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[发明专利]一种半导体材料电镀金工艺方法-CN202210401940.6在审
发明人：黄惠莺;薛正群 -专利权人： 福建中科光芯光电科技有限公司
申请日： 2022-04-18 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： C25D7/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种半导体材料电镀金工艺方法，包括以下步骤：前期处理：在晶圆上镀钛铂金作为电镀的导电层，晶圆边缘一圈去边带有金；表面处理：涂布光刻胶，利用光刻版曝光显影出需要电镀的图形，并且晶圆边缘一圈去边，形成一圈无金的边；然后进行坚膜，打胶；将晶圆浸泡入浸润槽的表面处理液中，使晶圆表面湿润；将晶圆浸泡入电镀槽的金液中，当炉内温度达到设定温度后，对晶圆进行电镀金处理；金液成分为：Au：8~15 g/L；Tl：26~35 mg/L；亚硫酸根离子：30~90 g/L；硫酸根离子：5~80 g/L；电镀金处理后，在清洗槽中对晶圆进行冲洗，然后取出晶圆，完成电镀金。该方法不仅镀膜厚度可达到2um，镀膜效果好，而且操作简单，节约成本。
一种半导体材料镀金工艺方法

[发明专利]一种利用光刻负胶制造半导体芯片的方法-CN202210646354.8在审
发明人：黄惠莺;薛正群 -专利权人： 福建中科光芯光电科技有限公司
申请日： 2022-06-09 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明提供了一种利用光刻负胶制造半导体芯片的方法，将ID/金属光刻改用E3502负胶条件可达到工艺优化（解决黑边残胶异常，彩虹异常）等目的，生产加工过程只匀一次胶，无需泛曝光，加工难度降低，undercut较大能满足高速激光器产品的需求，返工减少，提高生产效率，并且E3502负胶单价更低，节约购买成本。
一种利用光刻制造半导体芯片方法

[实用新型]阵列式大功率半导体激光放大器-CN202220657534.1有效
发明人：陈玉芳;肖鹏;郑立梅;宋智华 -专利权人： 福建中科光芯光电科技有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： H01S5/50 文献下载
摘要：本发明涉及一种阵列式大功率半导体激光放大器，包括放大器本体，所述放大器本体以增益介质组为中心，两侧由近及远分别设有非球面透镜、棱镜、双折射晶体，放大器本体左侧进光端设置有激光器，放大器本体右侧出光端设置有耦合器，所述激光器输出TE与TM基膜的待处理激光；增益介质组为两颗并联排列的增益介质；非球面透镜于每个增益介质两侧各设置一个，同侧的非球面透镜与棱镜之间设有偏振补偿片，棱镜对称设置在增益介质组两侧面；双折射晶体对称设置在增益介质组两侧面；采用增益介质并联形式，实现小信号输入，大功率输出，光放大的目的，提高了饱和输出功率，突破了单管半导体光放大器出光功率较小的缺点。
阵列大功率半导体激光放大器

[实用新型]一种同侧电极InGaAs背光监控探测器-CN202220666690.4有效
发明人：张江勇 -专利权人： 福建中科光芯光电科技有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种同侧电极InGaAs背光监控探测器，包括InP衬底，所述InP衬底上设有N型InP层，所述N型InP层上第一区域设有非故意掺杂本征I‑InGaAs层，第二区域设有N电极，所述I‑InGaAs层上设有InP窗口层，所述InP窗口层光敏区利用Zn扩散掺杂，形成Zn扩散区，其余部分为非故意掺杂U‑InP区域，所述Zn扩散区上中部设有抗反射层，所述抗反射层外周部设有Zn扩散掺杂的InGaAs接触层，所述Zn扩散区以外部分设有钝化层，所述钝化层上设有P电极。该探测器易于制造，成品率高，封装成本低。
一种电极 ingaas 背光监控探测器

[发明专利]一种INP片减薄抛光工艺方法-CN202210504658.0在审
发明人：黄惠莺;薛正群 -专利权人： 福建中科光芯光电科技有限公司
申请日： 2022-05-10 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种INP片减薄抛光工艺方法，包括以下步骤：（1）将带光刻胶的晶圆上蜡粘片，在减薄设备上减薄至120~125um；（2）将晶圆从减薄设备上取下，放到抛光设备上，让晶圆与抛光盘上的抛光垫接触；（3）抛光10~20min，将晶圆抛光至80‑100um；抛光过程中控制抛光液持续出液，抛光温度23~27℃，抛光压力180~300g/cm2；（4）对晶圆进行清洗、吹干后，融蜡下片；（5）进行N面一次金属镀膜；（6）退火，然后划裂解条。该方法有利于提高产品性能，得到高质量芯片。
一种 inp 片减薄抛光工艺方法

