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[实用新型]光学编码器-CN202320444697.6有效
发明人： 吴尚颖;王景承;王宏洲;吕杰锽;陈建达 -专利权人：台达电子工业股份有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G01D5/347 文献下载
摘要：一种光学编码器包括：码盘单元具有增量图纹区域、第一参考图纹区域及第二参考图纹区域，第一参考图纹区域沿第一方向及第二参考图纹区域沿第二方向排列；光学感测单元具有第一收光元件及第一发光元件，第一收光元件具有对向设置的第一增量收光区及第一参考收光区，第一发光元件位于第一增量收光区与第一参考收光区之间，第一增量收光区的长轴方向沿第一方向延伸。当第一发光元件照射第一参考图纹区域，则第一参考收光区可产生第一参考位置信号。依同原则，第二收光元件及第二发光元件排列沿第二方向配置。
光学编码器

[发明专利]光刻曝光工艺的方法-CN201811381911.8有效
发明人： 吴尚颖;简上杰;刘柏村;陈立锐;郑博中 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻曝光工艺的方法。此方法包括以激光光束激化目标液滴，以产生极紫外线(EUV)光。此方法还包括以聚光器反射极紫外线光。此方法亦包括经由安置在聚光器旁的气体分配器排放清洁气体至聚光器上。在清洁气体离开气体分配器之前，一部分的清洁气体被转化为自由基，且自由基与清洁气体一起被排放至聚光器上。
光刻曝光工艺方法

[实用新型]一种新型防脱落装置及包含防脱落装置的液位开关-CN202122630935.6有效
发明人：汪佳凯;郑仁春;吴尚颖 -专利权人：上海凡宜科技电子有限公司
申请日： 2021-10-30 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： H01H35/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型防脱落装置及包含防脱落装置的液位开关，包括浮球本体和浮球管本体，所述浮球本体与所述浮球管本体通过钢索进行连接，所述浮球本体与所述浮球管本体相对的一端设有套孔，所述套孔内设有磁铁，所述磁铁安装在磁铁固定环上，所述套孔内水平设有定位槽，所述钢索的一端延伸至所述定位槽内，所述钢索的外缘套接密封牙头，所述浮球管本体的与所述浮球相对的一端设有凹槽，所述凹槽内水平设有螺纹槽，所述螺纹槽内设有钢索固定夹，所述钢索的另一端安装在所述钢索固定夹内，且所述钢索固定夹的外缘设有外螺纹，所述钢索固定夹与所述浮球管本体螺纹连接，所述浮球管本体的另一端设有安装孔，所述安装孔内设有磁簧开关。
一种新型脱落装置包含开关

[发明专利]喷嘴模块、光刻装置及其操作方法-CN201710487653.0有效
发明人： 吴尚颖;赖韦志;简上杰;刘柏村;陈立锐;郑博中 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2017-06-23 - 公布日： 2021-03-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：提供一种喷嘴模块，喷嘴模块包括一喷嘴，喷嘴具有一腔体及一液体输出口。喷嘴模块还包括一毛细管，毛细管连接液体输出口而与腔体连通。喷嘴模块还包括一压电元件，压电元件夹持毛细管。再者，喷嘴模块包括一频率产生元件，频率产生元件设置于腔体的外表面，用以对腔体提供一振荡频率。
喷嘴模块光刻装置及其操作方法

[发明专利]用于清洁光刻设备的集光镜的装置及方法-CN201710738608.8在审
发明人：简上杰;钟仁阳;吴尚颖;罗绍维;陈立锐;郑博中;陈家桢 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2017-08-25 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本公开提供一种用于清洁光刻设备的集光镜的装置及方法。上述装置包括一支撑杆、一伸缩杆、一控制单元及一黏附元件。伸缩杆具有相对的第一端及第二端，且第一端活动地连接支撑杆。控制单元配置用以控制伸缩杆相对支撑杆的运动及控制伸缩杆的伸缩。粘附元件设置于伸缩杆的第二端，用以清除集光镜上的污染物。
伸缩杆集光镜支撑杆光刻设备第一端活动地连接粘附元件清洁伸缩黏附污染物配置

[发明专利]极紫外光容器检查方法-CN201810709621.5在审
发明人：张俊霖;简上杰;吴尚颖;郑力凯;傅中其;刘柏村;陈立锐;郑博中;严涛南;陈家桢 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2018-07-02 - 公布日： 2019-02-12 - 主分类号： G01N21/90 文献下载
摘要：本公开提供用于直接检查极紫外光容器的整个内部的单次拍摄测量。可提供包括与极紫外光容器整合的检查工具的一极紫外光容器。在检查过程中，检查工具移入极紫外光容器的主要聚焦区域。当检查工具是设置在主要聚焦区域，并且当通过一照明器向极紫外光容器的内部提供一实质地均匀且恒定的照明度时，极紫外光容器的内部的一全景影像可以通过检查工具的一单次拍摄来获取。之后，极紫外光容器中的多个元件上的锡污染程度可以基于极紫外光容器的内部的全景影像来量化。所量化的污染程度可以与一关键绩效指标做比较，并且可以实行一失控行动计划。
极紫外光检查工具聚焦区域全景影像关键绩效指标量化检查过程容器检查行动计划恒定的照明度照明器拍摄移入整合污染测量失控检查

[发明专利]用于极紫外光辐射源设备的碎片收集装置-CN201711295773.7在审
发明人：简上杰;钟仁阳;吴尚颖;傅中其;陈立锐;郑博中;陈家桢 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2017-12-08 - 公布日： 2019-01-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：极紫外光(EUV)辐射源设备包含收集器、用于产生锡(Sn)液滴的目标液滴产生器、可旋转碎片收集装置、以及围住至少收集器和可旋转碎片收集装置的腔室。可旋转碎片收集装置包含第一端支撑件、第二端支撑件以及多个叶片，这些叶片的端部分别由第一端支撑件和第二端支撑件支撑。这些叶片中的至少一个的表面涂覆将SnH₄还原为Sn的催化剂层。
碎片收集装置支撑件可旋转辐射源设备极紫外光第一端收集器叶片表面涂覆催化剂层滴产生器多个叶片目标液腔室液滴还原围住支撑