专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]感光性树脂组合物-CN201180001254.X有效
  • 涩井智史 - 旭化成电子材料株式会社
  • 2011-02-09 - 2012-05-02 - G03F7/023
  • 本发明提供一种显影残膜率高且高灵敏度、进而具有高伸长率和高保存稳定性的感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物含有羟基聚酰胺树脂(A)和光产酸剂(B),所述羟基聚酰胺树脂(A)具有选自由下述通式(1)表示的结构和下述通式(2)表示的结构组成的组中的至少一种结构。{式(1)中,Z1、Z2和Z3分别独立地为2价有机基团,Z1、Z2和Z3中的至少一个具有脂环式结构或脂肪族结构,并且,m1为0或1的整数。}{式(2)中,Z1、Z2和Z3分别独立地为2价有机基团,Z1、Z2和Z3中的至少一个具有脂环式结构或脂肪族结构,并且,m1为0或1的整数。}。
  • 感光性树脂组合
  • [实用新型]带有废热锅炉设备的干膜制造装置-CN201120235518.5有效
  • 宫崎贞二 - 旭化成电子材料株式会社
  • 2011-07-04 - 2012-04-25 - G03F7/16
  • 本实用新型提供一种带有废热锅炉设备的干膜制造装置,其在干膜的制造工序中,能够实现对催化氧化设备排出口的废热的再利用。该干膜制造装置包括以下设备:用于将含有溶剂的感光性树脂组合物溶液涂布于载体膜上的涂布设备,用于使该已涂布的感光性树脂组合物溶液中所含的溶剂挥发出的干燥设备,用于通过氧化而处理由该干燥设备产生的废气中的该溶剂成分的催化氧化设备,以及利用该催化氧化设备排出口的废热的废热锅炉设备。
  • 带有锅炉设备制造装置
  • [发明专利]感光性树脂层压体-CN201080017632.9有效
  • 宫崎纯;五十岚勉;安波崇史 - 旭化成电子材料株式会社
  • 2010-04-20 - 2012-04-04 - G03F7/11
  • 本发明的目的在于提供一种高灵敏度且保持时间所产生的灵敏度降低(即灵敏度变化)少、即保存稳定性良好的感光性树脂层压体。另外,本发明的目的还在于提供一种抗蚀图案的形成方法,该方法包括以下步骤:使用该感光性树脂层压体在基板上形成感光性树脂层,并对该感光性树脂层进行曝光和显影。本发明提供一种感光性树脂层压体,该层压体至少包含支撑体薄膜、由感光性树脂组合物构成的感光性树脂层和保护薄膜,该保护薄膜含有具有下述通式(I)(式中,R1和R2分别独立地表示氢或碳原子数1~6的烷基)。表示的结构的抗氧化剂,该抗氧化剂的苯酚当量为3.1×10-3以下,该保护薄膜中的该抗氧化剂的含量为多于1ppm且3000ppm以下。
  • 感光性树脂层压
  • [实用新型]带有排气处理设备的干膜制造系统-CN201120136913.8有效
  • 坪井厚夫 - 旭化成电子材料株式会社
  • 2011-04-29 - 2012-02-08 - G03F7/16
  • 本实用新型提供一种干膜制造系统。在干膜的制造流程中,即使在排气处理装置中产生事故也不会导致生产性降低,且能降低CO2的排出量,并能对使用过的溶剂进行再利用。该干膜制造系统具有:涂敷设备,其用于将含有溶剂的感光性树脂组合物溶液涂敷到载体膜上;干燥设备,其用于从该涂敷后的感光性树脂组合物溶液中产生含有溶剂的排气;至少不同的两种以上的排气处理设备,其用于对上述排气进行处理;其特征在于:不同的两种以上的排气处理设备和上述干燥设备相连接。
  • 带有排气处理设备制造系统

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