[发明专利]一种光学组件及光模块及工作方法-CN202110557239.9有效
发明人：秦思凯;洪肇凯;夏兴胜;敬良才 -专利权人： 福建中科光芯光电科技有限公司
申请日： 2021-05-21 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：本发明涉及一种光学组件，包括光学平台、置于光学平台内部的多个陶瓷插芯、多个陶瓷套筒、多个前盖、多个磁环和多个隔离器，光学平台一端具有多个按照一定的规则排列的通孔，每个通孔内部通过胶水将陶瓷插芯、陶瓷套筒、前盖、磁环和对应波长的隔离器粘接在一起，形成一个光接口，多个光接口组成光接口阵列。在光学平台内部集成多个光接口，可以有效缩减光发射通道之间的间距，从而大幅减小光发射组件的体积，缓解模块布局压力，实现在一块电路板上同时布局光发射组件和光接收组件；该光学组件由于集成度高，体积小，还可应用于8通道光模块中，为8通道的光模块提供了一种解决方案，并将波导型波分复用器的应用范围从4通道拓宽到8通道。
一种光学组件模块工作方法

[发明专利]一种同侧电极InGaAs背光监控探测器及其制作方法-CN202210302270.2在审
发明人：张江勇 -专利权人： 福建中科光芯光电科技有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本发明涉及一种同侧电极InGaAs背光监控探测器及其制作方法，该探测器包括InP衬底，所述InP衬底上设有N型InP层，所述N型InP层上第一区域设有非故意掺杂本征I‑InGaAs层，第二区域设有N电极，所述I‑InGaAs层上设有InP窗口层，所述InP窗口层光敏区利用Zn扩散掺杂，形成Zn扩散区，其余部分为非故意掺杂U‑InP区域，所述Zn扩散区上中部设有抗反射层，所述抗反射层外周部设有Zn扩散掺杂的InGaAs接触层，所述Zn扩散区以外部分设有钝化层，所述钝化层上设有P电极。该探测器易于制造，成品率高，封装成本低。
一种电极 ingaas 背光监控探测器及其制作方法

[实用新型]一种半导体晶圆片的电镀夹具-CN202123291364.4有效
发明人：黄惠莺;翁贻清;薛正群 -专利权人： 福建中科光芯光电科技有限公司
申请日： 2021-12-25 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： C25D7/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种半导体晶圆片的电镀夹具，包括底板，所述底板上表面开设有用以放置晶圆片的圆槽，所述圆槽内底部同轴固设有通电环，所述通电环内环表面沿其周部均布有凸齿，所述通电环上端同轴压设有定位环，所述晶圆片外周顶接在定位环内环表面环形限位并经上方盖设的压盖竖向限位，所述底板上设有与定位环导通的电极，该半导体晶圆片的电镀夹具结构简单，操作便捷高效。
一种半导体晶圆片电镀夹具

[实用新型]一种倾斜式平底花篮固定支架-CN202123357821.5有效
发明人：黄惠莺;李雄杰;薛正群 -专利权人： 福建中科光芯光电科技有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种倾斜式平底花篮固定支架，包括倾斜底座以及设置在倾斜底座上的斜面，所述斜面一侧设有半圆压盖，所述斜面另一侧上部设置有固定座，所述固定座内铰接有延伸至斜面侧下部的滑轮轴。本装置设计合理，结构简单，将平底花篮在培养皿中过洗后，通过半圆压盖限位平底花篮的半边，通过滑轮轴挡住平底花篮的另外半边，避免平底花篮掉出，然后直接用水龙头冲洗晶圆片，冲洗更加干净，从而达到保护基地材料，避免倾斜晶圆片因未冲洗干净导致腐蚀结果不均匀的问题。
一种倾斜平底花篮固定支架

[发明专利]低成本低功耗的波长可调激光器-CN202210214031.1在审
发明人：宋智华;肖鹏;郑立梅;陈玉芳 -专利权人： 福建中科光芯光电科技有限公司
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： H01S5/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种低成本低功耗的波长可调激光器，包括由左至右依次设置的反射镜、光学标准具、相位控制器、非球透镜A、激光器芯片、非球透镜B、光隔离器、汇聚透镜、光纤；激光器芯片为SLD芯片，激光器芯片左右端面分别镀有增透光学膜和部分反射光学膜，远离反射镜的端面的部分反射光学膜和反射镜构成激光器的谐振腔；非球透镜A、非球透镜B用于将发散角较大的光束整形为发散角较小的平行光；光学标准具用于波长选择，间隔放置的两片光学平行平片，光学平行平片与激光器的光轴垂直或成一定角度，两片光学平行平片厚度不同，光学平行平片左右两侧面均镀高反光学膜；光学平行平片的表面光刻有含电极的电阻。
低成本功耗波长可调激光器

