专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种纵向堆叠的反相器集成电路结构-CN202310686443.X在审
  • 李平;万旭;廖永波;宋健强;牛耀都;袁丕根;徐丰和 - 电子科技大学
  • 2023-06-12 - 2023-08-29 - H01L27/092
  • 一种纵向堆叠的反相器集成电路结构,涉及微电子技术和集成电路领域。本发明提供一种纵向堆叠的反相器集成电路结构,在纵向上依次分别设置有源极区域一、半导体沟道区一、漏极区域一、漏极区域二、半导体沟道区二和源极区域二,同时实现了NMOS和PMOS,NMOS和PMOS均采用沟道区重掺杂和轻掺杂漏区的方式来抑制DIBL效应。器件周围通过刻槽的方式环绕着栅极区域,栅极与半导体区之间设置有栅介质层,NMOS与PMOS共用同一个栅极。NMOS与PMOS的源极和漏极通过引线孔引出。本发明所要解决的关键技术问题是:提供一种纵向堆叠的反相器集成电路结构,其中器件的共栅极连接作为反相器的输入,PMOS的漏极与NMOS的漏极连接作为反相器输出,PMOS源极接高电位,NMOS源极接地。该结构采用纵向堆叠的方式,提高了使用反向器结构的集成电路的集成度。
  • 一种纵向堆叠反相器集成电路结构
  • [发明专利]一种新型围栅VFET理想开关结构-CN202310636823.2在审
  • 廖永波;徐丰和;李平;袁丕根;刘金铭 - 电子科技大学
  • 2023-05-31 - 2023-08-25 - H01L29/423
  • 本发明涉及半导体技术和集成电路技术,尤其涉及一种新型围栅VFET理想开关结构及其工艺实现方式。本发明提出的新型围栅VFET理想开关采用纵向设计,器件四面环栅,且沟道区相对漏漂移区重掺杂的技术方案。本发明所要解决的关键技术问题是:在新结构中引入一种新的机制抑制DIBL效应,减小由短沟道效应引起的阈值电压漂移带来的影响,显著降低导通电阻,增加器件导通电流密度,消除寄生BJT效应。本专利优化了其工艺实现流程,器件沟道长度不再受到光刻精度的限制,沟道长度能够小于12nm,大幅缩小了器件的特征尺寸,降低了单个器件占用面积,提高了集成度,突破了当前摩尔定律的限制。
  • 一种新型vfet理想开关结构
  • [发明专利]一种衬底加固的源区边缘P型重掺杂抗辐照NMOS FinFET结构-CN202310300184.2在审
  • 廖永波;刘仰猛;袁丕根;徐丰和 - 电子科技大学
  • 2023-03-24 - 2023-07-25 - H01L23/552
  • 本发明公开了一种用于NMOSFinFET的抗辐照加固结构,涉及半导体技术和集成电路领域。该抗辐照加固结构为多层结构,最下层是衬底或阱区,该衬底或阱区包括低掺杂的底层和在底层上的较高掺杂的脊状凸起;脊状凸起上表面依次设置有上表面齐平的N型掺杂源极半导体区、沟道半导体区、N型掺杂漏极半导体区,其中源极半导体区的两侧均设置有高浓度P型掺杂条形区域。本发明在传统NMOSFinFET基础上,加入P型重掺杂条形区域和衬底或阱区中的较高掺杂的脊状凸起,抑制了半导体器件在辐照环境中隔离层所俘获的正电荷对晶体管特性的影响,提高晶体管的抗总剂量能力。同时较高掺杂脊状凸起可以减小CMOS电路中寄生双极晶体管的基极电阻,提高晶体管的抗单粒子闭锁能力。
  • 一种衬底加固边缘掺杂辐照nmosfinfet结构

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