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[发明专利]一种高纯铝靶材的制备方法-CN202110935619.1有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;章丽娜 -专利权人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种高纯铝靶材的制备方法，所述制备方法包括对坯料依次进行第一锻伸处理、第一热处理、第二锻伸处理、第二热处理、压延处理、第三热处理、喷砂处理以及镀镍处理。所述制备方法解决了铝靶材在内部组织以及焊接面表面结构对焊接效果的不良影响，提高了高纯铝靶材与背板的焊接结合率。
一种高纯铝靶材制备方法

[发明专利]一种环件连接部的翻新方法-CN202010139670.7有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;李小萍 -专利权人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-03-03 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种环件连接部的翻新方法，所述翻新方法包括如下步骤：(1)环件机加工过程中去除异常连接部，得到焊接面；(2)测量步骤(1)所得焊接面的直径，然后根据所测数据选择连接部；(3)将步骤(2)所选连接部焊接至焊接面，完成对环件连接部的翻新。本发明通过严格控制加工公差，并选择合适的连接部，完成了对环件连接部的翻新，从而实现了连接部存在缺陷的环件的再利用，提高了环件的使用寿命，提高了企业的经济效益。
一种连接翻新方法

[发明专利]一种铬铝旋转管靶的制备方法-CN202211260943.9在审
发明人：姚力军;潘杰;吴东青;黄洁文 -专利权人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： B22F3/15 文献下载
摘要：本发明提供了一种铬铝旋转管靶的制备方法，所述制备方法包括以下步骤：(1)以两根内径不同的铝管作为内外包套，所述内外包套同轴放置并形成缝隙，经盖板对所述缝隙的一端进行密封，混合均匀的铬粉和铝粉装入一端密封的缝隙，用带孔盖板对所述缝隙另一端进行密封，得到靶材包套；(2)对所述靶材包套进行脱气，然后进行热等静压，得到成型靶材，去除所述成型靶材外部的盖板、带孔盖板和包套，得到铬铝旋转靶坯；(3)不锈钢管同轴放置于所述铬铝旋转靶坯内部，进行铟焊，得到所述铬铝旋转管靶；所述制备方法利用铝管作为热等静压包套，并用不锈钢管作为背管，成本降低的同时保证了管靶的均匀度和强度。
一种旋转制备方法

[发明专利]一种防止反溅射物脱落的钛靶材及其加工方法-CN202211260934.X在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;苏阳能 -专利权人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-10-14 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及了一种防止反溅射物脱落的钛靶材及其加工方法，所述钛靶材包括依次连接的溅射面、侧面以及喷砂凹槽；所述喷砂凹槽包括第一凹槽和第二凹槽；所述第一凹槽通过第二倒角与侧面相连；所述第一凹槽的内侧角为60‑70°。本发明通过将第一凹槽通过第二倒角与侧面相连，且将第一凹槽向内加宽，增加反溅射物的堆积空间，从而减慢反溅射物厚度的增长，防止反溅射物的脱落，减少Praticle的发生概率。
一种防止溅射脱落钛靶材及其加工方法

[发明专利]一种钨铜热沉材料及其制备方法与应用-CN202211184771.1在审
发明人：姚力军;潘杰;周友平;黄洁文;吴东青 -专利权人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： B22F3/15 文献下载
摘要：本发明涉及一种钨铜热沉材料及其制备方法与应用，所述钨铜热沉材料的制备方法包括如下步骤：(1)对钨粉进行球磨处理，得到球磨钨粉；(2)混合铜粉以及步骤(1)所得球磨钨粉，得到钨铜混粉；(3)步骤(2)所得钨铜混粉依次经包套处理、脱气处理、热等静压处理以及机加工，得到所述钨铜热沉材料。本发明通过将钨粉原料高能球磨获得球状粉末，采用热等静压处理工艺与脱气处理工艺相结合，搭配合理的工艺参数，制得的钨铜热沉材料具有较高的致密度与内部组织均匀性，能够满足作为功率器件封装材料的要求。
一种钨铜热沉材料及其制备方法应用