[实用新型]一种基于TFF波分的新型光发射、接收装置-CN202122806272.9有效
发明人：闫明雪;康清主;陈诚;夏兴胜 -专利权人： 福建中科光芯光电科技有限公司
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种基于TFF波分的新型光发射、接收装置，包括光发射装置和光接收装置，光发射装置包括光发射单元、准直透镜、滤光单元、隔离器、聚焦透镜及光适配器，四个LD芯片发出不同波长的光束，四个光束分别在四个滤光片反射或透射，最后从边缘处的滤光片射出汇合后的一路光信号，之后经过隔离器和聚焦透镜后从光适配器输出；光接收装置包括光适配器、准直透镜、滤光单元、聚焦透镜及光接收单元，一路光信号从光适配器射入，光信号经过准直透镜后入射到其中一个位于边缘处的滤光片，经过四个滤光片的透射或反射后形成四个波长不同的光束，四个光束由四个PD芯片接收。本实用新型采用4个独立的滤光片实现波分，尺寸小、成本低，降低光路风险。
一种基于 tff 新型发射接收装置

[实用新型]应用于25G同轴光器件激光焊接工装-CN202122595474.3有效
发明人：赵永成;陈斌;黄敏华;陈正刚;黄劲威;周书刚 -专利权人： 福建中科光芯光电科技有限公司
申请日： 2021-10-27 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： B23K26/21 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种应用于25G同轴光器件激光焊接工装，其特征在于：包括可拆连接在激光焊接机焊枪固定平台上的底座块和连接在底座块上的旋转电机固定块，所述旋转电机固定块上固定设有旋转电机，所述旋转电机的输出轴上连接有放置块，所述放置块上表面具有用于盛放25G同轴光器件的沉槽。本实用新型应用于25G同轴光器件激光焊接工装实现了25G同轴光器件上不同工位位置的焊接，焊接位置准确、效率高，大大减轻了操作人员的工作量。
应用于 25 同轴器件激光焊接工装

[实用新型]一种光器件手动耦合固化装置的紫外固化机构-CN202122264898.1有效
发明人：翟因敏;周书刚;陈正刚;李勇;黄劲威 -专利权人： 福建中科光芯光电科技有限公司
申请日： 2021-09-18 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： B05D3/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种光器件手动耦合固化装置的紫外固化机构，包括底板，所述底板上安装有光器件夹紧装置，光器件夹紧装置上方设有紫外固化装置；紫外固化装置包括位于光器件夹紧装置后方的龙门架，龙门架左端上部前侧连接有向前延伸出的连接轴A，连接轴前端部套设有能相对其转动的连接座A，连接座A上安装有能相对其左右移动的安装座，安装座右侧安装有前后对称的一对紫外照射灯，两紫外照射灯下端对准光器件夹紧装置上的光器件放置位。该紫外固化机构设计合理，使用方便，无需人工进行补光，操作便利；采用前后对称的两个紫外照射灯对UV固化胶进行对称位置照射，从而让固化时的应力产生平衡，大大降低胶水固化的应力对透镜位置的影响。
一种器件手动耦合固化装置紫外机构

[实用新型]一种光器件手动耦合固化装置的夹持调节机构-CN202122264900.5有效
发明人：翟因敏;周书刚;陈正刚;李勇;黄劲威 -专利权人： 福建中科光芯光电科技有限公司
申请日： 2021-09-18 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种光器件手动耦合固化装置的夹持调节机构，包括底板，底板上安装有光器件夹紧装置，光器件夹紧装置的左边设有可多自由度调节的夹持调节装置；夹持调节装置包括六轴微调平台，六轴微调平台上安装有一调节座，调节座上连接有一对向右伸出的透镜夹臂，两透镜夹臂外侧设有一对滚轮，透镜夹臂上设有与滚轮位置对应并向内的凹槽，透镜夹臂上方设有控制滚轮左右移动实现透镜夹臂右端松开夹紧的控制机构。本实用新型夹持调节机构设计合理，使用方便，通过六轴微调平台可实现透镜多自由度调节，操作便利，以满足光器件开发阶段手动透镜耦合工艺的要求，降低手动耦合难度，降低对操作者技巧和耐性的要求，减少误操作，提高良品率。
一种器件手动耦合固化装置夹持调节机构

[实用新型]单片多波长高速DFB激光光源外延层结构和芯片-CN202121815571.2有效
发明人：薛正群 -专利权人： 福建中科光芯光电科技有限公司
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： H01S5/12 文献下载
摘要：本实用新型提出一种宽温度工作单片多波长高速DFB激光光源外延层结构和芯片，其特征在于：在下波导层和上波导层之间设置有应变补偿多量子阱；所述应变补偿多量子阱包括：下部的经第一高温处理的压应变AlGaInAs量子阱、中部的经第二高温处理的压应变AlGaInAs量子阱、以及上部的不经高温处理的压应变AlGaInAs量子阱。其可实现超过工业级温度范围单模工作，并实现在单片上的多波长DFB阵列激光光源，同时可实现不同DFB波长的精确调控，产品可应用在5G无线网、数据中兴等应用领域，提高应用端的集成度并降低应用成本。
单片波长高速 dfb 激光光源外延结构芯片