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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]运动装置及测量设备-CN202111604555.3在审
发明人：张昊;樊树宝;白龙 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本发明提供一种运动装置及测量设备，涉及集成电路技术领域。该运动装置包括基座、X向运动机构、Y向运动机构和Z向运动机构，其中，X向运动机构包括X向滑动座和X向压电陶瓷电机，X向压电陶瓷电机连接于基座与X向滑动座之间；Y向运动机构包括Y向滑动座和Y向压电陶瓷电机，Y向压电陶瓷电机连接于X向滑动座与Y向滑动座之间；Z向运动机构包括Z向滑动座和Z向压电陶瓷电机，Z向压电陶瓷电机连接于Y向滑动座与Z向滑动座之间。该测量设备包括测量组件和上述运动装置，测量组件安装于运动装置的Z向滑动座。该运动装置的运动精度高、抗磁干扰强且对测量组件的位置保持性较好。
运动装置测量设备

[发明专利]晶圆对准方法及对准装置-CN202211485561.6在审
发明人： 樊树宝;张昊;王莎;黄培翔 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明属于芯片制造技术领域，尤其涉及一种晶圆对准方法及对准装置。本发明的晶圆对准方法，包括以下步骤：步骤1：分别在上晶圆的背面和下晶圆的背面设置对准标记；步骤2：使上晶圆的背面朝向上方，下晶圆的背面朝向下方，然后将上晶圆和下晶圆移动至对准工位，直至上晶圆的对准标记和下晶圆的对准标记均处于视觉识别系统的视场范围内；步骤3：通过视觉识别系统的上物镜识别上晶圆的对准标记，同时通过视觉识别系统的下物镜识别下晶圆的对准标记，以获取上晶圆的对准标记与下晶圆的对准标记之间的位置偏差；步骤4：基于位置偏差执行上晶圆与下晶圆之间的精动对准操作。本发明能够消除下晶圆移出再移入环节带来的对准误差，提高对准精度。
对准方法装置

[实用新型]晶圆键合装置-CN202222763013.7有效
发明人： 樊树宝;张昊;王莎 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2022-10-20 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：本实用新型涉及芯片制造技术领域，特别是涉及一种晶圆键合装置。本实用新型的目的是提供一种能够使上晶圆自内而外地均匀变形，减少键合空洞的产生，降低对对准精度的影响的晶圆键合装置，具体包括上卡盘、按压装置，所述上卡盘设置有开口、腔体、第一气道，所述第一气道一端连通所述腔体，所述第一气道另一端连通气源，所述腔体为设置于所述上卡盘下表面的凹槽，所述按压装置连接有驱动装置，所述驱动装置适于带动所述按压装置向下移动穿过所述开口并接触所述上晶圆，使所述上晶圆至少部分接触下晶圆，所述开口的侧壁上设置有密封组件。
晶圆键合装置

[实用新型]一种RH浸渍管-CN202222209943.8有效
发明人：樊书芳;刘道正;王彦锋;樊树宝;张小辉;王东亮;文关俊;谢洪文 -专利权人：北京首钢股份有限公司
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： C21C7/10 文献下载
摘要：本实用新型所提供的一种RH浸渍管，该浸渍管包括钢胆、第一耐火管、第二耐火管和供气组件。其中，钢胆包括内管和外管，其中，外管间隙套设在内管外，内管和外管之间形成密封腔；第一耐火管固定设置在内管的内侧，第一耐火管具有供钢水通过的第一通孔；第二耐火管固定设置在外管的外周；供气组件包括通气管和流量计，通气管的一端与外管的管身连通，通气管的另一端与惰性气体气源连通，通气管上设置有流量计，流量计上设置有发讯器。本实用新型提供的浸渍管，可以防止钢液增氮，且该结构简单，成本低，具有实用价值，易推广。
一种 rh 浸渍