[发明专利]一种钒铬铌合金的溶解方法-CN202211395881.2在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;许锦霓 -专利权人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-11-08 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： B01F21/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种钒铬铌合金的溶解方法，所述溶解方法包括：将钒铬铌合金和混酸混合进行第一溶解，之后加入硝酸进行第二溶解，得到含钒铬铌的溶解液。本发明提供的溶解方法，通过采用特定的溶解过程，首先将钒铬铌合金和混酸进行预溶解，然后加入特定的硝酸进行助熔，最终所得溶液为澄清溶液，不含有未溶解的固相，实现了钒铬铌合金的高效溶解。
一种钒铬铌合金溶解方法

[发明专利]一种超高纯Cu或超高纯Cu合金靶材的电解抛光工艺-CN202010688599.8有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;王少平 -专利权人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-07-16 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： C25F3/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种超高纯Cu或超高纯Cu合金靶材的电解抛光工艺。本发明的超高纯Cu或超高纯Cu合金靶材的电解抛光工艺，包括如下步骤：1)对超高纯Cu或超高纯Cu合金靶材待分析面进行研磨；2)对经步骤1)研磨后的待分析面采用电解抛光液进行电解抛光。本发明的超高纯Cu或超高纯Cu合金靶材的电解抛光工艺，适用于芯片用超高纯Cu及Cu合金靶材的晶粒尺寸、晶向、织构等晶体学分析，特别适用于细晶、超细晶超高纯Cu或超高纯Cu合金靶材，用于指导超高纯Cu或超高纯Cu合金靶材的工艺开发。
一种高纯 cu 合金电解抛光工艺

[发明专利]一种CuP电镀阳极材料的表面处理方法-CN202010937077.7有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;慕二龙;王焱斌 -专利权人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-09-08 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： C25D17/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种CuP电镀阳极材料的表面处理方法，所述表面处理方法包括如下步骤：(1)将CuP电镀阳极材料采用混合酸进行处理，之后进行水洗；(2)水洗完成后依次进行磁力研磨和清洗，之后进行干燥。本发明提供的表面处理方法，通过利用表面处理和磁力研磨间的耦合作用，改善了CuP电镀阳极材料的质量，同时也提高电镀时的稳定性以及膜的性能。
一种 cup 电镀阳极材料表面处理方法

[实用新型]一种带有斜角台阶型背管的旋转靶材-CN202222755649.7有效
发明人：姚力军;潘杰;周友平;黄洁文;吴东青 -专利权人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种带有斜角台阶型背管的旋转靶材，将台阶型背管的直角台阶调整为斜角台阶，所述斜角台阶的斜面以远离所述背管的中心的方向由内向外倾斜，且所述斜角台阶的斜面相对于所述背管的径向截面的夹角为60‑75度，有效缓解了HIP烧结过程中背管外表面的台阶结构对于靶管两端的挤压作用，使得制备得到的靶管外观良好无裂纹，尤其是对应背管外表面的台阶结构处不再产生开裂，大大提高了旋转靶材的成品率。
一种带有斜角台阶型背管旋转

[实用新型]一种圆形靶材孔位检具-CN202221556266.0有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;陈文庆 -专利权人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G01B5/252 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种圆形靶材孔位检具，所述圆形靶材孔位检具包括分别独立设置的检具主体以及固定件；所述检具主体包括主环，所述主环包括主环刚性部，还包括沿轴向设置于所述主环刚性部的一侧或双侧的主环缓冲部；所述主环的环面上设置有与待测圆形靶材的安装孔对应的贯通孔；所述固定件的数量大于等于所述贯通孔的数量。所述主环缓冲部与待测圆形靶材直接接触，可以避免待测圆形靶材在检测中的损伤，通过所述固定件与所述贯通孔及所述安装孔的配合进行检测，可以实现孔尺寸、孔位置、孔的圆心所在圆及靶材溅射面的同心度的快速高效检测。
一种圆形靶材孔位检具

[实用新型]一种抛光垫硬度检测机-CN202222078150.7有效
发明人：相红旗;施建国;姚力军 -专利权人：宁波赢伟泰科新材料有限公司;宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-08-05 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G01N3/42 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种抛光垫硬度检测机，包括设备外壳，设备外壳的内部固定连接有电机，电机与固定器相连接，固定器通过设备外壳开设的开槽伸出于设备外壳的外部，固定器的伸出末端连接有可更换的硬度计，硬度计的下端固定连接有硬度计压针，硬度计处于检测平台的上端，通过电机带动硬度计压针对检测平台上的抛光垫施加压力。该装置可以提高硬度计检测抛光垫硬度的稳定性，同时可以避免不同人员检测之间的因手法或压力不同产生的偏差，可以提高抛光垫硬度检测的效率且有效提高抛光垫硬度检测的效率与稳定性。
一种抛光硬度检测

