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[发明专利]一种射频集成电路及射频前端装置-CN202210263282.9在审
发明人： 彭波华;彭彦豪;胡念楚;贾斌 -专利权人：开元通信技术（厦门）有限公司;麦姆斯通信技术（上海）有限公司
申请日： 2022-03-17 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H03H9/205 文献下载
摘要：本发明公开了一种射频集成电路，包括输入端、输出端、工作模块以及谐振器模块；输入端与工作模块连接，工作模块与谐振器模块连接，谐振器模块与输出端连接；谐振器模块包括至少一个并联式反串并单元，并联式反串并单元包括至少两路并联的支路；任一支路包括至少两个串联的体声波谐振器，相邻支路中相邻设置的体声波谐振器的压电薄膜电极性相反，使得由一个体声波谐振器产生的二次谐波抵消了另一个体声波谐振器的二次谐波发射。另外体声波谐振器的二次谐波发射，由于上述级联的结果，其能量密度也比较小，从而降低非线性的影响，使得射频集成电路具有较高的品质因子。本发明还提供了一种射频前端装置，同样具有上述有益效果。
一种射频集成电路前端装置

[发明专利]固态装配型谐振器及其制备方法-CN202010191951.7有效
发明人：王伟;杨金铭;李平;蒋将;彭波华;胡念楚;贾斌 -专利权人：开元通信技术（厦门）有限公司
申请日： 2020-03-18 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本公开提供了一种固态装配型谐振器及其制备方法，该固态装配型谐振器包括：压电结构，压电结构包括：上电极层、下电极层和压电层，下电极层对应于压电结构的下方设置，下电极层包括：凸部，凸部对应于下电极层的下表面、向下凸出设置；压电层设置于下电极层的上表面上；上电极层设置于压电层的上表面上。凸部对应于形成于下电极层的下表面上，使得与压电层接触的下电极层的上表面可以形成平坦化表面，因此，压电层生长在平整的表面，更易于获得生长纹理较好的高c轴取向的晶体结构，以改善了压电层的压电性能，提升了谐振器的性能(例如Q值的提高)。
固态装配谐振器及其制备方法

[发明专利]一种体声波谐振器、制备方法及滤波器-CN202111312838.0在审
发明人： 彭波华;李平;胡念楚;贾斌 -专利权人：开元通信技术（厦门）有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本发明公开了一种体声波谐振器，包括位于衬底一侧表面的反射功能层；反射功能层设置有空腔以及DBR反射区；DBR反射区中沿厚度方向设置有交替分布的低声阻抗层以及高声阻抗层；位于反射功能层背向衬底一侧表面的底电极；底电极遮蔽空腔；位于底电极背向衬底一侧表面的压电薄膜以及顶电极；沿厚度方向顶电极与底电极重叠未与空腔重叠的区域为无效电容区；DBR反射区与无效电容区之间相互交叠。通过在功能反射层中设置至少与无效电容区交叠的DBR反射区抑制声波能量从无效电容区向反射功能层泄露，可以有效减少衍生模式的产生，从而有效增加体声波谐振器整体的Q值。本发明还提供了一种制备方法以及滤波器，同样具有上述有益效果。
一种声波谐振器制备方法滤波器

[发明专利]一种声波器件制备方法-CN202110749096.1在审
发明人： 彭波华;李平;胡念楚;贾斌 -专利权人：开元通信技术（厦门）有限公司;麦姆斯通信技术（上海）有限公司;麦姆斯通信技术（深圳）有限公司
申请日： 2021-07-01 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： H03H3/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种声波器件制备方法，包括通过生长工艺制备包括衬底的第一键合层；将包括压电层的第二键合层与第一键合层相互键合；在将第一键合层与第二键合层相互键合之后，剥离第二键合层直至与第一键合层键合的压电层厚度达到预设厚度；在预设厚度的压电层表面设置叉指电极，以制成声波器件。通过层转移技术直接将完整的压电层与衬底相互键合，可以避免直接生长例如LiNbO3和LiTaO3等成分复杂的压电层时导致的压电层品质因子较低的问题。同时层转移技术不会对压电层的晶向进行限制，从而便于声波器件在设计时进行多种切角设计考虑，从而最大程度发挥压电层性能。
一种声波器件制备方法

[实用新型]声波器件结构和电子设备-CN202221692234.3有效
发明人： 彭波华;胡念楚;贾斌 -专利权人：开元通信技术（厦门）有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种声波器件结构和电子设备。该声波器件结构包括衬底、压电结构、第一电极层和第二电极层。压电结构垂直于衬底表面并设置于衬底上，第一电极层第一电极层的引出部分设置于第一衬底表面上；以及第二电极层第二电极层的引出部分设置于第二衬底表面上或第一衬底表面上；其中，第一电极层的叉指部分和第二电极层的叉指部分相对于第一压电表面和/或第二压电表面相互匹配形成叉指效果。因此，通过第一电极层和第二电极层相对于压电结构的叉指效果，能够实现该声波器件结构的器件频率大范围可调，同时显著提高该器件结构的有效耦合系数，可在显著提升器件性能的基础上，进一步实现对该器件结构的尺寸小型化。
声波器件结构电子设备