[发明专利]一种晶圆位置调整机构及调整方法-CN202210528468.2在审
发明人：张昊;司伟;樊树宝;王莉中 -专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
申请日： 2022-05-16 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，具体为一种晶圆位置调整机构及调整方法。该晶圆位置调整机构包括下承载台本体，下吸盘的下部穿过所述下承载台本体并安装在位于下承载台本体下方的平移旋转组件上；所述下吸盘的上部位于下承载台本体的上方。本发明的晶圆位置调整机构取消了现有技术中可以移动的上运动台及其它机构，以上承载台为基准，下承载台向上承载台对正，将平移和旋转轴集成在下承载台上，使下吸盘具备了平移和旋转功能，大大提高了调整精度。
一种位置调整机构方法

[实用新型]一种适用于重载条件的坦克链条-CN202122264338.6有效
发明人： 樊树宝;张小辉;文关俊;王东亮;樊书芳;崔丛义 -专利权人：北京首钢股份有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： F16G13/02 文献下载
摘要：本实用新型所提供的一种适用于重载条件的坦克链条，该链条包括两个相对设置的链环，每个链环包括呈闭环且依次连接的多个链板，每个链板包括主板和限位组件。其中，限位组件包括第一限位件和第二限位件，第一限位件固定设置在主板的中部，第一限位件设置在主板长度方向的一端；相邻的两个链板中，位于运动方向前侧的链板的主板的长度方向的一端可转动地连接在位于运行方向后侧的链板的主板的长度方向的另一端，位于运动方向前侧的链板的第二限位件可搭接在位于运行方向后侧的链板的第一限位件的在主板宽度方向的外侧。本实用新型提供的链条可以使得设备稳定运行，提高链条的在线服役寿命，降低了设备管理成本。
一种适用于重载条件坦克链条

[实用新型]一种真空送料装置-CN202121957700.1有效
发明人：樊书芳;王佳力;王建辉;樊树宝;张小辉;王东亮;文关俊;谢洪文 -专利权人：北京首钢股份有限公司
申请日： 2021-08-19 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： C21C7/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空送料装置，用于RH精炼过程钢水加料，该装置包括第一料罐、第一密封阀、第二密封阀、控制阀和下料溜管。其中，第一料罐的顶部具有第一入口和第一抽气口，第一料罐的底部具有第一出口，第一料罐的第一出口与下料溜管的一端连通，下料溜管的另一端与真空室连通，下料溜管的另一端朝下，下料溜管的直径为350‑450mm，控制阀的输出端与下料溜管的管身连通，控制阀的输入端与第一料罐的第一抽气口连通；第一密封阀设置于第一料罐的第一入口内，第二密封阀设置于第一料罐的第一出口内。本实用新型提供的真空送料装置，设备精简，成本低，同时抽真空的时间短，效率高，真空度稳定，冶炼效果好。
一种真空装置

[实用新型]一种扇形段从动辊转动状态的在线检测装置-CN202020222404.6有效
发明人： 樊树宝;张小辉;王东亮;谢洪文;文关俊;胡林;崔丛义;樊书芳 -专利权人：北京首钢股份有限公司
申请日： 2020-02-27 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： B22D2/00 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种扇形段从动辊转动状态的在线检测装置，包括支撑部、伸缩缸和辊面吸盘，支撑部用于将整个装置固定在辊组除待测辊外的任意适当位置，辊面吸盘放置在待测辊的辊面上，以保证辊面吸盘与待测辊紧密吸附且不打滑，伸缩缸的一端与所述支撑底板连接，另一端与辊面吸附装置连接。在工作过程中，通过操作伸缩缸的伸缩，不断增加待测辊的水平推力，直至辊组开始转动时停止伸缩缸的伸缩，测量并记录此时的压力值，即可折算出盘动该辊组所需的转动力矩。其解决了现有技术中从动辊运动状况验证检测时存在的测量效率低、人员成本高，且施工安全性较差的技术问题。
一种扇形从动转动状态在线检测装置

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