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[发明专利]薄膜制造设备-CN202111215883.4在审
发明人： 李昞日;金昌敎;权昶珉;兪承沅 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2021-10-19 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及一种薄膜制造设备，包含：腔室，具有衬底的内部处理空间；衬底支撑件单元，连接到腔室以支撑腔室中的衬底；热源单元，连接到腔室且与衬底支撑件单元相对安置；等离子产生单元，连接到腔室的一侧以在衬底支撑件单元与热源单元之间供应自由基；以及挡板，连接到腔室且其中包含自由基的移动信道和与移动信道连通的多个第一排出孔，所述多个第一排出孔形成于其顶表面中。薄膜制造设备可改良形成于衬底上的薄膜的均一性。
薄膜制造设备

[发明专利]衬底处理设备以及衬底处理方法-CN201710019732.9有效
发明人： 李昞日;金俊浩;赵相铉;刘云锺 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2017-01-11 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种衬底处理设备以及一种应用于衬底处理设备的衬底处理方法。衬底处理设备包含：腔室，具有用于在其中处理衬底的空间；致动模块，穿过并延伸到腔室中；夹盒模块，安装在致动模块的一侧上、具有至少一个开放侧表面，且具有能够装载多个衬底的空间；以及加热部件，在面向容纳在夹盒模块中的多个衬底中的每一个的多个位置处在第一方向上延伸。应用于衬底处理设备的衬底处理方法可同时除气多个衬底且可在除气期间均匀地加热每一衬底。
衬底处理设备以及方法

[发明专利]基板载体设备和方法-CN201910353070.8在审
发明人：金俊浩;李昞日 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2019-04-29 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种基板载体设备，包含：运载机器人，具有机器人臂；夹盘单元，安装在机器人臂的前端上且包括真空夹盘；效用供应单元，连接到真空夹盘；压力传感器，安装在效用供应单元上；距离传感器，安装在夹盘单元上；以及控制单元，配置成通过由距离传感器和压力传感器测量的结果确定基板的翘曲状态，且取决于确定的结果来确定是否运载基板和是否进行基板的运载。且本发明提供一种应用于基板载体设备的基板载体方法，其可在不同时间以不同方式不同地测量基板的翘曲状态。
基板载体基板距离传感器机器人臂效用供应真空夹盘夹盘翘曲运载压力传感器测量压力传感器运载机器人结果确定测量基配置应用

[发明专利]冷却水处理装置、方法及其基板处理装置-CN201310369409.6有效
发明人：李宰承;金俊浩;赵相铉;李昞日 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2013-08-22 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：发明涉及冷却水处理装置和处理方法以及适用了该处理装置和处理方法的基板处理装置，尤其涉及在更换靶材时冷却水不会外漏的冷却水处理装置和冷却水处理方法以及适用了该冷却水处理装置的基板处理装置。本发明实施方式的冷却水处理装置，包括：冷却器，向被冷却体壳体供给和回收冷却水；冷却水供给管和冷却水回收管，分别连接所述被冷却体壳体与冷却器；空气流入体，有选择地向所述被冷却体壳体注入空气；冷却水排出器，当以排出模式工作时，为了中断向被冷却体壳体供给冷却水，将冷却水供给管转换连接成冷却水回收管而回收冷却水，并通过所述空气流入体向被冷却体壳体注入空气，以将残留在被冷却体壳体内部的冷却水向冷却水回收管排出。
冷却水处理装置方法及其处理