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[发明专利]一种用于晶圆读码器动态获取方法和系统-CN202311008175.2有效
发明人：林坚;王彭;吴国明;王栋梁 -专利权人：泓浒（苏州）半导体科技有限公司
申请日： 2023-08-11 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： G06V30/148 文献下载
摘要：本发明涉及图像数据识别技术领域，尤其涉及一种用于晶圆读码器动态获取方法和系统，该方法的步骤包括：获取晶圆读码器图像并处理；构建信息识别网络以获取晶圆读码器的文字信息；将所述文字信息在信息识别网络上进行训练并调优，得到训练后的文字信息训练集；采用所述文字信息训练集预测出每个晶圆读码器上的文字的结果，得到整个晶圆上的文字信息识别结果图。本发明通过构建图像处理模块和文字信息检测识别模块自动分割和识别出晶圆编码器中的图片和文字，能够有效地提高工作人员的效率，减少工作人员的负荷及可能出现的延时、误差。
一种用于晶圆读码器动态获取方法系统

[发明专利]一种半导体晶圆用夹持传送装置-CN202211374149.7有效
发明人：林坚;王彭 -专利权人：泓浒（苏州）半导体科技有限公司
申请日： 2022-11-03 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及半导体晶圆传送技术领域，且公开了一种半导体晶圆用夹持传送装置，包括外壳，所述外壳的内壁滑动连接有多个夹板，两两所述夹板之间固定连接有内气囊，所述外壳的内壁转动连接有螺杆，所述螺杆的表面设置有两个滑块，两个所述滑块与夹板之间转动连接有多个旋转杆，所述上方滑块和下方滑块分别与螺杆螺纹连接和转动连接，所述旋转杆中间处插入夹板中的连杆与旋转杆的内壁通过弹簧滑动连接且具有磁性，本发明通过外壳、夹板、内气囊、螺杆、滑块、旋转杆之间的配合运作，夹板之间的内气囊可以防止夹板夹持力度过大进而导致半导体晶圆芯片损坏，同时内气囊为橡胶材质，提升与半导体晶圆的摩擦力增加牢固性。
一种半导体晶圆用夹持传送装置

[发明专利]半导体激光器模组远场图像检测方法及装置-CN202310837425.7在审
发明人：杨长春;张力维;孟天霜;王彭 -专利权人：常州大学
申请日： 2023-07-10 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请涉及半导体激光器测试技术领域，公开了一种半导体激光器模组远场图像检测方法及装置。所述方法利用相机拍摄半导体激光器模组发出的光束在透视膜上的成像，获得灰度图像；对所述灰度图像进行矫正、裁剪处理，获得目标图像；确定所述目标图像中每个像素的像素信息，并根据所述像素信息确定所述目标图像的质心位置；根据所述质心位置和所述目标图像的大小，确定目标切线；然后，计算所述目标图像上每个宫格内的均匀度，以及计算每条目标切线上的均一度。本申请实施例中可以每个宫格内的均匀度和每条切线的均一度确定所述半导体激光器模组发出的光束的质量，以确定判断半导体激光器模组的性能。
半导体激光器模组图像检测方法装置

[发明专利]一种多极断路器-CN202210354208.8在审
发明人：李罗斌;王彭;司莺歌;刘瑾 -专利权人：浙江正泰电器股份有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01H71/08 文献下载
摘要：一种多极断路器，包括外壳、至少两个断路器极和辅助脱扣极，每个断路器极包括断路器极本体和与断路器极本体电连接的接线端子，辅助脱扣极包括脱扣极本体和接线端，与N极的断路器极本体电连接的接线端子为N极接线端子，与L极的断路器极本体电连接的接线端子为L极接线端子；所有L极接线端子、N极接线端子、辅助脱扣极的接线端依次并排设置形成断路器接线部分，N极的断路器极本体和至少一个L极的断路器极本体分别和与各自电连接的接线端子错位设置。本发明通过断路器极的断路器极本体和与断路器极本体电连接的接线端子错位布置，使连接于N极的断路器极本体的接线端子与连接于脱扣极本体的接线端相邻，符合现有用户的接线习惯，利于操作。
一种多极断路器

