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[发明专利]差分阳极化喷头-CN202080105262.8在审
发明人：郝付泼;陈伟绩;孙月峰;杨正伟;孙士尧;朴钲義;吴桑贞;曹益荣;尚泽伦;余跃;田益西 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-09-16 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本文公开的多个实施方式一般涉及一种具有部分地阳极化的气体分配喷头的设备，所述部分地阳极化的气体分配喷头包括主体，所述主体具有从上游侧延伸到下游侧的多个气体通路，所述上游侧和所述下游侧中的每一者具有不同的孔隙率，其中所述多个气体通路中的每一者包括形成在所述主体的中心的孔口孔，并且其中所述下游侧和所述多个气体通路中的每一者的一部分包括设置在所述下游侧和所述多个气体通路中的每一者的一部分上的阳极化层。
阳极喷头

[发明专利]一种长距离接收光器件及应用方法-CN202310756979.4在审
发明人： 孙月峰;唐晓辉;董珂 -专利权人：四川华岭光子科技有限公司
申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种长距离接收光器件及应用方法，包括在空间上与外部光进行配合的半导体光放大器SOA，对接收到的外部光进行合波和/或分波的光学元件Z‑block，在所述SOA的前、后端分别设置有对光进行整形的透镜Ⅰ、透镜Ⅱ；其中，在SOA与Z‑block的传输光路一侧设置有对SOA放大后光大小进行检测的光电二级管MPD，所述MPD被配置为与对应的控制模块连接。本发明提供一种长距离接收光器件及应用方法，通过在接收光路上设置与控制模块连接的MPD，通过MPD对经过SOA后的光进行检测，以确定经过SOA放大后的功率，通过控制模块的换算能明确知道SOA的放大倍率，从而能快速准确判断是否耦合到最佳点，提升耦合效率。
一种长距离接收器件应用方法

[实用新型]一种体积可控的多通道发射和接收光器件-CN202321072592.9有效
发明人： 孙月峰;唐晓辉;董轲 -专利权人：四川华岭光子科技有限公司
申请日： 2023-05-06 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种体积可控的多通道发射和接收光器件，包括Z‑blockⅠ、Z‑blockⅡ，以及与Z‑blockⅠ相配合的FAⅠ或毛细管Ⅰ，与Z‑blockⅡ相配合的FAⅡ或毛细管Ⅱ，所述FAⅠ或毛细管Ⅰ、所述FAⅡ或毛细管Ⅱ通过集成件进行一体化设置；其中，所述FAⅡ或毛细管Ⅱ在空间上被配置为与Z‑blockⅡ对准；在FAⅠ或毛细管Ⅰ与Z‑blockⅠ之间设置有相配合的转折棱镜Ⅰ。本实用新型提供一种体积可控的多通道发射和接收光器件，通过集成件把发射端和接收端的FA或毛细管合并在一起，不仅节省了成本，而且可以有效地控制空间占用率，利于设备的小型化。
一种体积可控通道发射接收器件

[发明专利]一种体积可控的多通道发射和接收光器件-CN202310505347.0在审
发明人： 孙月峰;唐晓辉;董轲 -专利权人：四川华岭光子科技有限公司
申请日： 2023-05-06 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种体积可控的多通道发射和接收光器件，包括Z‑blockⅠ、Z‑blockⅡ，以及与Z‑blockⅠ相配合的FAⅠ或毛细管Ⅰ，与Z‑blockⅡ相配合的FAⅡ或毛细管Ⅱ，所述FAⅠ或毛细管Ⅰ、所述FAⅡ或毛细管Ⅱ通过集成件进行一体化设置；其中，所述FAⅡ或毛细管Ⅱ在空间上被配置为与Z‑blockⅡ对准；在FAⅠ或毛细管Ⅰ与Z‑blockⅠ之间设置有相配合的转折棱镜Ⅰ。本发明提供一种体积可控的多通道发射和接收光器件，通过集成件把发射端和接收端的FA或毛细管合并在一起，不仅节省了成本，而且可以有效地控制空间占用率，利于设备的小型化。
一种体积可控通道发射接收器件

