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[发明专利]一种有源区全耗尽的pin异质结日盲紫外高速光电探测器及其制备方法-CN202211246453.3在审
发明人：张洪良;陈文澄;徐翔宇;李明杭;程其进 -专利权人：厦门大学
申请日： 2022-10-12 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01L31/105 文献下载
摘要：本发明公开了一种有源区全耗尽的pin异质结日盲紫外高速光电探测器及其制备方法，涉及日盲紫外光电探测器领域。本发明是在p型氮化镓衬底上先沉积一层本征氧化镓作为i层，然后再沉积一层硅掺杂的n型氧化镓层构成pin异质结。通过合理调控掺杂浓度和i型氧化镓层的厚度，使得作为主要吸光层的i型氧化镓层全耗尽。随后在pin异质结上分别制备p型氮化镓和n型氧化镓的欧姆接触，即可获得基于氧化镓的pin异质结光电探测器。对比常规的氧化镓基pn异质结光电探测器，本发明中制备的pin异质结光电探测器具有优异的器件性能，包括更短的响应时间、更大的响应度、更大的光暗电流比、良好的瞬态响应特性和稳定性。
一种有源耗尽 pin 异质结日盲紫外高速光电探测器及其制备方法

[发明专利]一种等离子体热氧化制备氧化镓薄膜的方法-CN202211507290.X在审
发明人： 程其进;肖博翰;苏童;艾子康;沈禹衡 -专利权人：厦门大学
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： C30B25/18 文献下载
摘要：一种等离子体热氧化制备氧化镓薄膜的方法，将氮化镓薄膜转移到等离子体增强化学气相沉积装置内，并放置在管式炉加热区中间位置，启动机械泵将管式炉内抽真空，维持管式炉内压强在10～30Pa，之后将管式炉的温度升高到800～900℃；向管式炉内同时输入氩气和氧气，当管式炉内压强稳定在20～100Pa时，打开射频电源产生等离子体，在管式炉内放电稳定后停止通入氩气；待放电再次稳定后，保持管式炉内温度不变，进行热氧化处理；关闭射频电源，停止通入氧气，保持机械泵工作的同时，使管式炉自然冷却到室温。本发明实现快速、高质量的氧化镓薄膜制备。
一种等离子体氧化制备薄膜方法

[发明专利]一种利用化学气相沉积法制备二硫化钼钨单晶的方法-CN202210875215.2在审
发明人： 程其进;袁锦涛;艾子康 -专利权人：厦门大学深圳研究院;厦门大学
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： C30B29/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用化学气相沉积法制备二硫化钼钨单晶的方法，涉及二硫化钼钨制备领域。本发明首选将硅片进行预清洗，然后将硫粉、MoO3粉末和一定比例的WO3和NaCl的混合粉末放入容器中，再把预清洗的硅片放入衬底支架上，随后把粉末容器和衬底支架放入管式炉，抽取真空，排除空气，将整个反应系统在载气的氛围中，调整温度进行反应，制备出大面积的二硫化钼钨单晶。所制备的二硫化钼钨单晶整体平整，厚度为0.8nm，质量较高，实验的整体成功率也得到显著提高。
一种利用化学沉积法制二硫化钼钨单晶方法

[实用新型]金属拉链的链齿成型模具-CN202022010511.5有效
发明人： 程其进 -专利权人：湖北金冠拉链有限公司
申请日： 2020-09-14 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： B22C9/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了金属拉链的链齿成型模具，包括模具本体、出气过滤机构和冷却机构，所述模具本体包括底座、出液口、第一模具槽位、排气口和上模具板，所述出气过滤机构包括出气口、过滤芯、外壳和上端盖，所述冷却机构包括冷却管、水泵和水箱，水泵和水箱通过连接管连接。本实用新型通过使用出气过滤机构，达到了在排气的过程中，极大程度减少了有害气体的溢出，从而减少了有害气体对环境、对人体的伤害，继而保护了使用者的身心健康；本实用新型通过使用冷却机构，达到了在金属成型过程中加速冷却的效果，从而解决了传统拉链链齿成型模具在冷却中耗时较长的问题，继而使得制作拉链链齿的时间大大缩短。
金属拉链成型模具

