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[发明专利]感光性树脂层叠体-CN202180072078.2在审
发明人： 国松真一;小坂隼也 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2021-09-24 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B32B27/16 文献下载
摘要：本申请提供一种感光性树脂层叠体，其包含支承薄膜和层叠在上述支承薄膜上的感光性树脂层。上述感光性树脂层包含30质量％～70质量％的碱溶性高分子、20质量％～50质量％的具有烯属不饱和双键的化合物、以及0.01质量％～20质量％的光聚合引发剂。上述碱溶性高分子包含具有芳香族基团的(甲基)丙烯酸酯作为共聚成分，且酸当量为350以上。上述具有烯属不饱和双键的化合物含有以其总质量作为基准计为50质量％～100质量％的丙烯酸酯单体，且双键当量为150以上。上述感光性树脂层的厚度为30μm以上。
感光性树脂层叠

[发明专利]感光性树脂组合物和感光性树脂层叠体-CN202080078423.9在审
发明人：田尻十南;小坂隼也;山田辉久;国松真一 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： G03F7/033 文献下载
摘要：提供一种在支承薄膜上层叠有感光性树脂层的感光性树脂层叠体，所述感光性树脂层包含感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物包含(A)碱溶性高分子10～90质量％、(B)具有烯属不饱和双键的化合物5～70质量％和(C)光聚合引发剂0.01～20质量％，前述(A)碱溶性高分子包含共聚物，所述共聚物包含具有碳原子数3～12的烷基的(甲基)丙烯酸酯作为共聚成分，作为前述(B)具有烯属不饱和双键的化合物，含有相对于前述(B)具有烯属不饱和双键的化合物总量为51～100质量％的丙烯酸酯单体，将包含前述感光性树脂组合物的感光性树脂层的膜厚记作T(μm)，并将波长365nm下的吸光度记作A，满足0A/T≤0.007所示的关系，并且，包含前述感光性树脂组合物的感光性树脂层的膜厚为40μm以上且600μm以下。
感光性树脂组合层叠

[发明专利]感光性树脂组合物-CN202210104954.1在审
发明人： 国松真一;松田隆之;山田有里;筒井大和;藤原晶 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2016-04-08 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： C08F2/44 文献下载
摘要：本申请涉及一种感光性树脂组合物。所述感光性树脂组合物，其含有碱溶性高分子；具有烯属不饱和键的化合物；和光聚合引发剂，且利用用于评价耐化学试剂性的化学试剂对在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层、并进行曝光和显影而得到的抗蚀图案进行处理后，固化抗蚀层线的最小线宽为17μm以下。
感光性树脂组合

[发明专利]感光性树脂组合物-CN201680019911.6有效
发明人： 国松真一;松田隆之;山田有里;筒井大和;藤原晶 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2016-04-08 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： G03F7/027 文献下载
摘要：一种感光性树脂组合物，其含有碱溶性高分子；具有烯属不饱和键的化合物；和光聚合引发剂，且利用用于评价耐化学试剂性的化学试剂对在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层、并进行曝光和显影而得到的抗蚀图案进行处理后，固化抗蚀层线的最小线宽为17μm以下。
感光性树脂组合

[发明专利]感光性树脂组合物和抗蚀图案的形成方法-CN201980041666.2在审
发明人：松田隆之;国松真一 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2019-06-18 - 公布日： 2021-02-12 - 主分类号： G03F7/031 文献下载
摘要：提供一种适合于在曝光后进行加热，实现更高分辨率的感光性树脂组合物。一种感光性树脂组合物，其是用于在曝光后进行加热，然后进行显影而得到树脂固化物的感光性树脂组合物，以感光性树脂组合物的总固体成分质量基准计，包含以下的成分：(A)碱溶性高分子：10质量％～90质量％；(B)具有烯属不饱和双键的化合物：5质量％～70质量％；以及(C)光聚合引发剂：0.01质量％～20质量％，(A)碱溶性高分子整体中的苯乙烯和/或苯乙烯衍生物的结构单元为15质量％以上。
感光性树脂组合图案形成方法