[发明专利]一种多通道波分复用光学组件及光模块-CN202110926156.2在审
发明人： 孙月峰;唐晓辉 -专利权人：索尔思光电（成都）有限公司
申请日： 2021-08-12 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： G02B6/293 文献下载
摘要：本发明涉及一种多通道波分复用光学组件及光模块，包括至少两组激光模组、波分复用模组、光纤耦合模组和光纤，波分复用模组包括至少两层波分复用模块，靠近波分复用模组的激光模组所发出的光射入最下层的波分复用模块；沿远离波分复用模组的方向，其余各激光模组的一侧分别设置有光路转换模组，且各激光模组所发出的光分别经由所对应的光路转换模组，沿从下到上的方向分别射入各层波分复用模块；从各波分复用模块射出的光分别经由光纤耦合模组进入光纤；本光学组件不仅使得整体结构更加紧凑、占用空间更小、便于集成，有利于光模块的小型化，而且各通道之间的光程差小，有利于保证耦合效率，尤其适用于多通道、多接口的光模块。
一种通道波分复用光组件模块

[发明专利]多通道，并行传输光模块，及其制造和使用方法-CN201580000105.X有效
发明人：唐晓辉;王强;孙月峰;吴葵;许远忠 -专利权人：索尔思光电（成都）有限公司
申请日： 2015-01-27 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： G02B6/43 文献下载
摘要：本发明公开了一种高速光模块，尤其是光通信领域中多通道，单模，并行传输光模块。所述光模块包括底座，第一发射光学子器件（TOSA），第二发射光学子器件（TOSA），第三发射光学子器件（TOSA），第四发射光学子器件（TOSA）和MT光纤连接器。所述TOSA可以是10G DFB芯片或FP芯片的TO‑38 TOSA。利用单模通信，光模块可实现超过10公里的传输距离。此外，为了使单模光纤耦合更简单，本发明采用十二芯MT光纤连接器，其中四个光纤连接器分别与对应的LC标准光纤插芯和TOSA输出连接。因此，所述光模块还实现了高速且长距离传输，大容量，小体积，和轻量化，并能广泛应用于高速光通信。
光模块发射光光纤连接器并行传输多通道单模芯片长距离传输高速光模块高速光通信光通信领域标准光纤传输距离单模光纤输出连接耦合大容量轻量化插芯底座通信应用制造

[实用新型]应用于激光器芯片的加热结构和光模块-CN201720061955.7有效
发明人：田永猛;林皇伸;彭奇;孙月峰 -专利权人：索尔思光电（成都）有限公司
申请日： 2017-01-19 - 公布日： 2017-08-15 - 主分类号： H01S3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及光通信技术领域，特别涉及一种应用于激光器芯片的加热结构和光模块。该应用于激光器芯片的加热结构，在管帽上连接有加热器，用于对激光器芯片加热。该光模块包括本实用新型中应用于激光器芯片的加热结构。本实用新型提供的应用于激光器芯片的加热结构和光模块，设置有加热器，通过加热器对激光器芯片加热，扩展了激光器芯片在更低温度环境下正常工作，从而使得光模块的应用范围可以扩展到工业级温度范围(‑40℃～85℃)使用。不仅可以更好的支持成本要求苛刻的数据中心(Data‑Center)，还可以更好的支持CPRI协议的5G的无线(Wireless)应用。
应用于激光器芯片加热结构模块

[发明专利]减小光学腔内光信号串扰的方法及使用该方法的光模块-CN201410671598.7在审
发明人：唐晓辉;孙月峰;王强;吴葵;许远忠 -专利权人：索尔思光电（成都）有限公司
申请日： 2014-11-21 - 公布日： 2015-02-18 - 主分类号： H04B10/40 文献下载
摘要：本发明涉及通信领域，特别涉及光信号传输领域，具体指减小光学腔内光信号串扰的方法及使用该方法的光模块，本发明采用在光学腔体内壁喷砂，减低光学腔体内壁的镜面反射作用，降低光信号之间的相互串扰，使得光学腔面的有害反射面的表面变得粗糙化和雾化，以漫反射的方式将照到光学腔壁有序光变为无序光，降低了对光线的镜面反射，降低光信号回到主光路的能量，从而降低了多光束之间的相互串扰，提高光信号的传输质量，本发明方法适用于所有单腔内多光束的结构；提高了光模块生产的良品率，降低了生产成本，应用范围广泛。
减小光学腔内光信号方法使用模块

