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[发明专利]刻蚀均匀性的调节方法及半导体工艺设备-CN202310487438.6在审
发明人：王晓丹;李凯;白帆;曹广岳;李一曼;马兵 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种刻蚀均匀性的调节方法，涉及半导体工艺技术领域，所述刻蚀均匀性的调节方法包括：确定经刻蚀处理的晶圆的内圈刻蚀均匀性参数是否大于第一预设值，在内圈刻蚀均匀性参数大于第一预设值的情况下，改变晶圆相对于上电极遮挡件的沿水平方向的相对位置，以使内圈刻蚀均匀性参数小于或等于第一预设值；对晶圆进行刻蚀处理，确定晶圆的内圈周向刻蚀速率趋势和晶圆的外圈周向刻蚀速率趋势是否相同，在内圈周向刻蚀速率趋势和外圈周向刻蚀速率趋势不同的情况下，调整上电极遮挡件相对晶圆的倾角，以使内圈周向刻蚀速率趋势和外圈周向刻蚀速率趋势相同。
刻蚀均匀调节方法半导体工艺设备

[外观设计]平板收纳装置-CN202230700785.9有效
发明人： 李一曼 -专利权人：深圳市磐鼎科技有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： 14-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：平板收纳装置。2.本外观设计产品的用途：用于嵌入平板设备，以实现对设备的通讯、指挥及操控。3.本外观设计产品的设计要点：在于产品的形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。5.使用状态参考图为嵌入平板设备后的状态。
平板收纳装置

[发明专利]一种工艺腔室及半导体处理设备-CN202310118681.0在审
发明人：郭士选;王炳元;苏恒毅;李一曼 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-01-31 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本申请公开了一种工艺腔室及半导体处理设备，工艺腔室包括腔室本体，以及设置于腔室本体内的承载组件和隔离组件；承载组件包括基盘以及真空机械卡盘，真空机械卡盘叠设于基盘的底面，真空机械卡盘通过真空吸附将晶圆吸附固定于基盘的上方；隔离组件套设在承载组件的外侧，用于将承载组件与隔离组件的外侧环境进行绝缘隔离，隔离组件包括上隔离环，上隔离环套设在基盘和真空机械卡盘的外侧，并且上隔离环的底面低于真空机械卡盘的顶面，本申请上隔离环从侧面对真空机械卡盘进行了隔离，从而可以避免真空机械卡盘的顶角与外界环境直接正对，降低了真空机械卡盘的顶角发生放电的风险，从而可以提高晶圆边缘刻蚀的良率。
一种工艺半导体处理设备

[外观设计]全加固平板终端-CN202230696331.9有效
发明人： 李一曼 -专利权人：深圳市磐鼎科技有限公司
申请日： 2022-10-21 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： 14-02 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：全加固平板终端。2.本外观设计产品的用途：用于车载导航系统的信息显示和信息交互。3.本外观设计产品的设计要点：在于产品的整体形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
加固平板终端

[外观设计]车辆控制终端（T805）-CN202230578833.1有效
发明人： 李一曼 -专利权人：深圳市磐鼎科技有限公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： 14-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：车辆控制终端（T805）。2.本外观设计产品的用途：用于车辆特别是军用车辆的远程通信管理与控制。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
车辆控制终端 t805

[发明专利]用于图像分类的轻量型多任务分类模型、方法及边缘设备-CN202211268354.5在审
发明人： 李一曼;朱子赫;俞俊程 -专利权人：深圳力维智联技术有限公司
申请日： 2022-10-17 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G06V10/764 文献下载
摘要：一种用于图像分类的轻量型多任务分类模型、方法及边缘设备，涉及深度学习网络。包括：基础卷积模块，用于接收待处理图像，并对待处理图像的初步特征进行提取以得到浅层特征的特征图；特征提取模块，用于对所述浅层特征的特征图进行深度特征提取以得到深层特征的特征图；所述特征提取模块包括多个串行的特征提取子模块，所述特征提取子模块包括若干复用的深度可分离卷积模块，用于对所述浅层特征的特征图进行深度特征提取；分类模块，用于根据所述深层特征的特征图计算所述深层特征的特征图的类别概率，以对所述待处理图像进行分类。
用于图像分类轻量型多任务模型方法边缘设备