[发明专利]感光性树脂组合物和抗蚀图案的形成方法-CN201980041589.0在审
发明人：加持义贵;国松真一;松田隆之 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2019-06-11 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： G03F7/033 文献下载
摘要：本发明提供一种用于在曝光后进行加热，然后进行显影而得到树脂固化物的感光性树脂组合物。上述感光性树脂组合物以其总固体成分质量作为基准，包含以下的成分：(A)10质量％～90质量％的碱溶性高分子、(B)5质量％～70质量％的具有烯属不饱和双键的化合物、以及(C)0.01质量％～20质量％的光聚合引发剂。上述碱溶性高分子(A)的无机性值(I值)为720以下；或者，上述碱溶性高分子(A)的溶解度参数(sp值)为21.45MPa1/2以下；或者，上述感光性树脂组合物包含以上述感光性树脂组合物中的总固体成分质量为基准计为3质量％以上的碱溶性高分子(A‑1)，所述碱溶性高分子(A‑1)包含52质量％以上的源自作为单体成分的苯乙烯和/或苯乙烯衍生物的结构单元。
感光性树脂组合图案形成方法

[发明专利]感光性树脂组合物-CN201680049309.7有效
发明人：吉田真典;国松真一;西本秀昭 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2016-08-19 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： G03F7/033 文献下载
摘要：一种感光性树脂组合物，其含有(A)碱溶性高分子、(B)具有烯属双键的化合物、及(C)光聚合引发剂，(A)碱溶性高分子的根据下述数学式(I){数学式(I)中，Wi为构成碱溶性高分子的各共聚单体的质量，Tgi为构成碱溶性高分子的共聚单体的各自形成均聚物时的玻璃化转变温度，Wtotal为碱溶性高分子的合计质量，此外n为构成该碱溶性高分子的共聚单体的种类的数量。}求出的玻璃化转变温度(Tgtotal)为100℃以下，(B)具有烯属双键的化合物含有具有烯属双键和三嗪‑三酮结构的化合物。
感光性树脂组合

[发明专利]感光性树脂层叠体及抗蚀图案的制造方法-CN201880072368.5在审
发明人：井上浩辅;国松真一;小谷雄三 -专利权人：旭化成株式会社
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：一种感光性树脂层叠体，其具备支承薄膜和含有感光性树脂组合物的感光性树脂组合物层，所述感光性树脂组合物含有(A)碱溶性高分子，且所述支承薄膜可从所述感光性树脂组合物层剥离，将所述感光性树脂组合物层的总质量设为100质量％时，所述感光性树脂组合物层中所含的水分量为0.1质量％以上。
感光性树脂层叠图案制造方法

[发明专利]感光性树脂组合物-CN201410386793.5有效
发明人： 国松真一;小谷雄三 -专利权人：旭化成电子材料株式会社
申请日： 2010-05-19 - 公布日： 2014-10-22 - 主分类号： G03F7/027 文献下载
摘要：本发明提供具有耐化学药品性、与ITO膜的附着性优异的特性、并且保存稳定性优异的感光性树脂组合物及使用了其的感光性树脂层压体。本申请发明的感光性树脂组合物包含40～90质量％(A)碱可溶性树脂、5～50质量％(B)具有烯属不饱和双键的化合物、1～20质量％(C)光聚合引发剂、0.001～2.5质量％(D)环氧硅烷化合物及0.005～1.0质量％(E)硫醇化合物。
感光性树脂组合

[发明专利]感光性树脂组合物-CN201080022005.4有效
发明人： 国松真一;小谷雄三 -专利权人：旭化成电子材料株式会社
申请日： 2010-05-19 - 公布日： 2012-04-25 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供具有耐化学药品性、与ITO膜的附着性优异的特性、并且保存稳定性优异的感光性树脂组合物及使用了其的感光性树脂层压体。本申请发明的感光性树脂组合物包含40～90质量％(A)碱可溶性树脂、5～50质量％(B)具有烯属不饱和双键的化合物、1～20质量％(C)光聚合引发剂、0.001～2.5质量％(D)环氧硅烷化合物及0.005～1.0质量％(E)硫醇化合物。
感光性树脂组合

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