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[发明专利]一种用于镀膜机的封闭式上下片系统-CN201710943124.7有效
发明人：朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2017-10-11 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于镀膜机的封闭式上下片系统，包括壳体和均设置在壳体内部的基片移载机构、夹具移载机构、出料机构、上料机构、基片识别机构、方圆识别机构、机械手、承接机构、方形基片存放架、圆形基片存放架；上料机构，基片识别机构，用于识别夹具形状的方圆识别机构，用于夹取夹具的机械手，用于装载夹具的承接机构，用于存放方形基片的方形基片存放架，用于存放圆形基片的圆形基片存放架依次布置；基片移载机构和夹具移载机构均位于承接机构的上方，壳体上设有入料口和出料口，上料机构位于入料口处，出料机构位于出料口处。封闭式的上下片系统能实现基片的自动装夹和卸载，属于基片上下片的技术领域。
一种用于镀膜封闭式下片系统

[实用新型]一种用于金属卷材的真空镀膜设备-CN202122384943.7有效
发明人：朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： B65H19/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种用于金属卷材的真空镀膜设备，包括依次设置的自动上料机构、放卷机构、裁剪机构、清洁机构、真空镀膜机构、贴保护膜机构、收卷机构和自动下料机构；金属卷材通过自动上料机构进入放卷机构中，从放卷机构出来的金属卷材依次经过裁剪机构、清洁机构、真空镀膜机构、贴保护膜机构，并进入收卷机构中进行收卷，真空镀膜后的金属卷材通过自动下料机构下料。本实用新型能够实现金属卷材在大气下自动上料、放卷、裁剪、清洁、真空镀膜、贴保护膜等工序，通过这一系列自动化工序，能够实现金属卷材的自动化镀膜，大幅提高生产效率，降低生产成本。
一种用于金属卷材真空镀膜设备

[实用新型]一种采用大功率电子束蒸镀的双面卷绕镀膜机-CN202121418453.8有效
发明人：朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2021-06-24 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种采用大功率电子束蒸镀的双面卷绕镀膜机，包括真空室，真空室内沿着基材运行路径依次设置有放卷辊、第一镀膜机构、第二镀膜机构、收卷辊；第一镀膜机构用于对基材的一面进行镀膜，第一镀膜机构包括第一镀膜辊和第一镀膜区，第一镀膜区内设有第一蒸发源；第二镀膜机构用于对基材的另一面进行镀膜，第二镀膜机构包括第二镀膜辊和第二镀膜区，第二镀膜区内设有第二蒸发源；真空室上还安装有第一电子枪和第二电子枪，第一电子枪发射的电子束朝向第一蒸发源，第二电子枪发射的电子束朝向第二蒸发源。本实用新型可连续进行双面蒸发镀膜，并且大功率电子束蒸发镀膜的能量大，膜层沉积效率高，能够实现大幅宽基材的大批量均匀成膜。
一种采用大功率电子束双面卷绕镀膜

[发明专利]一种用于金属卷材的真空镀膜设备-CN202111149592.X在审
发明人：朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： B65H19/12 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种用于金属卷材的真空镀膜设备，包括依次设置的自动上料机构、放卷机构、裁剪机构、清洁机构、真空镀膜机构、贴保护膜机构、收卷机构和自动下料机构；金属卷材通过自动上料机构进入放卷机构中，从放卷机构出来的金属卷材依次经过裁剪机构、清洁机构、真空镀膜机构、贴保护膜机构，并进入收卷机构中进行收卷，真空镀膜后的金属卷材通过自动下料机构下料。本发明能够实现金属卷材在大气下自动上料、放卷、裁剪、清洁、真空镀膜、贴保护膜等工序，通过这一系列自动化工序，能够实现金属卷材的自动化镀膜，大幅提高生产效率，降低生产成本。
一种用于金属卷材真空镀膜设备

[实用新型]一种液态原料真空蒸发的卷对卷连续镀膜设备-CN202120777443.7有效
发明人：朱刚毅;朱刚劲;朱文廓;朱嘉辉;杨容军 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2021-04-15 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种液态原料真空蒸发的卷对卷连续镀膜设备，包括真空室，真空室内沿着基材运行路径依次设置有放卷机构、镀膜机构、收卷机构，放卷机构包括放卷辊，收卷机构包括收卷辊，镀膜机构包括液态原料蒸发装置，在基材运行的路径上还设置有离子清洗装置、加热器和多个引导辊，从放卷辊出来的基材依次经过多个引导辊、收卷辊，离子清洗装置用于对基材进行离子清洗，加热器用于对基材进行加热，液态原料蒸发装置的喷射方向朝向基材。本实用新型能够在大幅宽基材上连续镀制疏水疏油膜层，满足大批量生产的需求，并且产品质量稳定；还能实现在基材上连续镀制疏水疏油膜和其他膜层，便于镀制多层膜。
一种液态原料真空蒸发连续镀膜设备