[发明专利]一种三氧化二铝薄膜的原子层沉积制备方法-CN201310450417.3有效
发明人：李春雷;赵星梅;兰云峰;孙月峰 -专利权人：北京七星华创电子股份有限公司
申请日： 2013-09-25 - 公布日： 2014-01-22 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明属于半导体部件领域，提供一种三氧化二铝薄膜的原子层沉积制备方法，包括步骤：1）在原子层沉积反应腔室中装载硅衬底，将所述反应腔室抽真空；2）以三甲基铝为铝源、H2O为氧源，进行原子层沉积；3）以三甲基铝为铝源、O3为氧源，进行原子层沉积。本发明针对Al2O3/SiNx叠层薄膜烧结后出现气泡的问题，提出H2O和O3相结合的Al2O3双原子层沉积工艺，以TMA和O3为反应源制备Al2O3薄膜比H2O基Al2O3相对疏松，有效避免H2聚集；利用原子层沉积技术，精确控制Al2O3双原子层厚度，制备得到的有Al2O3钝化膜的晶硅具有良好的光电转换效率、而且没有氢气泡。
一种氧化薄膜原子沉积制备方法

[实用新型]一种等离子体增强型化学气相沉积真空设备-CN201220009302.1有效
发明人：张维佳;刘嘉;马强;孙月峰;张冷;吴然嵩 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2012-01-10 - 公布日： 2012-11-21 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：一种等离子体增强型化学气相沉积真空设备，它是一种形状、构造相同的连续性结构，该结构是由左法兰、主真空腔室、隔离板、高真空密封阀门装置、副真空腔室、右法兰、大密封板从左到右依序排列而组成，左法兰和主真空腔室之间采用氩弧焊连接；主真空腔室和隔离板之间采用氩弧焊连接；隔离板和副真空腔室之间采用氩弧焊连接；隔离板和高真空密封阀门装置之间采用氟胶圈密封；副真空腔室和右法兰之间采用氩弧焊连接；高真空密封阀门装置和右法兰之间采用氟胶圈密封；右法兰和大密封板之间采用氟胶圈密封连接；重复按此顺序连接，就实现多真空腔室连接，从而展开无污染的多层膜制备。本实用新型在真空镀膜设备实时监控技术领域里有广阔地应用前景。
一种等离子体增强化学沉积真空设备

[发明专利]一种纳米硅薄膜太阳能电池椭园偏振光实时监控制备方法-CN201210006271.9无效
发明人：张维佳;刘嘉;马强;孙月峰;张冷;吴然嵩 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2012-01-10 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种纳米硅薄膜太阳能电池椭园偏振光实时监控制备方法，它有五大步骤：一、采用湿化学法对单晶硅片进行各向异性腐蚀，获得金字塔状的绒面硅片衬底；二、采用热蒸发方法或磁控溅射方法制备纳米硅薄膜太阳能电池的背电极；三：采用等离子体增强化学气相沉积法，通入硅烷SiH4制备I层纳米硅薄膜，通入硅烷SiH4和磷烷PH3混合气体制备N层纳米硅薄膜，通入硅烷SiH4和硼烷B2H5混合气体制备P层纳米硅薄膜；四、在步骤三沉积纳米硅薄膜过程中，采用椭园偏振光实时监控薄膜的生长；五、采用热蒸发方法或磁控溅射方法或丝网印刷技术制备纳米硅薄膜太阳能电池的透明导电膜电极和上电极。它在光电应用和新能源技术领域里具有良好的应用前景。
一种纳米薄膜太阳能电池偏振光实时监控制备方法

[发明专利]一种等离子体增强型化学气相沉积真空设备-CN201210006459.3有效
发明人：张维佳;刘嘉;马强;孙月峰;张冷;吴然嵩 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2012-01-10 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：一种等离子体增强型化学气相沉积真空设备，它是一种形状、构造相同的连续性结构，该结构是由左法兰、主真空腔室、隔离板、高真空密封阀门装置、副真空腔室、右法兰、大密封板从左到右依序排列而组成，左法兰和主真空腔室之间采用氩弧焊连接；主真空腔室和隔离板之间采用氩弧焊连接；隔离板和副真空腔室之间采用氩弧焊连接；隔离板和高真空密封阀门装置之间采用氟胶圈密封；副真空腔室和右法兰之间采用氩弧焊连接；高真空密封阀门装置和右法兰之间采用氟胶圈密封；右法兰和大密封板之间采用氟胶圈密封连接；重复按此顺序连接，就实现多真空腔室连接，从而展开无污染的多层膜制备。本发明在真空镀膜设备实时监控技术领域里有广阔地应用前景。
一种等离子体增强化学沉积真空设备

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