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- [发明专利]扫描型探针显微镜-CN202211464852.7在审
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繁野雅次;渡边和俊;山本浩令
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日本株式会社日立高新技术科学
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2018-03-06
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2023-03-07
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G01B21/30
- 本发明提供扫描型探针显微镜，其使探针与试样表面接触，利用所述探针间歇地扫描所述试样表面，其具有：悬臂，在其前端具有所述探针；驱动部，其从所述探针与所述试样表面接触的状态起进行将所述试样和所述探针分开的分开动作；激振部，其在所述分开动作中使所述悬臂以谐振频率进行激振；判定部，其在所述分开动作中，根据所述悬臂在挠曲方向或扭曲方向上的振动的相位与通过所述激振部进行激振的谐振频率的相位之间的相位差，判定所述探针相对于所述试样表面的分离；以及驱动控制部，其在通过该判定部判定为分离的时刻中止所述驱动部的所述分开动作，使所述探针和所述试样表面相对移动到所述试样的下一个测定点上。
- 扫描探针显微镜
- [发明专利]扫描型探针显微镜-CN202211464524.7在审
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繁野雅次;渡边和俊;山本浩令
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日本株式会社日立高新技术科学
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2018-03-06
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2023-03-03
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G01B21/30
- 本发明提供扫描型探针显微镜，其使探针与试样表面接触，利用所述探针间歇地扫描所述试样表面，其具有：悬臂，在其前端具有所述探针；驱动部，其从所述探针与所述试样表面接触的状态起进行将所述试样和所述探针分开的分开动作；激振部，其在所述分开动作中使所述试样和所述悬臂以规定的频率相对振动；判定部，其在所述分开动作中根据所述悬臂在挠曲方向或扭曲方向上的所述规定的频率的振幅的变化判定所述探针相对于所述试样表面的分离；以及驱动控制部，其在通过该判定部判定为分离的时刻中止所述驱动部的所述分开动作，使所述探针和所述试样表面相对移动到所述试样的下一个测定点上。
- 扫描探针显微镜
- [发明专利]产生气体分析装置和产生气体分析方法-CN201810770468.7有效
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广瀬龙介;秋山秀之;坂井范昭;渡边将史
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日本株式会社日立高新技术科学
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2018-07-13
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2023-02-28
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G01N30/02
- 提供产生气体分析装置和产生气体分析方法，提高气体成分的检测精度而不会使装置大型化。产生气体分析装置(200)具有：气体成分产生部(10)；检测气体成分(G)的检测单元(110)；混合气体流路(41)，将气体成分产生部与检测单元之间连接起来，供气体成分与将气体成分向所述检测单元引导的载气(C)的混合气体(M)流动，产生气体分析装置(200)还具有：分支路(42)，从混合气体流路分支而向外部开放；惰性气体流路(19f)，在分支路的下游侧与混合气体流路在合流部(45)处合流，供惰性气体(T)流动；调整载气的流量(F1)的第一流量调整机构(18v)；调整惰性气体流路中流动的惰性气体的流量(F4)的第二流量调整机构(19v)；流量控制部(216)，控制第二流量调整机构使得向检测单元引导的混合气体的流量成为规定值。
- 产生气体分析装置方法
- [发明专利]质量分析装置和质量分析方法-CN201810788020.8有效
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佐久田昌博
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日本株式会社日立高新技术科学
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2018-07-18
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2023-02-28
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G01N27/62
- 提供质量分析装置和质量分析方法，能够在视觉上清晰地识别质量分析困难的副成分有无存在。一种质量分析装置(110)，其具有显示部(220)，并且对含有测定物质的试样进行分析，其中，质量分析装置(110)还具有：存储部(215)，其存储针对测定物质的质谱的区域进行计算而求取的理论峰(T)；一致度计算部(217)，其根据区域内的试样的质谱(N)与理论峰各自所具有的多个峰来计算表示一致的程度的一致度；一致度显示控制部(219a)，其使显示部显示一致度；以及重叠显示控制部(219b)，其使显示部以质荷比一致的方式将试样的质谱和理论峰重叠显示。
- 质量分析装置方法
- [发明专利]质量分析装置和质量分析方法-CN201810781274.7有效
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佐久田昌博;大川真;的场吉毅
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日本株式会社日立高新技术科学
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2018-07-17
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2023-02-28
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G01N30/02
