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[发明专利]一种网格型声学传感结构的制造工艺及声波检测方法-CN201910162534.7有效
发明人：陈小明;李颖杰;邵金友;田洪淼;李祥明;王春慧 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-03-05 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：一种网格型声学传感结构的制造工艺及声波检测方法，制造工艺是在基底上制备一个网格凹槽的光刻胶模具，在光刻胶模具上刮涂碳纳米管及聚乙烯醇，加热定型制备出凹槽内有网格型结构的光刻胶模具；再将光刻胶模具置于可溶解光刻胶的溶液中，牺牲光刻胶模具获得无基底的网格型结构，在网格型结构上镀金，获得网格型传感结构；网格型传感结构的声波检测方法是先营造磁场环境，将网格型传感结构置于磁场环境中，磁场环境的磁感线方向与网格型传感结构网格方形的一条边接近平行，沿着不平行磁感线方向的网格型传感结构网格方形的另一条边引出导线形成闭合回路，获得感应电流信号；本发明制造工艺简单，能检测空气介质微弱声波传递。
一种网格声学传感结构制造工艺声波检测方法

[发明专利]一种梁膜式压电阵列打印头的转印制造方法-CN201910938642.9有效
发明人：邵金友;杨正杰;王小培;王春慧;田洪淼;平鹏祥;严超 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-09-30 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： B41J2/16 文献下载
摘要：一种梁膜式压电阵列打印头的转印制造方法，首先制备出梁膜式压电阵列打印头液体通道板，同时单独制备出梁膜式压电阵列打印头压电驱动板，然后通过转印的方式将梁膜式压电阵列打印头压电驱动板上的压电驱动结构与梁膜式压电阵列打印头液体通道板结合，形成完整的梁膜式压电阵列打印头；本发明实现广泛结构适用性的梁膜式压电阵列打印头的制造，工艺兼容性强，成本低。
一种梁膜式压电阵列打印头印制方法

[发明专利]一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法-CN201910571305.0有效
发明人：李祥明;邵金友;李聪明;武莉峰;王春慧;田洪淼;陈小亮 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： H01G11/84 文献下载
摘要：一种大深宽比、高负载微型超级电容的制造方法，先将卷装的柔性透气性薄膜铺展在张紧辊、挤压辊之间作为柔性衬底，将活性物质浆料涂覆在柔性透气性薄膜上，底部通过加热形成多孔电极薄膜；溶胶电解质涂覆在多孔电极膜上，多孔电极薄膜进入逆向蒸发区，同时用红外热源进行非接触式加热，迫使溶胶电解质中溶剂向下蒸发，凝胶电解质自下而上逆向形成，填满电极内部微孔隙，形成具有良好机械性能的柔性电极薄膜；将柔性电极薄膜置于激光器的焦平面，经程序控制快速加工精细的微型3D电极；随后将溶胶电解质经供料刮刀涂覆在微型3D电极间隙中，待溶剂挥发，即完成微型超级电容的制造；本发明能够制备大深宽比、高负载微型超级电容。
一种大深宽负载微型超级电容制造方法

[发明专利]一种基于电辅助液桥的二维材料转移方法-CN201910857381.8有效
发明人：陈小明;李浩;邵金友;李祥明;田洪淼;陈小亮;王春慧 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-09-11 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： C01B32/194 文献下载
摘要：一种基于电辅助液桥的二维材料转移方法，先制作由原始基底和二维材料组成的待转移样品，将待转移样品置于下电极上，在上电极下方贴合柔性支撑；在二维材料和原始基底的表面形成第一液体薄膜，控制上电极运动，使柔性支撑与二维材料和原始基底的上表面贴合，形成液桥；在上、下电极之间施加外部电场，使柔性支撑和原始基底上表面分离，二维材料转移到柔性支撑上；然后将原始基底取下，将目标基底置于下电极上，在目标基底上形成第二液体薄膜，使附着有二维材料的柔性支撑与目标基底紧密贴合，形成液桥；最后在上、下电极之间施加外部电场，使柔性支撑和目标基底分离，二维材料转移到目标基底上；本发明实现二维材料的高质量、高效率转移。
一种基于辅助二维材料转移方法