[发明专利]一种晶圆的电弧抑制方法及半导体设备-CN202211031304.5在审
发明人： 李一曼;李凯;白帆;王晓丹;曹广岳;马兵 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆的电弧抑制方法及半导体设备，在主工艺阶段的下射频电源开启之前和/或在主工艺阶段的下射频电源关闭之后，向反应腔室内通入非工艺气体；按照预设的开启时间设定策略，开启下射频电源，以使下射频电源将反应腔室内的非工艺气体激发形成等离子体，使晶圆的电势趋近于0；按照预设的接地时间设定策略，将下电极的基体接地，以使下电极基体的电势趋近于0。可见，本申请可降低工艺的吸附/解吸附过程中因ESC电压的变化对晶圆和下电极基体电势产生的影响，从而减小了晶圆和下电极之间的电势差，达到最小化或消除晶圆上电弧的效果，进而有效减少了因晶圆电弧放电对晶圆造成的损伤，提高了有效晶圆的产量。
一种电弧抑制方法半导体设备

[发明专利]半导体工艺方法及半导体工艺设备-CN202210902215.7在审
发明人：李凯;白帆;王晓丹;曹广岳;李一曼;马兵 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本申请公开了一种半导体工艺方法及半导体工艺设备，属于半导体工艺技术。该半导体工艺方法包括以下步骤：在工艺腔室对晶圆进行相应的半导体工艺处理的过程中，监测工艺腔室是否处于闲置状态；若监测到工艺腔室处于闲置状态，则每间隔预设时间，对工艺腔室进行一次腔室预处理操作，腔室预处理操作包括将工艺腔室的室内温度控制在预设温度值，及向工艺腔室中通入工艺气体，并电离工艺气体形成等离子体，其中，工艺气体包括氮元素，且不含氟元素。本技术方案，可在半导体工艺处理过程中，有效延缓工艺腔室中承载装置的陶瓷层的表面电阻的降低速度，进而提高该承载装置的使用寿命。
半导体工艺方法工艺设备

[发明专利]一种晶圆偏心的检测方法-CN202210610282.1在审
发明人：马兵;李凯;王晓丹;曹广岳;白帆;李一曼 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本申请公开了一种晶圆偏心的检测方法，涉及半导体领域。一种晶圆偏心的检测方法，包括：刻蚀步骤，选取第一目标采样点和第二目标采样点步骤，确定第三目标采样点步骤，确定第四目标采样点步骤，确定第五目标采样点步骤，确定第五目标采样点所在采样圆的半径值步骤和确定偏差半径步骤。本申请能够解决当前调节方式无法保证晶圆中心与等离子体处理中心对齐的问题。
一种偏心检测方法

[外观设计]收纳箱-CN202230248138.9有效
发明人： 李一曼 -专利权人： 李一曼
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： 06-04 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：收纳箱。2.本外观设计产品的用途：用于收纳物品的箱。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
收纳

[发明专利]D-青霉胺联合氟康唑在制备抗真菌产品中的应用-CN201910865983.8有效
发明人：李秀云;李一曼;郝丽娜;高燕;谭玉凤;刘亚鲁 -专利权人：山东省妇幼保健院
申请日： 2019-09-12 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： A61K31/4196 文献下载
摘要：本公开属于抗真菌药物联合用药技术领域，具体涉及D‑青霉胺联合氟康唑药物在制备抗真菌产品中的应用。白色念珠菌是一种危害程度较大的感染真菌，临床常用的抗真菌药物品种有限。并且随着治疗的进行，耐药菌株不断出现。本公开针对D‑青霉胺与氟康唑抗真菌药物联合应用于耐药型白色念珠菌的治疗展开了研究，研究结果显示，D‑青霉胺可以显著地降低氟康唑药物的使用剂量，降低菌株耐药几率，并且减少药物的用量有利于消除药物体内累积带来的毒副作用。另外，D‑青霉胺与氟康唑药物的联用对耐药型菌株具有选择性的抑制效果，也为克服真菌耐药提供了研究的依据。
青霉联合氟康唑制备真菌产品中的应用

