|
|
钻瓜专利网为您找到相关结果 53个，建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [实用新型]一种用于掩膜版的下料搬运夹具-CN202320885909.4有效
-
李胜
-
合肥清溢光电有限公司
-
2023-04-19
-
2023-10-20
-
B65G47/90
- 本实用新型公开了一种用于掩膜版的下料搬运夹具，包括一纵向柱杆和两横向柱杆，纵向柱杆与掩膜版长度方向平行，横向柱杆与掩膜版宽度方向平行；纵向柱杆的两端分别固接有纵向卡爪，两横向柱杆的两端分别固接有横向卡爪，纵向卡爪和横向卡爪均包括握柄、与握柄转动连接的爪柄和与爪柄一端连接的卡爪，卡爪上设置有容纳掩膜版的版槽，爪柄上远离卡爪的端部连接有弹性件，弹性件设置在握柄的末端，爪柄在弹性件的推动下转动，带动卡爪旋转至呈竖直状态，夹紧掩膜版边沿；本实用新型的用于掩膜版的下料搬运夹具，通过夹具实现对需要下料搬运的掩膜版进行夹取，避免人工下料搬运时，人手部接触到掩膜版边缘而产生污染的问题。
- 一种用于掩膜版搬运夹具
- [发明专利]一种半色调掩膜版透过率测量方法-CN202310625072.4在审
-
汪春杨;熊启龙
-
合肥清溢光电有限公司
-
2023-05-30
-
2023-09-08
-
G01N21/59
- 本发明公开了一种半色调掩膜版透过率测量方法，半色调掩膜版上，一个视野范围内，具有相邻的全透区、不透区和半透区，测量方法为:首先，在半色调掩膜版两侧分别无接触的设置激光发射器和激光接收器；然后仅打开激光发射器，使得激光发射器发射的激光穿过半透区；再然后打开激光接收器，激光接收器分别获得全透区、不透区和半透区透过的激光信号，分别记为A、B、C；最后计算半透区的透过率T，计算公式为：T＝[(C‑B)/(A‑B)]×100％；本发明的半色调掩膜版透过率测量方法中测量操作简单快速，全程无接触测量，能够满足半色调掩膜版高精度加工要求。同时采用光电信号进行测量，测量精度高，对测量工具和环境要求较低。
- 一种色调掩膜版透过测量方法
- [实用新型]一种便捷式版材上料装置-CN202320311916.3有效
-
杜晓威
-
合肥清溢光电有限公司
-
2023-02-24
-
2023-09-01
-
B65G47/06
- 本实用新型公开了一种便捷式版材上料装置，包括底座、设置在所述底座上的电动转盘、固定在所述电动转盘上的上料支撑组件、以及与所述底座滑动连接的用于对所述上料支撑组件进行支撑的旋转支撑组件。四组支撑组件实现对版材四个侧边的支撑，在进行支撑前，通过电动滑轨调节支撑座的位置，使得四个支撑座所形成的支撑区域与版材的大小相适应，使用更加灵活，支撑座的具体移动距离通过现有技术中的控制系统进行调节。同时电动转台可以驱动支撑组件进行90°、180°、270°转动，这样可以忽略上版的固定方向要求，使得上版更加灵活，减小上版角度误差，同时本装置采用水平上版方式，避免出现摔版的现象。
- 一种便捷式版材上料装置
- [实用新型]一种掩膜版外包装箱-CN202321307989.1有效
-
季伟伟
-
合肥清溢光电有限公司
-
2023-05-26
-
2023-08-25
-
B65D25/24
- 本实用新型公开了一种掩膜版外包装箱，包括分离设置的折叠底托、中间箱体和顶盖，中间箱体设置在折叠底托上并被顶盖扣盖，顶盖内径与中间箱体外径相适应；折叠底托包括叉车托盘、固定在叉车托盘上的缓冲底板和固定于缓冲底板上的固定底板，固定底板上，沿长度方向上的一对侧边上分别连接有折叠端板，沿宽度方向上的一对侧边上分别连接有折叠侧板，两折叠端板和两折叠侧板均可向外展开且自由端均分别与地面搭接，形成供掩膜版上下料的斜坡；本实用新型的掩膜版外包装箱，解决现有技术中掩膜版包装难题，获得能够轻松上下掩膜版的包装箱，简化包装操作，降低包装难度。
- 一种掩膜版外包装箱