[发明专利]一种力/热集成感知的曲面电路的制造方法-CN201910571798.8有效
发明人：李祥明;邵金友;刘桂芳;田洪淼;王春慧;陈小亮 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： H01L41/047 文献下载
摘要：一种力/热集成感知的曲面电路的制造方法，先在插指结构的柔性模具中填充预功能材料金属铂墨水，固化，然后在柔性模具中填充转印胶，进行预处理，在柔性模具中继续填充转印胶，对整体结构固化，将整体结构贴于曲面结构，使二次填充的转印胶在完全固化的同时将预功能材料结构完全粘接于曲面结构上，揭去柔性模具，得到转印胶‑功能材料的双层结构；在栅线结构的柔性软模具中填充压电材料；在转印胶‑功能材料的双层结构表面滴加无水乙醇，将栅线结构贴于其上，迅速加热，将压电材料从柔性软模具中脱离出来，垂直搭接在铂插指电极上；最后封装得到力/热集成感知的曲面电路；曲面电路实现温度和力多种功能传感，且加工尺寸小，制造方法简单可靠。
一种集成感知曲面电路制造方法

[发明专利]倾斜结构增强的双电层电容式柔性压力传感器及制造方法-CN201910937693.X有效
发明人：邵金友;陈小亮;罗永松;田洪淼;李祥明;王春慧 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-09-30 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：一种倾斜结构增强的双电层电容式柔性压力传感器及制造方法，传感器包括倾斜微结构电极以及由聚合物与离子液体两相复合而成的电解质层，制造方法是先制备倾斜凹槽压印模具，再使用纳米压印和溅射沉积的方法制备倾斜微结构电极，然后进行工作对电极与固态电解质的制备，再进行倾斜微结构电极与固态电解质及工作对电极的组装；传感器在接入电容测试系统后，电解质层中离子和外电路中电子在电压作用下会聚集在倾斜微结构电极与电解质层接触界面处，形成被测双电层电容，电容值与电解质层和倾斜微结构电极的界面面积成正相关，当传感器受力后接触面积增加从而导致电容值增大；本发明传感器具有很大的测量范围并且在大压力范围内都具有极高的灵敏度。
倾斜结构增强双电层电容柔性压力传感器制造方法

[发明专利]一种微立体光刻制备柔性摩擦-压电复合式俘能器的方法-CN201910619711.X有效
发明人：陈小明;叶世博;邵金友;李祥明;田洪淼;陈小亮;王春慧 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-07-10 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： H02N1/04 文献下载
摘要：一种微立体光刻制备柔性摩擦‑压电复合式俘能器的方法，先进性压电材料的分散，然后进行压电光敏树脂的配制，再进行微结构波浪形压电俘能器的制备，将压电光敏树脂通过紫外光照射，利用微立体固化工艺制备成微结构波浪形压电薄膜，在微结构波浪形压电薄膜上下两侧粘连带有上、下金属电极的上、下柔性基底，上、下金属电极连接电源，并于烘箱中进行热极化，将烘箱冷却至室温后撤去电压，得到微结构波浪形压电俘能器；最后进行柔性摩擦‑压电复合俘能器的制备，将微结构波浪形压电俘能器放置在粘有摩擦材料的导电基底上构成柔性摩擦‑压电复合俘能器；本发明工艺简单、低成本、极大提高俘能器的输出性能。
一种立体光刻制备柔性摩擦压电复合式俘能器方法