[发明专利]深度学习网络模型、特征提取方法、装置及存储介质-CN202111492862.7在审
发明人： 李一曼;张浩;李杉杉;刘强;徐明 -专利权人：深圳力维智联技术有限公司
申请日： 2021-12-08 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： G06N3/04 文献下载
摘要：本发明涉及深度学习技术领域，具体涉及一种轻量型具有注意力机制的深度学习网络模型、特征提取方法、装置及存储介质。其包括：基础卷积模块、特征提取模块、维度变换模块、分类概率输出模块。其中，特征提取模块包括多个串行连接的特征提取子模块。采用本实施例的网络模型提取图像特征信息时，多个特征子模块可以对图像进行多尺度空间特征提取，使得同时提取出来多个状态信息，在模型轻量化前提下，提高了特征提取的准确率。
深度学习网络模型特征提取方法装置存储介质

[发明专利]一种骑行属性识别方法及装置、存储介质-CN202110069639.5在审
发明人： 李一曼;邵新庆;刘强;徐明 -专利权人：南京中兴力维软件有限公司;深圳力维智联技术有限公司
申请日： 2021-01-19 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： G06K9/00 文献下载
摘要：一种骑行属性识别方法及装置、存储介质，包括：构建深度神经网络模型；获取用于训练的样本骑行图像；对样本骑行图像进行预处理，获得多个不同的预处理后的样本骑行图像；将多个不同的预处理后的样本骑行图像输入深度神经网络模型中；提取多个不同的预处理后的样本骑行图像的图像特征；根据图像特征，计算分类特征向量；通过注意力机制对多个不同的预处理后的样本骑行图像进行处理、或通过注意力机制对图像特征进行处理，计算特征矩阵；根据分类特征向量和特征矩阵，计算总损失值；根据总损失值对深度神经网络模型的参数进行迭代优化，使总损失值减小，直至达到预设的停止条件为止。本发明能够在识别质量较低的骑行图像时获得较高的准确率。
一种属性识别方法装置存储介质

[实用新型]一种用于建筑的污水处理用排水阀门-CN201721842066.0有效
发明人：张日钦 -专利权人： 李一曼
申请日： 2017-12-26 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： F16K3/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于建筑的污水处理用排水阀门，涉及污水处理技术领域。该用于建筑的污水处理用排水阀门，包括壳体，所述壳体内穿插有转杆，且转杆的顶端贯穿壳体的顶部并延伸至壳体的上方，且壳体内设置有固定套，所述转杆的底端贯穿固定套并插接在壳体内腔的一侧，且固定套内嵌有阻水板，所述阻水板套接在转杆上。该用于建筑的污水处理用排水阀门，通过在壳体内壁开设弹簧槽，以及第一弹簧和支撑板的配合设置，能够在使用者解除过滤板的固定时起到辅助作用，通过在过滤板顶部固定连接提手，从而便于使用者通过握住提手的方式取出解除固定后的过滤板，极大地提高了更换过滤板的效率。
排水阀门过滤板转杆污水处理固定套壳体阻水板提手体内污水处理技术本实用新型辅助作用壳体内壁壳体内腔配合设置弹簧槽支撑板贯穿插接弹簧底端内嵌套接穿插握住取出延伸

[实用新型]用于回转炉外加热夹套的密封装置-CN201720228949.6有效
发明人：林云喜;林懿宸;关佩;李一曼 -专利权人：北京石油化工工程有限公司
申请日： 2017-03-10 - 公布日： 2017-10-24 - 主分类号： F27B7/34 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于回转炉外加热夹套的密封装置，所述密封装置与所述垫板(5)密封连接；所述密封装置包括套设在所述环形的垫板(5)外圆上的第一层石墨密封块和第二层石墨密封块，所述第一层石墨密封块和第二层石墨密封块的数目均为多个；在所述回转炉炉体的周向上，多个所述第一层石墨密封块和第二层石墨密封块分别形成封闭的环形的圆周；在所述回转炉炉体的轴向上，所述第一层石墨密封块和第二层石墨密封块沿所述回转炉炉体的轴线并排平行设置。本实用新型能够确保外加热夹套密封严实，提高加热效率。
用于回转外加热夹套密封装置

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