[实用新型]金属颗粒牙拉链-CN202022010325.1有效
发明人： 程其进 -专利权人：湖北金冠拉链有限公司
申请日： 2020-09-14 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： A44B19/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了金属颗粒牙拉链，包括拆卸机构和辅助拆卸机构；所述拆卸机构包括螺丝、下垫片、下止和上垫片，所述布带的一侧自上而下依次固定安装有链齿，所述下垫片表面固定连接有卡位片。本实用新型设置的拆卸机构可起到方便安装拉链头的作用，在拉链安装或损坏时可起方便安装和归位的作用，解决了因两侧拉链错开、人力将其归位，这样不仅会使拉链变形，还可能出现损伤链牙的问题；本实用新型设置的辅助拆卸机构，在正常作用下起辅助拉动拉链头的作用，在拉链头安装时，可使用拉链片内侧连接的平口刀，将拉链头进行拆卸和安装，到达了可不需借助其他工具、直接进行安装的效果，解决了因为不能及时安装影响带有拉链物品的使用性的问题。
金属颗粒拉链

[实用新型]加强型闭尾拉链-CN202022010512.X有效
发明人： 程其进 -专利权人：湖北金冠拉链有限公司
申请日： 2020-09-14 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： A44B19/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了加强型闭尾拉链，包括第一布带、第二布带、第一链牙、第二链牙和拉头主体。本实用新型设置的防水层和耐磨层，使得金属闭尾拉链具有一定的防水和耐磨功能，可以防止金属闭尾拉链在潮湿的环境中使用时腐蚀损坏，从而避免使用者频繁更换金属闭尾拉链情况，并且在防水层和耐磨层的作用下，可以增加一定的使用寿命；本实用新型设置链牙和拉头，通过将链牙安装在金属闭尾拉链上，可以简化金属闭尾拉链的修复流程，在链牙损坏时，直接更换链牙，无需对金属闭尾拉链进行整体的更换，并且设置的拉头，可以实现对金属闭尾拉链拉头的快速拆卸和安装，从而节省修复时间。
加强型拉链

[实用新型]耐磨性树脂拉链-CN202022068945.0有效
发明人： 程其进 -专利权人：湖北金冠拉链有限公司
申请日： 2020-09-21 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： A44B19/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了耐磨性树脂拉链，包括第一布带、第二布带、带筋、上止和拉链头机构，所述第一布带与所述第二布带在靠近彼此的一侧均粘附连接有带筋，所述带筋上固定安装有链牙。本实用新型通过设置拉链头机构使得本装置拉链头的支芯跟下板是可拆卸的，如果上板上的部件损坏，则可以将损坏上板舍弃，用一个新上板来代替，如果下板损坏，则直接将下板舍弃，从而减少了不必要的浪费，降低了购买成本；本实用新型通过设置可拆卸的带筋，使得本装置的拉链带是可置换的，本装置的带筋与布带之间设有魔术贴，使得本装置的带筋和拉链带的拆卸十分方便，从而减少了不必要的麻烦，降低了购买成本，同时使拉链带的清洗十分方便。
耐磨性树脂拉链

[实用新型]开尾注塑拉链-CN202022070854.0有效
发明人： 程其进 -专利权人：湖北金冠拉链有限公司
申请日： 2020-09-21 - 公布日： 2021-03-26 - 主分类号： A44B19/36 文献下载
摘要：本实用新型公开了开尾注塑拉链，包括链带和拉头，所述链带包括布带、链齿、第一上止齿、第二上止齿、插销、插座、弹簧和卡珠，所述拉头包括上板、支芯、下板、安装座、销柱、拉鼻、螺纹销、挂环和拉片。实用新型通过加装第一上止齿和第二上止齿，能够利用第一上止齿和第二上止齿上的限位钩齿防止拉头变形导致的脱落，通过插座内的弹簧和卡珠，以及插销上的圆槽，使插销能够卡在插座内，拉动拉头时更加的省力本实用新型通过加装安装座，在需要更换拉鼻上的挂件时，通过拧动螺纹销，使拉鼻能够在销柱上转动，然后将挂件套在拉鼻上，再用螺纹销将拉鼻进行锁定，能够快速的更换损坏的挂件，也可以根据喜好更换挂件，满足了不同人的需求。
尾注拉链

