下方便对两个传输轮的位置进行同步调节，提高该输送机的适用范围，且操作简单方便。
- 一种传输组件硅片输送
- [发明专利]一种上料机构及硅片清洗机-CN202211632696.0在审
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伍志军
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苏州赛森电子科技有限公司
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2022-12-19
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2023-05-05
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B65G47/82
- 本发明涉及半导体加工领域，具体为一种上料机构及硅片清洗机，包括底板、进料组件、出料组件、支撑架、下压组件、固定组件、盛放组件，底板水平设置，且底板上端设有操作台，进料组件设于操作台一侧，进料组件包括进料带和推料伸缩缸，出料组件设于操作台远离进料组件一侧，且出料组件包括出料带，支撑架竖直设于操作台上端，该装置通过成本较低的输送带结构同时对两个组合设置的盛放篮进行输送和定位，然后在推料伸缩缸和下压伸缩缸的水平和竖直推动作用下，对硅片进行清洗上料，成本较低，且单次可清洗更多的硅片，效率更高，另外在固定组件的作用下，安装简单方便，不会对清洗造成额外的污染，经久耐用，使用方便。
- 一种机构硅片清洗
- [发明专利]蒸发镀膜工艺中的圆片固定装置-CN201810004547.7有效
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伍志军
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苏州赛森电子科技有限公司
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2015-11-20
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2021-09-14
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H01L21/683
- 本发明公开了一种蒸发镀膜工艺中的圆片固定装置，其包括有工作腔室，工作腔室上端部设置有固定台；所述固定台的轴线位置设置有吸附管道，其连通至设置在工作腔室外部的真空吸附泵；所述吸附管道包括有第一管道与第二管道，第一管道与真空吸附泵进行连接，第二管道与固定台进行连接，第二管道延伸至第一管道内部，第一管道与第二管道的连接位置设置有密封圈；所述第二管道之上设置有从动齿轮，工作腔室的上端部设置有与从动齿轮相啮合的主动齿轮，主动齿轮由电机进行驱动；采用上述技术方案，其可使得圆片在实现其旋转加工的同时，避免常规固定方式对其表面进行损坏。
- 蒸发镀膜工艺中的固定装置
- [发明专利]一种硅片用的烘干装置-CN202110161800.1在审
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伍志军
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苏州赛森电子科技有限公司
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2021-02-05
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2021-05-11
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F26B15/14
- 本发明公开了一种硅片用的烘干装置，包括：底架、下横板、硅片装载架、上横板、承载框与搬运机构，下横板设置在底架的上方，并为前后对称设置，下横板上安装有承载架，承载架的前后两边穿过下横板与底架；硅片装载架设置在底架上，硅片装载架中装载有硅片，硅片装载架的中间穿过丝杠，丝杠用于传动硅片装载架移动；上横板设置在下横板的上方，并为前后对称设置，上横板距离下横板有一段间隔；承载框设置在承载架的中间上方，承载框的前后两边连接有支撑板，支撑板的底部连接上横板；搬运机构位于承载框与承载架之间，搬运机构具有夹板，夹板为左右对称设置，用于夹取硅片装载架中的硅片。本发明获得了节约空间、增加烘干硅片数量的优点。
- 一种硅片烘干装置
- [实用新型]一种硅片刻蚀设备上的矫正机构-CN202020420462.X有效
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伍志军
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苏州赛森电子科技有限公司
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2020-03-28
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2020-11-06
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H01L21/677
- 本实用新型公开了一种硅片刻蚀设备上的矫正机构，涉及硅片生产设备技术领域，包括：基座、支撑座、传送辊、驱动装置、传送带、载片台、滑座、矫正机构、导向轮。通过载片台的触发板推动矫正机构的被动部方式，使直径小于转柱的第一齿轮在转柱上的传动齿下带动旋转(根据机械传动系统中传动比原则，相当于小齿轮的第一齿轮旋转角度会大于相当于大齿轮的转柱旋转角度)，导向轮在与第一齿轮相连的转动部带动下沿硅片弧形端面进行由前向后的弧形方向移动，实现了硅片前后及左右位置的矫正。此外，第二齿轮在转动部的转动下，其沿连接齿进行旋转，从而带动导向轮旋转，使得导向轮与硅片的静摩擦变为动态摩擦，大大降低了导向轮对硅片的磨损伤害。
- 一种硅片刻蚀设备矫正机构
- [实用新型]一种真空镀膜工艺中的硅片的存料装置-CN202020420448.X有效
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伍志军
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苏州赛森电子科技有限公司
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2020-03-28
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2020-10-09
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H01L21/673
- 本实用新型公开了一真空镀膜工艺中的硅片的存料装置，主要以解决现有收纳硅片的装置中硅片的存放位置小导致工人放入硅片会使硅片易碎裂的问题。包括主壳体；主外板，所述主外板固定在所述主壳体的外表面；隔板，隔板之间用于存放硅片，所述隔板的侧边设有轴槽；第一连接件，所述第一连接件连接在所述隔板的侧边；第二连接件，所述第二连接件连接在所述隔板的侧边并与所述第一连接件相接；活动轴，所述活动轴连接在所述第一连接件与所述第二连接件的交叉上端，并位于所述轴槽中；固定轴，固定在所述隔板的侧边；滑块，所述滑块为横向设置并固定在所述隔板的侧边，所述滑块位于所述主壳体中用于隔板滑动。本实用新型获得了存放硅片不会损坏、并且能够有效的固定的优点。
- 一种真空镀膜工艺中的硅片装置
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