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- [发明专利]多晶块料的板翻转设备-CN202210292869.2在审
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张小飞;王钢;候贺;李东伟;杨文军
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大连威凯特科技有限公司
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2022-03-24
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2023-10-03
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B65G47/248
- 本申请公开了多晶块料的板翻转设备,涉及多晶块料的翻转设备技术领域,包括总框架,总框架的右侧设有进料传送机,总框架的下方设有出料传送机,总框架的上端设有夹紧翻转装置,夹紧翻转装置的两侧分别连接有支撑轴承和翻转动力装置,夹紧翻转装置包含有支撑平台、侧方夹紧气缸和压紧气缸,翻转动力装置包含有动力支座、翻转气缸和齿条。本申请设有夹紧翻转装置和翻转动力装置,自动化翻转,通过将托盘传送到夹紧翻转装置的对应位置,通过齿轮齿条传递扭矩,旋转夹紧翻转装置,气缸作为压紧的动力,把托盘内的块料倒入到下料周转箱内,然后传输到指定位置,实现连续生产,减少污染,提升效率的目的,全程自动化生产,节省了人工成本。
- 多晶翻转设备
- [发明专利]基板处理系统-CN202310241262.6在审
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李东伟
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东京毅力科创株式会社
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2023-03-14
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2023-09-22
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H01L21/67
- 本发明提供一种基板处理系统,能够通过使用了平面马达的基板搬送装置以高的位置精度向被搬送基板的模块的载置部搬送基板。基板处理系统具有:模块,其具有基板的载置部;搬送室,其与模块连接;以及基板搬送装置,其设置于搬送室的内部,进行基板的搬送。基板搬送装置具有:搬送单元,其具有基板保持部和基座,基板保持部能够访问模块的载置部,基座的内部具有磁体,基座使基板保持部沿搬送室的底部移动;以及平面马达,其具有沿搬送室的底部排列的多个块体、在多个块体的内部设置多个的电磁线圈、以及向电磁线圈供电来使基座磁悬浮并且对基座进行线性驱动的线性驱动部。多个块体中的与模块对应的块体连结于模块,不连结于搬送室。
- 处理系统
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