[实用新型]双开尾拉链-CN202022115033.4有效
发明人： 程其进 -专利权人：湖北金冠拉链有限公司
申请日： 2020-09-24 - 公布日： 2021-03-23 - 主分类号： A44B19/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了双开尾拉链，包括第一布带、第二布带、拉链机构、第一安装块和第二安装块。本实用新型安装有特别的拉头机构，当该拉头机构拉到顶时，按下第二弹簧柱可以将拉头机构卡在第三凹槽内，避免了运动中拉头的下滑，而当人们需要拉开拉链时，只需要稍微用劲向下拉动拉链布带，便能使拉头机构和第二安装块脱离，操作简单方便，相较于现有的双开尾拉链，本实用新型结构更加巧妙、实用；本实用新型安装有多个限位块，限位块内部还含有吸铁石，所以限位块不但可以起到限位的作用，而且能够避免开尾拉头从链牙尾部脱落，相较于现有双开尾拉链，本实用新型设计的更加合理化，大大提高了人们的使用体验。
双开拉链

[实用新型]一种拉链齿距测量工装-CN202022115751.1有效
发明人： 程其进 -专利权人：湖北金冠拉链有限公司
申请日： 2020-09-24 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： G01B5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种拉链齿距测量工装，包括支撑架和夹具，所述夹具的数量为两个，所述支撑架包括置物板、安装座、支腿、脚套、支脚套、安装套、横杆和滑槽座，所述夹具包括底座、立柱、齿条、移动套、齿轮箱、压块、轴座、轴套、齿轮轴、正齿轮、和旋钮。本实用新型中的支撑架结构简单，便于拆装，通过设置安装座和支脚套，使支撑架在不使用时可以拆分开放置，并且能够通过改变横杆的长度来改变支腿与置物板所成的夹角，从而改变支撑架的高度；本实用新型通过设置滑槽座，使夹具的位置可以改变，能够适用于不同长度的拉链，通过设置夹具，使拉链能够绷直并固定，提高测量拉链齿距的精准度。
一种拉链测量工装

[发明专利]在金属箔基底上可控制备低维金属氧化物纳米材料的方法-CN201611080557.6有效
发明人： 程其进;郭斌;渠亚洲;林冠华 -专利权人：厦门大学
申请日： 2016-11-30 - 公布日： 2019-02-22 - 主分类号： C23C8/36 文献下载
摘要：在金属箔基底上可控制备低维金属氧化物纳米材料的方法，涉及金属氧化物纳米材料。通过等离子体方法在金属箔表面生长出纳米材料，并通过控制温度和通入气体的比例来控制纳米材料的生长。具体步骤：将金属箔打磨去除表面氧化物并清洗后，放入反应装置中并抽真空，然后升温，再通入氩气与氧气并通过两端的电极进行辉光放电，辉光放电结束后，待反应装置冷却到室温便可获得低维金属氧化物纳米材料。可适用于多种不同金属；由能够使得反应物分子实现有效激发、离解和电离，使得反应体系能够在低温下快速进行；可以降低反应温度和减少反应时间。所需加热温度低，反应时间短，可有效降低能耗；工艺简单，成本低廉；生产出的纳米材料形貌可控，质量高。
金属氧化物纳米材料纳米材料低维反应装置辉光放电金属箔基可控制等离子体有效降低能耗表面氧化物反应时间短反应物分子金属箔表面形貌可控有效激发氩气生长抽真空金属箔电极电离放入离解加热去除打磨氧气冷却清洗金属生产