[实用新型]一种抛光垫沟槽尺寸检测仪-CN202222078176.1有效
发明人：相红旗;施建国;姚力军 -专利权人：宁波赢伟泰科新材料有限公司;宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-08-05 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种抛光垫沟槽尺寸检测仪，包括包括平行设置的两个支架一，支架一的相对面设置有滑轨一，X向滑块滑动连接在滑轨一上，且X向滑块之间连接有支架二，支架二的下端设置有滑轨二，滑轨二的下端沿其长度方向设置有滑轨二，滑轨二下端滑动连接有Y向滑块，Y向滑块的下方固定连接有非接触式测量器具，通过X向滑块在滑轨一上的移动以及Y向滑块在滑轨二上的移动，带动非接触式测量器具对下方抛光垫进行尺寸检测。该装置通过X向滑块与Y向滑块在滑轨上移动，使红外光线测量仪能够前后左右的移动，通过控制红外光线测量仪，可以精准检测抛光垫不同区域的沟槽尺寸，相较于人工检测，检测效率更高，且更加的精准。
一种抛光沟槽尺寸检测

[发明专利]一种铝硅合金靶坯的制备方法-CN202011599465.5有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李岢 -专利权人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： B22F3/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种铝硅合金靶坯的制备方法，所述制备方法包括：将铝硅合金粉末放入模具中进行烧结；所述烧结包括依次进行的第一升温、第一保温、第二升温、第二保温、第三升温、第三保温、第四升温、第四保温、第五升温、第五保温和保温保压；所述第一保温的温度为100‑120℃；所述第二保温的温度为200‑230℃；所述第三保温的温度为300‑320℃；所述第四保温的温度为380‑410℃；所述第五保温的温度为450‑470℃。本发明提供的制备方法，通过采用特定的烧结工艺，利用升温和保温的交替处理，可制备得到致密度≥98％，无缺陷且微观结构均匀的靶坯，生产的铝硅靶材有优异的溅射使用性能。
一种合金制备方法

[发明专利]一种铝旋转靶的热等静压扩散焊接的方法-CN202111415498.4有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;宋阳阳;吴东青 -专利权人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种铝旋转靶的热等静压扩散焊接的方法，所述方法包括以下步骤：(1)不锈钢管表面加工出螺纹，高纯铝管与不锈钢管和低碳钢管进行装配得到套管，所述套管由内到外依次为不锈钢管、高纯铝管和低碳钢管，不锈钢管、高纯铝管和低碳钢管之间分别预留缝隙；(2)所述套管经不锈钢圆环焊接对两端进行密封；(3)所述焊接密封后的套管进行脱气；(4)所述脱气后的套管进行热等静压处理，得到焊接结合的铝旋转靶与不锈钢管；所述方法通过加工螺纹、脱气以及热等静压扩散工艺得到了无明显焊缝且结合力佳的铝旋转靶。
一种旋转静压扩散焊接方法

[发明专利]一种铬靶材组件的焊接方法-CN202111031200.X有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;俞佳烨 -专利权人： 宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-09-03 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： B23K20/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种铬靶材组件的焊接方法，所述焊接方法包括：在背板的焊接面依次进行设置铝镍层和设置螺纹，之后将背板和铬靶材进行热等静压焊接；所述铝镍层中铝元素和镍元素的摩尔比为1:(0.3‑0.5)；所述铝镍层的厚度为所述螺纹深度的15‑30％。本发明提供的技术方案，通过对现有技术中设置镀层的组成和厚度的特定设计同时与现有技术区别的采用先设置金属层后进行车削螺纹的方式，解决了焊接后铬靶材组件中背板变形的问题，焊接得到的铬靶材组件中背板形状良好，未出现任何变形，可以完全发挥铬靶材的使用性能。
一种铬靶材组件焊接方法