[发明专利]一种采用大功率电子束蒸镀的双面卷绕镀膜机-CN202110704292.7在审
发明人：朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2021-06-24 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明涉及一种采用大功率电子束蒸镀的双面卷绕镀膜机，包括真空室，真空室内沿着基材运行路径依次设置有放卷辊、第一镀膜机构、第二镀膜机构、收卷辊；第一镀膜机构用于对基材的一面进行镀膜，第一镀膜机构包括第一镀膜辊和第一镀膜区，第一镀膜区内设有第一蒸发源；第二镀膜机构用于对基材的另一面进行镀膜，第二镀膜机构包括第二镀膜辊和第二镀膜区，第二镀膜区内设有第二蒸发源；真空室上还安装有第一电子枪和第二电子枪，第一电子枪发射的电子束朝向第一蒸发源，第二电子枪发射的电子束朝向第二蒸发源。本发明可连续进行双面蒸发镀膜，并且大功率电子束蒸发镀膜的能量大，膜层沉积效率高，能够实现大幅宽基材的大批量均匀成膜。
一种采用大功率电子束双面卷绕镀膜

[实用新型]一种复合型多功能双面卷绕镀膜机-CN202022594812.7有效
发明人：朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种复合型多功能双面卷绕镀膜机，包括真空容器，真空容器内设有收放卷室，第一镀膜机构，第二镀膜机构；第一镀膜机构包括第一镀膜辊，沿着第一镀膜辊的圆周方向至少设置有一个溅射镀膜区和一个蒸发镀膜区；第二镀膜机构包括第二镀膜辊，沿着第二镀膜辊的圆周方向至少设置有一个溅射镀膜区和一个蒸发镀膜区；收放卷室内设有放卷辊、第一导辊、第二导辊和收卷辊，从放卷辊出来的薄膜基材依次经过第一导辊、第一镀膜辊、第二镀膜辊、第二导辊、收卷辊。本实用新型实现了磁控溅射镀膜和蒸发镀膜的复合镀膜功能以及薄膜基材连续双面镀膜的功能，提高了镀膜的质量和生产效率。
一种复合型多功能双面卷绕镀膜

[发明专利]一种液态原料真空蒸发的卷对卷连续镀膜设备-CN202110403943.9在审
发明人：朱刚毅;朱刚劲;朱文廓;朱嘉辉;杨容军 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2021-04-15 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种液态原料真空蒸发的卷对卷连续镀膜设备，包括真空室，真空室内沿着基材运行路径依次设置有放卷机构、镀膜机构、收卷机构，放卷机构包括放卷辊，收卷机构包括收卷辊，镀膜机构包括液态原料蒸发装置，在基材运行的路径上还设置有离子清洗装置、加热器和多个引导辊，从放卷辊出来的基材依次经过多个引导辊、收卷辊，离子清洗装置用于对基材进行离子清洗，加热器用于对基材进行加热，液态原料蒸发装置的喷射方向朝向基材。本发明能够在大幅宽基材上连续镀制疏水疏油膜层，满足大批量生产的需求，并且产品质量稳定；还能实现在基材上连续镀制疏水疏油膜和其他膜层，便于镀制多层膜。
一种液态原料真空蒸发连续镀膜设备

[发明专利]一种复合型多功能双面卷绕镀膜机-CN202011251952.2在审
发明人：朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种复合型多功能双面卷绕镀膜机，包括真空容器，真空容器内设有收放卷室，第一镀膜机构，第二镀膜机构；第一镀膜机构包括第一镀膜辊，沿着第一镀膜辊的圆周方向至少设置有一个溅射镀膜区和一个蒸发镀膜区；第二镀膜机构包括第二镀膜辊，沿着第二镀膜辊的圆周方向至少设置有一个溅射镀膜区和一个蒸发镀膜区；收放卷室内设有放卷辊、第一导辊、第二导辊和收卷辊，从放卷辊出来的薄膜基材依次经过第一导辊、第一镀膜辊、第二镀膜辊、第二导辊、收卷辊。本发明实现了磁控溅射镀膜和蒸发镀膜的复合镀膜功能以及薄膜基材连续双面镀膜的功能，提高了镀膜的质量和生产效率。
一种复合型多功能双面卷绕镀膜

[发明专利]一种用于镀防指纹膜的卷对卷真空镀膜设备-CN202011171391.5在审
发明人：朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2020-10-28 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种用于镀防指纹膜的卷对卷真空镀膜设备，包括真空室，真空室内设有镀膜辊以及沿着镀膜辊的圆周方向依次设置的收放卷室、磁控溅射镀膜室、第一隔气室、气态蒸发镀膜室、第二隔气室；用于卷绕基材的收放卷室内设有放卷辊、第一导辊、第二导辊和收卷辊，从放卷辊出来的基材依次经过第一导辊、镀膜辊、第二导辊、收卷辊，磁控溅射镀膜室内设有磁控溅射镀膜系统，真空镀膜设备还包括用于镀防指纹膜的气态蒸发镀膜系统。本发明既能够实现连续镀防指纹膜，同时也能镀其他膜层，能够在同一真空镀膜设备上镀防指纹膜和其他膜层，极大地提高了生产效率，也减少了设备投入，节能降耗。
一种用于指纹真空镀膜设备