[发明专利]基于形状记忆合金聚合物驱动柔性光子晶体变色的方法-CN201910453572.8有效
发明人：李博;赵鹏飞;陈花玲;田洪淼 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-05-28 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： G02B26/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于形状记忆合金聚合物驱动柔性光子晶体变色的方法，以形状记忆合金为基体材料，以刚性结构件和硅橡胶为复合材料制备驱动器，然后制备柔性光子晶体并放置在驱动器上，对驱动器通直流电发生变形对柔性光子晶体产生单轴拉伸发生变色。本发明将形状记忆合金聚合物用于驱动柔性光子晶体变色，解决电致变色结构柔性不足和电压过高的难题，适用于对形状适应性和使用安全性有较高要求的变色场合，从而在柔性显示、防伪处理、人类辅助、智能城市等领域有着重要的应用潜力。
基于形状记忆合金聚合物驱动柔性光子晶体变色方法

[发明专利]一种直立石墨烯的卷对卷制造方法-CN201910270471.7有效
发明人：李祥明;邵金友;李聪明;王春慧;田洪淼;陈小亮 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-04-04 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： H01G11/86 文献下载
摘要：一种直立石墨烯的卷对卷制造方法，利用辊压印技术连续制备大深宽比微结构，利用微结构调制石墨烯流动定向组装行为，实现石墨烯片层由水平层状堆叠变为直立定向组装，实现了直立石墨烯的卷对卷大规模制备；本发明可用于三明治结构超级电容器，使电场方向与片层取向平行，形成快速离子通道，解决了石墨烯超级电容器大膜厚高负载与离子传输距离之间的制约关系，同时突破叉指结构微型超级电容器对负载能力的限制；适用于芯片散热器，引导热量沿导热率高的方向定向传导，实现了有限空间内高效散热，对于CPU等集成芯片制造有着重要意义。
一种直立石墨制造方法

[发明专利]一种一维纳米材料界面结合能的测量方法-CN201910162527.7有效
发明人：陈小明;李浩;邵金友;丁鹏;叶世博;田洪淼 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-03-05 - 公布日： 2020-05-22 - 主分类号： G01Q60/24 文献下载
摘要：一种一维纳米材料界面结合能的测量方法，先制作周期的沟槽微结构，使用匀胶机将一维管状纳米材料分散液均匀地旋涂在沟槽微结构上，在扫描电子显微镜下寻找第一、第二测试样品，第一测试样品是单根一维纳米材料垂直横跨沟槽微结构的沟槽两端，第二测试样品是结构完整的单根一维纳米材料；将第一测试样品两端通过电子束沉积铂原子或碳原子固定在沟槽微结构上；移动原子力显微镜探针和第二测试样品的一端固定；移动原子力显微镜探针，使第二、第一测试样品贴合；驱动原子力显微镜探针带动第二测试样品从两个测试样品的界面结合处剥离，实时记录原子力显微镜力传感器数据，求解纳米材料界面结合能，本发明获得的数据真实可靠。
一种纳米材料界面结合能测量方法

[发明专利]一种基于壁虎仿生结构辅助的真空吸附结构及制作方法-CN201811528083.6有效
发明人：邵金友;田洪淼;李祥明;刘浩然;李率;田亚洲 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2018-12-13 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：一种基于壁虎仿生结构辅助的真空吸附结构及制作方法，结构包括底层的支撑平板，支撑平板通过粘附材料和顶层的壁虎仿生蘑菇状阵列结构粘结，支撑平板上设有通孔，除去通孔顶层对应的壁虎仿生蘑菇状阵列结构及粘附材料，通孔内放置有真空吸嘴，真空吸嘴和负压供给装置连接；制作方法是首先制造顶层的壁虎仿生蘑菇状阵列结构，再进行底层支撑平板通孔的制作，最后进行真空吸附装置的真空吸嘴嵌入成型；本发明的真空吸附机构可实现小真空度下的有效粘附。
一种基于壁虎仿生结构辅助真空吸附制作方法

[发明专利]一种负压辅助的仿生干粘附拾取结构及制备工艺-CN201811524840.2有效
发明人： 田洪淼;邵金友;李祥明;李率;刘浩然;张维天 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2018-12-13 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：一种负压辅助的仿生干粘附拾取结构及制备工艺，结构整体上是一个吸盘状的弹性体，弹性体表面粘接了一层仿壁虎蘑菇状干粘附弹性体结构，制备工艺是先进行吸盘状的弹性体的制备，再进行仿壁虎蘑菇状干粘附弹性体结构的制备，最后复合结构的制备，本发明实现对各类尺度任意材料粗糙表面的粘附拾取，能够适用机械抓取、产线输运的广泛需求。
一种辅助仿生粘附拾取结构制备工艺