- 提供质量分析装置和质量分析方法，能够提高包含杂质等第二物质在内的第一物质的检测精度并且缩短测定时间而不会使装置大型化。质量分析装置(110)对含有第一物质和一种以上的第二物质的试样进行分析，所述第一物质由有机化合物构成，所述第二物质由有机化合物构成并且质谱的峰与第一物质的质谱的峰重叠，该质量分析装置(110)的特征在于，其具有峰校正部(217)，当设各第二物质的标准物质的质谱的峰中的、不与第一物质的质谱的峰重叠的峰A和与第一物质的峰重叠的峰B的强度比(峰B)/(峰A)为校正系数W时，该峰校正部(217)从试样中的第一物质的质谱的峰C的强度减去W×(峰A的强度)来计算第一物质的质谱的净峰D的强度。
- 质量分析装置方法
- [发明专利]色谱的数据处理装置-CN201811094277.X有效
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伊藤正人;成松郁子;奥泽和彦;户岛浩史
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日本株式会社日立高新技术科学
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2018-09-19
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2022-11-15
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G01N30/86
- 提供色谱的数据处理装置，能够考虑由测定条件的变动引起的峰的保持时间的偏差来进行标准试样和测定试样的辨识。该色谱的数据处理装置具有：标准试样时间表(31)；峰数量判定部(21)，其在辨识了标准试样的色谱图时无法辨识一个以上的实测峰的情况下，判定实测峰的数量是否与规定峰数量一致；标准试样时间表变更部(22)，其在肯定判定的情况下，对标准试样时间表进行变更；标准试样辨识部(23)，其利用变更后的标准试样时间表，在具有规定的阈值以上的强度的全部实测峰收敛在变更容许宽度(W2)的范围内的情况下，辨识实测峰；以及测定试样时间表设定部(24)，其在辨识了实测峰的情况下，获取实测峰的实际的保持时间，并且设定测定试样时间表(33)。
- 色谱数据处理装置
- [发明专利]带电粒子束装置-CN201810229218.2有效
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岩堀敏行
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日本株式会社日立高新技术科学
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2018-03-20
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2022-09-20
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H01J37/20
- 本发明的目的在于提供带电粒子束装置，其能够防止起因于人为的错误等而导致试样与电子束镜筒接触。该带电粒子束装置(10)具有试样室(11)、试样载台(31)、向试样S照射电子束的电子束镜筒(13)以及照射会聚离子束的会聚离子束镜筒(14)。带电粒子束装置(10)具有移位部件(45)，该移位部件(45)具有：开闭部，其被设置为能够在电子束镜筒(13)的出射端部和试样载台(31)之间的插入位置与离开插入位置的退出位置之间移位；以及接触部，其设置于在试样载台(31)进行动作时能够比出射端部先与试样(S)接触的接触位置。带电粒子束装置(10)具有使移位部件(45)移位的驱动机构(42)和检测有无试样(S)与接触部的接触的导通传感器(24)。
- 带电粒子束装置
- [发明专利]自动加工装置-CN201880020177.4有效
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酉川翔太
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日本株式会社日立高新技术科学
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2018-03-27
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2022-07-08
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G01N1/28
- 通过对试样照射带电粒子束而从该试样制作试样片的自动加工装置具有：构造信息取得部，其取得表示加工前的试样的构造的构造信息；加工结束位置取得部，其取得指定与试样的构造对应的加工的结束位置的结束位置指定信息；图像取得部，其取得通过对在试样的被照射了带电粒子束的位置处出现的加工面进行拍摄而得到的加工面图像；以及判定部，其根据由构造信息取得部取得的构造信息与由图像取得部取得的加工面图像的比较，判定基于带电粒子束的加工位置是否到达了结束位置。
- 自动加工装置
- [发明专利]探针显微镜以及探针显微镜的光轴调整方法-CN202110687515.3在审
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小野田有吾;繁野雅次;上野利浩
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日本株式会社日立高新技术科学
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2021-06-21
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2022-05-13
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G01N21/01
- 本发明提供一种探针显微镜以及探针显微镜的光轴调整方法。能够缩短光轴调整时间。探针显微镜(1)具有悬臂(3)、第一激光器(11)、照相机(25)、无限远光学系统(PL)、第一转动部(31)以及控制部(35)。无限远光学系统(PL)形成于悬臂(3)与照相机(25)之间，供第一激光(D1)入射。第一转动部(31)使第一激光器(11)转动，使第一激光(D1)相对于无限远光学系统(PL)的第一入射角变化。控制部(35)根据在无限远光学系统(PL)中由所述第一激光(D1)产生的第一幻影光的第一幻影光像的位置，在照相机(25)拍摄的图像中取得第一激光(D1)的第一激光像的位置。控制部(35)驱动移动机构(30)和第一转动部(31)中的至少一方使得第一激光像的位置接近悬臂(3)的规定位置。
- 探针显微镜以及光轴调整方法
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