[实用新型]可多卷基材同时镀膜的真空卷绕镀膜设备-CN201922460076.3有效
发明人：朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及可多卷基材同时镀膜的真空卷绕镀膜设备，包括沿着基材运行路径依次设置的放卷室，镀膜室，收卷室；放卷室内设有多个放卷机构，镀膜室内设有镀膜源，镀膜源的喷射方向朝向基材，收卷室内设有至少一个收卷机构，沿着基材的运行路径上设有多个引导辊机构；放卷机构包括安装板，固定在安装板上的驱动电机，转动式安装在安装板上的放卷辊；卷状的基材卷绕在放卷辊上，放卷辊连接在驱动电机的输出端上；收卷机构包括承载板，固定在承载板上的动力电机，转动式安装在承载板上的收卷辊；卷状的基材卷绕在收卷辊上，收卷辊连接在动力电机的输出端上。本真空卷绕镀膜设备可多卷基材共用镀膜源同时进行镀膜，属于真空镀膜的技术领域。
可多卷基材同时镀膜真空卷绕设备

[实用新型]可镀多层膜可往返多室多功能卷对卷镀膜机-CN201921995656.6有效
发明人：朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2019-11-19 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及可镀多层膜可往返多室多功能卷对卷镀膜机，包括用于卷绕基材的卷绕系统和依次设置的收放卷室、隔膜阀、蒸发镀膜室、等离子放电镀膜室、隔膜阀、收放卷室；卷绕系统包括收放卷辊和镀膜辊；两个收放卷室内均设有收放卷辊，蒸发镀膜室内和等离子放电镀膜室内均设有镀膜辊，从第一个收放卷辊出来的基材依次经过隔膜阀、蒸发镀膜室内的镀膜辊、等离子放电镀膜室的镀膜辊、隔膜阀、第二个收放卷辊；蒸发镀膜室内配置有蒸发镀膜系统，蒸发镀膜系统的喷射方向朝向基材，等离子放电镀膜室内配置有等离子放电成膜系统。镀膜机可同时进行蒸发镀膜和等离子放电成膜，实现一次可镀多层膜，属于真空镀膜设备技术领域。
多层往返多功能镀膜

[实用新型]带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线-CN201921995344.5有效
发明人：朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2019-11-19 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型涉及带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，包括沿着磁材运行路径设置的至少两个低真空室、至少两个高真空室、镀膜室，安装在镀膜室的运动机构和动力装置；镀膜室的两侧分别至少设置一个低真空室和至少设置一个高真空室；平面阴极包括磁板，安装在磁板上的多个磁钢，位于磁钢下方的靶材；动力装置的输出端连接在运动机构上，运动机构的输出端连接在磁板上。磁材镀膜生产线大幅提高靶材利用率，既降低稀有材料的消耗，也实现高性能、低成本的产业化应用，属于真空镀膜设备技术领域。
运动平面阴极镀膜生产线

[实用新型]一种带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备-CN201921365979.7有效
发明人：朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2019-08-21 - 公布日： 2020-04-14 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体涉及一种带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备。带隔膜阀的T型卷绕真空镀膜设备，包括镀膜室、放卷室、收卷室和基材,放卷室与镀膜室的相接处设有隔膜阀，收卷室与镀膜室的相接处设有隔膜阀，从放卷室出来的基材依次经过放卷室和镀膜室之间的隔膜阀、镀膜室、镀膜室和收卷室之间的隔膜阀、收卷室。本实用新型通过设置隔膜阀，将收、放卷室与镀膜室隔离，使得镀膜室能长期处于真空状态，提高生产效率，降低生产成本。
一种隔膜卷绕真空镀膜设备

[发明专利]可多卷基材同时镀膜的真空卷绕镀膜设备-CN201911405903.7在审
发明人：朱刚毅;朱刚劲;朱文廓 -专利权人：广东腾胜科技创新有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本发明涉及可多卷基材同时镀膜的真空卷绕镀膜设备，包括沿着基材运行路径依次设置的放卷室，镀膜室，收卷室；放卷室内设有多个放卷机构，镀膜室内设有镀膜源，镀膜源的喷射方向朝向基材，收卷室内设有至少一个收卷机构，沿着基材的运行路径上设有多个引导辊机构；放卷机构包括安装板，固定在安装板上的驱动电机，转动式安装在安装板上的放卷辊；卷状的基材卷绕在放卷辊上，放卷辊连接在驱动电机的输出端上；收卷机构包括承载板，固定在承载板上的动力电机，转动式安装在承载板上的收卷辊；卷状的基材卷绕在收卷辊上，收卷辊连接在动力电机的输出端上。本真空卷绕镀膜设备可多卷基材共用镀膜源同时进行镀膜，属于真空镀膜的技术领域。
可多卷基材同时镀膜真空卷绕设备

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