[发明专利]一种声波器件、滤波装置及声波器件的制备方法-CN202110747555.2在审
发明人： 彭波华;胡念楚;贾斌 -专利权人：开元通信技术（厦门）有限公司;麦姆斯通信技术（上海）有限公司;麦姆斯通信技术（深圳）有限公司
申请日： 2021-07-01 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种声波器件，包括相对设置的衬底和压电层；位于压电层朝向衬底一侧表面的介质层；介质层为低声阻抗层，介质层的厚度不小于介质层内传播声波的半波长；介质层具有正温度系数；位于压电层背向衬底一侧表面的叉指电极。在压电层朝向衬底一侧设置厚度不小于介质层内传播声波半波长的介质层，并且使得该介质层具有正温度系数，使得该介质层可以有效提升声波器件的频率温度系数。同时由于该介质层与压电层相比为低声阻抗材料，可以有效抑制纵向方向的声波能量泄漏。本发明还提供了一种滤波装置以及一种声波器件的制备方法，同样具有上述有益效果。
一种声波器件滤波装置制备方法

[发明专利]一种声波器件、滤波装置及声波器件的制备方法-CN202110747565.6在审
发明人： 彭波华;胡念楚;贾斌 -专利权人：开元通信技术（厦门）有限公司;麦姆斯通信技术（上海）有限公司;麦姆斯通信技术（深圳）有限公司
申请日： 2021-07-01 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种声波器件，包括衬底；位于衬底一侧的压电层；位于压电层背向衬底一侧表面的叉指电极；叉指电极包括相对设置的两条母线，两条母线之间设置有至少两条指状电极，指状电极与对应的一母线相接触，与另一母线之间具有间隙，间隙形成沿母线延长线的方向延伸的间隙区域；压电层背向衬底一侧表面位于间隙区域中，未被叉指电极覆盖的区域设置有凹槽。凹槽可以减少间隙区域的压电层，使得声波能量在横向传播到叉指电极末端时，仅有少量压电材料或无压电材料继续传递，此时声波能量会被反射回有效的中间区域，从而减少横向寄生模式的能量泄漏。本发明还提供了一种滤波装置以及一种声波器件的制备方法，同样具有上述有益效果。
一种声波器件滤波装置制备方法

[发明专利]一种声波器件、滤波装置以及声波器件的制备方法-CN202110749085.3在审
发明人： 彭波华;胡念楚;贾斌 -专利权人：开元通信技术（厦门）有限公司;麦姆斯通信技术（上海）有限公司;麦姆斯通信技术（深圳）有限公司
申请日： 2021-07-01 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种声波器件，包括衬底；位于衬底一侧的压电层；位于压电层背向衬底一侧表面的叉指电极；叉指电极包括两条母线以及位于两条母线之间的指状电极；指状电极交替连接两母线，相邻指状电极相互隔离；任一指状电极均包括多段指状子电极，相邻指状子电极的朝向不同。由于相邻指状子电极的朝向不同，使得声波会向多个方向传播，且各向同性。因为传播方向并不单一，不易产生横向模式，因此也能有效抑制声波器件结构的横向寄生模式。同时器件多样的形状，增加了设计度，有利于减小器件最终的尺寸，降低成本。本发明还提供了一种滤波装置以及一种声波器件的制备方法，同样具有上述有益效果。
一种声波器件滤波装置以及制备方法

[发明专利]声表面波器件及声表面波滤波器-CN202210924225.0在审
发明人： 彭波华;胡念楚;贾斌 -专利权人：开元通信技术（厦门）有限公司
申请日： 2022-08-02 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本公开提供了一种声表面波器件及声表面波滤波器。该声表面波器件包括：压电衬底；叉指电极结构，被配置为设置在压电衬底的表面；以及温度补偿层，被配置为覆盖叉指电极结构和压电衬底的表面；其中，叉指电极结构被配置为自压电衬底向上依次包括第一电极层和第二电极层，第一电极层和第二电极层之间被配置为具有中空区域。
表面波器件滤波器

[发明专利]声表面波器件及声表面波滤波器-CN202210920470.4在审
发明人： 彭波华;胡念楚;贾斌 -专利权人：开元通信技术（厦门）有限公司
申请日： 2022-08-02 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本公开提供了一种声表面波器件及声表面波滤波器。该声表面波器件包括：压电衬底；以及叉指换能器，被配置为设置在压电衬底的表面；其中，叉指换能器包括平行设置的两条母线，每条母线被配置为通过条状栅结构连接一条子母线，子母线被配置为连接有间隔设置的多个第一电极和多个第二电极，其中一条子母线的第一电极被配置为沿电极延伸方向与另一条子母线的第二电极相对设置，第一电极和第二电极相对设置的一端均被配置为具有预设端部结构，其中，第一电极在电极延伸方向的长度大于第二电极在电极延伸方向的长度。
表面波器件滤波器