[发明专利]一种基于预氧化处理的硅纳米线阵列的制备方法-CN201810411512.5在审
发明人： 程其进;李燕秋;张铃;渠亚洲 -专利权人：厦门大学深圳研究院;厦门大学
申请日： 2018-05-02 - 公布日： 2018-09-28 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：一种基于预氧化处理的硅纳米线阵列的制备方法，涉及微纳米材料。1)将硅片清洗；将步骤1)得到的预清洗硅片置入H2O2溶液反应，在预清洗硅片表面形成一层二氧化硅层，得到预氧化硅片；将步骤2)得到的预氧化硅片用改良的RCA方法清洗；将步骤3)得到的硅片浸入HF水溶液，去除硅片表面的二氧化硅层，采用金属辅助刻蚀法在硅片表面制备基于预氧化处理的硅纳米线阵列。完成每一步骤后最好用去离子水充分清洗硅片。所制备的基于预氧化处理的硅纳米线阵列中硅纳米线的长度可为0.500～8.000μm，反射率可为2.24％～1.50％。
硅片硅纳米线阵列预氧化处理制备硅片表面二氧化硅层预清洗预氧化清洗金属辅助刻蚀法微纳米材料浸入硅纳米线硅片清洗去离子水反射率去除置入改良

[发明专利]一种利用低温等离子体制备石墨烯的方法-CN201510165689.8在审
发明人： 程其进;吴洁阳;冯嘉;陈文志;张彬彬;郑将辉;张风燕;云大钦 -专利权人：厦门大学
申请日： 2015-04-09 - 公布日： 2015-07-15 - 主分类号： C01B31/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用低温等离子体制备石墨烯的方法，其步骤是提供一反应器，在反应器进出口两端相对设置一对电极；提供金属箔的衬底，将衬底放入反应器中，通入H2，升温至500-1000℃对衬底进行还原处理；通入含有碳源的气体和载气至反应器，电极两端施加电压，电极通过电容耦合等离子体放电方式电离碳源气体，放电时间1-30分钟；放电结束后反应器冷却至室温，获得石墨烯材料，材料生长温度较低，石墨烯形貌可控，均匀性较好，工艺简单，成本低廉，且产品性能稳定。
一种利用低温等离子体制备石墨方法

[发明专利]一种低维氧化锌纳米材料及其低温等离子体制备方法-CN201410320048.0有效
发明人： 程其进;陈文志;冯嘉;郑将辉;张凤燕;云大钦;吴洁阳 -专利权人：厦门大学
申请日： 2014-07-08 - 公布日： 2014-09-24 - 主分类号： C01G9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种低维氧化锌纳米材料及其低温等离子体制备方法。其制备方法包括如下步骤：(1)使用磁控溅射在硅片沉底上沉积一层锌薄膜。(2)将镀有锌薄膜的硅片放入低温等离子体增强水平管式炉沉积系统中，将其放在该系统后进行不同气体气氛比例条件下的等离子体放电处理，通过控制不同的处理温度以及放电电流可以得到不同形貌的氧化锌纳米材料。本发明制备方法制备出的氧化锌纳米材料，材料生长温度低，生长纳米材料质量好，工艺简单，成本低廉，且产品性能稳定，在光伏领域、气体探测器等应用领域有广阔前景。
一种氧化锌纳米材料及其低温等离子体制备方法

[发明专利]一种铜铟镓硫硒薄膜材料的制备方法-CN201410320202.4在审
发明人：张风燕;陈文志;陈伟;黄瑄;陈朝;程其进;云大钦;张彬彬;冯嘉 -专利权人：厦门大学
申请日： 2014-07-08 - 公布日： 2014-09-10 - 主分类号： H01L31/032 文献下载
摘要：本发明公开了一种铜铟镓硫硒薄膜材料的制备方法，包括如下步骤：(1)根据Cu_1～xIn_1～yGa_mSe_2～zS_n式中铜、铟、镓的化学计量比，将铜、铟、镓的卤族化合物或硝酸盐溶解于低碳醇中，配置成含铜铟镓的低碳醇溶液；(2)将乙基纤维素缓慢加入步骤(1)制备的铜铟镓的低碳醇溶液中搅拌混合均匀，再加入松油醇的低碳醇溶液，搅拌混合直至溶液变为粘稠液；(3)在非真空条件下将粘稠液刮涂到衬底上于130～160℃烘干10～30分钟，再加热氧化得到铜铟镓氧化物；(4)铜铟镓氧化物在氢氩混合气氛中加热氢化还原形成铜铟镓合金；(5)铜铟镓合金用硫粉硫化后再用硒粉硒化，即得所述铜铟镓硫硒薄膜材料。本发明的能耗少、工艺简单，产品成本低廉。
一种铜铟镓硫硒薄膜材料制备方法

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