[发明专利]一种基于液晶弹性聚合物的电致动尺蠖仿生结构及制造工艺-CN201811528079.X有效
发明人： 田洪淼;邵金友;李祥明;刘浩然;李率;张维天;田亚洲 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2018-12-13 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： H02N2/02 文献下载
摘要：一种基于液晶弹性聚合物的仿生尺蠖结构及制造工艺，顶层为具有一定厚度的硅胶膜，下方为通过粘附材料与顶层硅胶膜粘结为一体的斜柱状阵列结构以及液晶弹性聚合物，制造工艺是先进行倾斜柱状阵列结构的制备，然后进行顶层硅胶模的制备，再把斜柱状阵列结构及液晶弹性聚合物和硅胶膜粘结在一起形成复合结构，最后进行液晶弹性聚合物电致动特性的激活，制造出隆起状态的液晶弹性聚合物与顶层硅胶膜及斜柱状阵列结构复合的功能结构，基于液晶弹性聚合物的干仿生尺蠖结构能够在小电压驱动的前提下，实现驱动可控和大变形的有机统一。
一种基于液晶弹性聚合物电致动尺蠖仿生结构制造工艺

[发明专利]一种基于可溶性模具制备微结构化压电俘能器的方法-CN201910509103.3有效
发明人：陈小明;叶世博;邵金友;丁鹏;李浩;田洪淼 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2019-06-13 - 公布日： 2020-03-24 - 主分类号： H02N2/00 文献下载
摘要：一种基于可溶性模具制备微结构化压电俘能器的方法，先制备可溶性树脂模具，然后配制复合压电材料，再将复合压电材料倒入可溶性树脂模具，固化后溶解可溶性树脂模具，得到微结构化复合压电薄膜，在微结构化复合压电薄膜上下两侧对称黏附柔性衬底/金属/复合压电材料形成的电极，加热固化，形成压电俘能器，再将其放入烘箱中，施加直流电源，把烘箱温度升高进行压电薄膜热极化，保持施加电压使其内部分子沿电场方向取向，然后再保持电压不变的情况下，将烘箱冷却至室温后撤去电压，得到微结构化压电俘能器；本发明工艺简单、低成本、高效率，并且极大提高压电俘能器的输出性能。
一种基于可溶性模具制备微结构压电俘能器方法

[发明专利]一种柔性力热集成传感器-CN201811608998.8有效
发明人：李祥明;邵金友;刘桂芳;田洪淼;王春慧;陈小亮 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2018-12-27 - 公布日： 2020-01-14 - 主分类号： G01L1/16 文献下载
摘要：一种柔性力热集成传感器，其制作方法是先在柔性衬底上制作叉指电极结构的铂电极，然后制备具有栅线结构的软模具凹模；再制作压电功能材料，将压电功能材料滴在软模具凹模上，进行刮涂填充，形成栅线内充分填充且栅线外不留膜的结构；再在具有铂电极的柔性衬底上滴加无水乙醇，将刮涂了压电功能材料的软模具凹模按压在铂电极，快速置于烘台上加热，使压电功能材料从软模具凹模中脱离出来粘接于铂电极上；揭去软模具凹模，形成铂电极‑压电功能材料的叠层结构；将封装胶滴加在铂电极‑压电功能材料的叠层结构上，自然流平将叠层结构区全部覆盖，极化后得到柔性力热集成传感器结构，能够测量温度和力，具有灵敏度高、成本低、重量轻的优点。
功能材料铂电极软模具凹模压电叠层结构热集成柔性力传感器衬底滴加刮涂栅线填充制作按压传感器结构叉指电极无水乙醇栅线结构自然流平灵敏度极化封装胶重量轻粘接加热制备测量脱离覆盖