[发明专利]一种晶圆传送控制方法及系统-CN202311041747.7有效
发明人：林坚;王彭;董渠;银春 -专利权人：泓浒（苏州）半导体科技有限公司
申请日： 2023-08-18 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及半导体领域，本发明公开了一种晶圆传送控制方法及系统，包括确定T时段内标记为高负荷的半导体加工设备，以及筛选出T时段内与高负荷的半导体加工设备具备相同职能且标记为低负荷的最优选半导体加工设备；基于低负荷的最优选半导体加工设备和高负荷的半导体加工设备确定最佳转运轨道路线；获取T+n时段内天车轨道中每个搬运天车的运行状态，筛选出W个空闲状态的搬运天车，对每个空闲状态的搬运天车进行分析，以确定转运天车；基于最佳转运轨道路线控制转运天车，将高负荷的半导体加工设备的半导体加工任务传送至低负荷的最优选半导体加工设备。
一种传送控制方法系统

[外观设计]晶圆送料出料综合控制设备（1）-CN202330359697.1有效
发明人：林坚;王彭;董蕖;银春 -专利权人：泓浒(苏州)半导体科技有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： 10-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：晶圆送料出料综合控制设备（1）。2.本外观设计产品的用途：用于晶圆盒的开启与关闭。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
晶圆送料出料综合控制设备

[发明专利]一种基于图像处理的晶圆编码识别系统-CN202311034908.X有效
发明人：林坚;王彭;吴国明;王栋梁 -专利权人：泓浒（苏州）半导体科技有限公司
申请日： 2023-08-17 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G06V30/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于图像处理的晶圆编码识别系统，其框架包括设备层、数据库层和控制层，所述设备层包括输入设备和输出设备，所述输入设备包括摄像机，所述输出设备包括显示装置、报警装置，所述数据库层用于存储系统工作过程中采集的数据，所述控制层包括CPU、多模式亮度调节模块、自动图像增强过滤模块、通讯模块、光学字符识别模块和预警模块，所述光学字符识别模块用于识别晶圆编码，所述预警模块用于当检测出不规范的晶圆编码时，通过所述输出设备中的报警装置进行预警。本发明能够以较高的准确率与速度识别晶圆编码，同时具有较高的鲁棒性。
一种基于图像处理编码识别系统

[发明专利]一种半导体晶圆传送过程偏心纠正方法及纠正系统-CN202311136432.0在审
发明人：林坚;王彭;董渠;银春 -专利权人：泓浒（苏州）半导体科技有限公司
申请日： 2023-09-05 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B25J9/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体晶圆传送过程偏心纠正方法及纠正系统，涉及晶圆传送偏心纠正技术领域，通过收集负压训练数据以及偏心训练数据，训练出预测晶圆负压值的第一机器学习模型以及预测偏心速度的第二机器学习模型，收集实时传送数据，并在监测到晶圆发生偏心时，基于晶圆偏心速度、实时传送数据、第一机器学习模型和第二机器学习模型，获得吸附力纠偏值和速度纠偏值；控制生产晶圆传送机械臂上吸盘的吸附力增大吸附力纠偏值，并控制机械臂移动速度降低速度纠偏值；达到及时发现晶圆偏心并进行在安全范围内的处理，保证晶圆的安全性的效果。
一种半导体传送过程偏心纠正方法系统

[发明专利]一种晶圆安全传输控制方法及系统-CN202311019717.6有效
发明人：林坚;王彭;吴国明;王栋梁 -专利权人：泓浒（苏州）半导体科技有限公司
申请日： 2023-08-14 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种晶圆安全传输控制方法及系统，方法包括：对晶圆传输过程中转动关节的位姿角度，移动关节的加速度进行实时提取并追踪，从而得到晶圆与末端执行器之间的实时摩擦力；通过分析晶圆与末端执行器之间的实时摩擦力，评估晶圆的滑移风险；将滑移风险的分析结果生成为反馈参数并反馈给运动控制模块，运动控制模块根据反馈参数发送运动控制命令来运行驱动机构；根据运动控制命令，及时调整转动关节的位姿角度以及移动关节的加速度使晶圆恢复运输稳定状态。克服了因发生滑移而脱落的安全问题，有效地降低晶圆传输过程中的滑落风险，实现安全传输。
一种安全传输控制方法系统

[实用新型]配电自动化主站监测装置-CN202320915550.0有效
发明人：戴洁;王彭;丁万骏;王兵 -专利权人：南京简岱自动化科技有限公司
申请日： 2023-04-21 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H02J13/00 文献下载
摘要：本实用新型提供配电自动化主站监测装置，应用于低压馈线柜上实现对低压馈线柜的实时监测，包括：电流采集装置、开关采集装置，还包括：主控模块，电流采集装置与开关采集装置连接到主控模块上，主控模块通过电源模块进行供电，同时主控模块上设有通信模块以及存储模块，电流采集装置、开关采集装置将信号发送到主控模块上，主控模块进行号处理后通过通信模块发送到子站并由子站统一上传到配电自动化主站。本实用新型设置主控模块，将电流采集装置、开关采集装置同时连接到主控模块上，通过主控模块对数据进行处理后上传到子站，各个子站将数据进行汇总后发送到主站终端上，减轻主站通信的负荷，方便进行监控管理操作。
配电自动化监测装置