[发明专利]具有温度补偿特性的声波器件结构、滤波器和电子设备-CN202210776171.8在审
发明人： 彭波华;胡念楚;贾斌 -专利权人：开元通信技术（厦门）有限公司
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本公开提供了一种具有温度补偿特性的声波器件结构、滤波器和电子设备。其中，该声波器件结构包括压电层、温度补偿层以及谐振电极层。温度补偿层对应于所述压电层的至少一表面设置，用于为所述压电层提供温度补偿效果；其中，所述谐振电极层包括填充位，填充位暴露所述压电层的表面，用于填充或注入平坦化材料形成与所述谐振电极层的一表面持平的平坦化层。通过上述与谐振电极层的表面持平的平坦化层，使得该声波器件结构能够有效减少因工艺缺陷导致的温度补偿层界面的缺陷问题，同时可以通过该平坦化层将谐振频率附近的寄生杂波模式远离主谐振峰，提高该器件的整体有效耦合系数，降低温度补偿层影响频率的灵敏度。
具有温度补偿特性声波器件结构滤波器电子设备

[发明专利]一种射频功率放大器及电子设备-CN202110176191.7在审
发明人：刘苗;彭波华;胡念楚;贾斌 -专利权人：开元通信技术（厦门）有限公司;麦姆斯通信技术（上海）有限公司
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： H03F3/19 文献下载
摘要：本申请公开了一种射频功率放大器，包括：晶体管和由下至上依次层叠的多层基板，相邻两层所述基板之间分布有通孔，所述晶体管位于除最顶层所述基板之外的任意相邻两层所述基板之间，且所述晶体管的衬底厚度小于等于所述晶体管所在的相邻两层所述基板之间的距离。本申请中，晶体管位于除去最顶层之外的其他任意相邻两层基板之间，并且晶体管的衬底厚度小于等于该相邻两层基板间的间距，因此，晶体管上的发射极到地的电长度减小，所以接地电感减小，并且，由于晶体管不位于最顶层，散热通路变短，所以散热通路热阻减小，散热效果提升，射频功率放大器的性能增强。此外，本申请还提供一种具有上述优点的电子设备。
一种射频功率放大器电子设备

[发明专利]声表面波器件及其制作方法-CN201810851088.6有效
发明人： 彭波华;李平;胡念楚;贾斌 -专利权人：开元通信技术（厦门）有限公司
申请日： 2018-07-27 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本公开提供了一种声表面波器件及其制作方法；其中，该声表面波器件，包括：一压电衬底，具有多个不同的欧拉切角；以及一个或多个叉指换能器(IDT)，形成于所述压电衬底的表面，用于激发在所述压电衬底上形成的表面声波。本公开在同一片衬底上形成多个不同欧拉切角，从而满足不同频段、不同带宽的滤波器的需求，有效降低了成本。
表面波器件及其制作方法

[发明专利]一种声波器件及滤波设备-CN202011231055.5在审
发明人： 彭波华;胡念楚;贾斌 -专利权人：开元通信技术（厦门）有限公司;麦姆斯通信技术（上海）有限公司
申请日： 2020-11-06 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请公开了一种声波器件，包括由下至上依次层叠的衬底、下电极层、压电层、上电极层，其中，所述衬底对应所述上电极层的区域分布有空气腔；所述上电极层的引出部形成有第一空气桥，所述上电极层的边缘和内部形成有第一悬臂梁，且位于内部的所述第一悬臂梁设置有贯穿厚度的通孔；或者所述空气腔的数量为多个；或者所述上电极层具有沿水平方向分布的凹部。本申请中的声波器件可以有效减少体声波器件在大功率下的温度升高和温度梯度变化，提升器件的功率容量。此外，本申请还提供一种具有上述优点的滤波设备。
一种声波器件滤波设备

[发明专利]一种声表面波器件及其制备方法-CN201810757942.2有效
发明人： 彭波华;胡念楚;贾斌 -专利权人：开元通信技术（厦门）有限公司
申请日： 2018-07-11 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： H03H9/64 文献下载
摘要：本发明公开了一种声表面波器件，将叉指换能器母线之间划分为间隙区域、边缘区域以及中间区域，从任一母线指向两条母线之间的方向依次为间隙区域、边缘区域以及中间区域。通过在压电基板与电极之间设置被电极覆盖的山丘层可以使得间隙区域的声波速度大于中间区域的声波速度，并且中间区域的声波速度大于边缘区域的声波速度。通过上述设置可以使得叉指换能器之间传播的波形过滤为活塞波形，从而将非活塞波形的其余波形过滤，进而有效减少声表面波器件的寄生模式，使得声表面波器件具有较高的品质因子。本发明还提供了一种声表面波器件的制备方法，通过该方法做制备的声表面波器件同样具有上述有益效果。
一种表面波器件及其制备方法

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