[外观设计]真空机械臂-CN202330282761.0有效
发明人：林坚;王彭 -专利权人：泓浒(苏州)半导体科技有限公司
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：真空机械臂。2.本外观设计产品的用途：用于移动、转运半导体工件。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
真空机械

[发明专利]用于半导体工件的自动化搬运系统、方法、设备与介质-CN202311129999.5在审
发明人：林坚;王彭;吴国明;王栋梁 -专利权人：泓浒（苏州）半导体科技有限公司
申请日： 2023-09-04 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明公开了用于半导体工件的自动化搬运系统、方法、设备与介质，具体涉及自动化搬运技术领域，包括历史数据收集模块，用于采集机械手的历史搬运阶段中气泵的吸力值，将采集的吸力值建立吸力值时间序列集合，吸力值时间序列集合含有搬运阶段中与r个转折时间点对应的吸力值；模型训练模块，采用滑动窗口的方式将吸力值时间序列集合内的吸力值转化为数据集，以训练预测未来J时刻吸力值的机器学习模型；设定模块，对r个转折时间点一一对应设置吸力误差阈值#imgabs0#，#imgabs1#为第r个转折时间点对应的吸力误差阈值；本发明在搬运过程中提前预测吸力过大或过小的情况，提前处理，保障机械手吸盘吸力的稳定性，减少晶圆损坏和掉落的概率。
用于半导体工件自动化搬运系统方法设备介质

[发明专利]一种晶圆传送过程中定位及校准的方法及装置-CN202311127099.7在审
发明人：洪国华;林坚;王彭 -专利权人：泓浒（苏州）半导体科技有限公司
申请日： 2023-09-04 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种晶圆传送过程中定位及校准的方法及装置，本发明通过实时采集晶圆在传送过程中的晶圆图像，实现对晶圆的θ偏移角度计算、晶圆的水平偏移量计算，磁悬浮平台可以根据偏移角度计算、水平偏移量计算和摄像头提供的信息，调整磁场的强度和磁场方向，以使晶圆在传送过程中达到预定的位置和姿态，通过结合磁悬浮平台的应用，实现了高精度的晶圆定位和校准，通过自适应地调整定位和校准参数，以适应不同的晶圆尺寸和工艺需求，该方法在半导体制造等领域中提高晶圆传送的精确性和效率，从而改善生产过程中的质量和产能。
一种传送过程定位校准方法装置

[发明专利]一种扭矩测试装置及方法-CN202310578002.8在审
发明人：杨长春;张力维;王彭;孟天霜 -专利权人：常州大学
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G01L3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种扭矩测试装置及方法。扭矩测试装置包括：触控显示屏，用于显示用户操作界面及发送控制指令；至少一个扭矩传感器，用于测量待测电机扭矩；变送器，与扭矩传感器电连接，用于将扭矩传感器的测试信号转换为直流电信号；测试芯片，与触控显示屏及扭矩传感器电连接，包括：信号采集电路，与扭矩传感器电连接，用于获取扭矩传感器的测试信号；模数转换电路，与信号采集电路电连接，用于将变送器输出的直流电信号转化为数字信号；控制电路，与模数转换电路电连接，用于接收触控显示屏发送的控制指令，并控制模数转换电路进行信号转换；安装槽，触控显示屏及测试芯片设置在安装槽中。本发明的装置降低了测试的成本，且提高了测试灵活性。
一种扭矩测试装置方法

[发明专利]一种真空环境下晶圆传送机械臂异常监测方法及系统-CN202311102332.6在审
发明人：林坚;王彭;吴国明;王栋梁 -专利权人：泓浒（苏州）半导体科技有限公司
申请日： 2023-08-30 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空环境下晶圆传送机械臂异常监测方法及系统，涉及真空晶圆传送技术领域，收集异常类型表，并基于异常类型表，在非真空测试环境收集振动异常训练数据，基于振动异常训练数据，训练出识别异常类型的机器学习模型，并为每个异常类型训练出判断异常级别的贝叶斯网络模型，在真空生产环境中，收集振动生产数据；基于振动生产数据，使用机器学习模型输出判断的异常类型，基于振动生产数据，使用判断的异常类型对应的贝叶斯网络模型输出判断的异常级别；解决了真空中无法传播声音，导致监测人员无法根据声音判断晶圆传送过程是否发生异常的问题。
一种真空环境下晶圆传送机械异常监测方法系统

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