- [实用新型]一种大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置-CN202321344685.2有效
-
李伟
-
合肥清溢光电有限公司
-
2023-05-30
-
2023-08-25
-
G03F7/16
- 本实用新型公开了一种大尺寸掩膜版光刻胶烘干装置，包括密封的烘烤室，烘烤室内设置有掩膜版支撑架、下烘烤组件、上烘烤组件和换气组件，下烘烤组件和上烘烤组件分别设置于掩膜版支撑架的下方和上方，掩膜版支撑架与上烘烤组件和下烘烤组件之间分别留有上下料抬版空间和上下料抬版臂进出空间；上烘烤组件固定安装于烘烤室内，上下料抬版空间高度为上烘烤组件与掩膜版支撑架之间距离；本技术方案通过升降机构带动掩膜版支撑架和下烘烤组件上升，压缩上下料抬版空间高度和上下料抬版臂进出空间高度，上烘烤组件和下烘烤组件靠近掩膜版支撑架上待烘烤掩膜版，实现掩膜版近距离烘烤，受热均匀，烘干快速，烘干效率高。
- 一种尺寸掩膜版光刻烘干装置
- [实用新型]一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具-CN202320367789.9有效
-
李文;熊启龙;徐智俊;徐兵;杜晓威
-
合肥清溢光电有限公司
-
2023-03-02
-
2023-08-22
-
B25J15/06
- 本实用新型属于光刻技术领域，公开了一种适用于小尺寸掩膜版的固定治具，包括对称设置的第一夹爪、可移动的第二夹爪和连接块，待固定掩膜版置于第一夹爪和第二夹爪之间，并被第一夹爪和第二夹爪由两相对的侧面固定；第一夹爪朝向待固定掩膜版的侧面上设置有第一导气槽，第一导气槽的两内端面和两内侧面均不超过待固定掩膜版，第一导气槽的一内侧面上穿透有若干第一导气孔，第一导气槽靠近连接块的内端面上穿透有第二导气孔，第二导气孔通过第一导气管连接有抽真空设备；第一夹爪上穿透有第一导气孔的外表面和待固定掩膜版与放置台面接触的表面共面；本实用新型的固定治具，使得小尺寸的掩膜版能够快速在台面上完成放版和固定，操作简单可靠。
- 一种适用于尺寸掩膜版固定
- [实用新型]一种光刻机大理石机台自动清洁装置-CN202320326721.6有效
-
徐智俊;李文;徐兵;杜晓威
-
合肥清溢光电有限公司
-
2023-02-27
-
2023-08-15
-
B08B1/00
- 本实用新型公开了一种光刻机大理石机台自动清洁装置，包括清洁机构、X向移动装置、Y向移动装置和Z向移动装置，清洁机构与X向移动装置连接，X向移动装置包括X向横梁和安装于X向横梁上且独立控制的第一X向移动装置和第二X向移动装置；第一X向移动装置和第二X向移动装置上分别连接有第一X向移动块和第二X向移动块，滚筒清洁机构和拖布清洁机构分别包括滚筒升降电缸和拖布升降电缸，且分别与第一X向移动块和第二X向移动块固接；滚筒升降电缸和拖布升降电缸的推杆前端分别固接有滚筒连接座和拖布连接座；本实用新型的光刻机大理石机台自动清洁装置，解决现有技术中掩膜版曝光机的机台清洁中存在清洁不便，清洁能力差等问题。
- 一种光刻大理石机台自动清洁装置
- [实用新型]一种掩膜版自动仓储装置-CN202320724705.2有效
-
魏晖
-
合肥清溢光电有限公司
-
2023-04-04
-
2023-07-25
-
B65G1/04
- 本实用新型公开了一种掩膜版自动仓储装置，包括暂存料架和取料机构，暂存料架包括料架本体和设置在料架本体上的若干放版工位；放版工位沿料架本体高度方向设置有若干层，沿料架本体长度方向设置有若干个，沿料架本体宽度方向设置有一层；放版工位上沿料架本体宽度方向设置有第一螺杆，第一螺杆上连接有第一移动座，第一移动座上固接有第一夹持组件；取料机构包括沿料架本体长度方向设置的导向板，导向板上设置有移动架，移动架上设置有第二夹持组件；第一夹持组件沿料架本体宽度方向移动，向取料机构侧靠近，第二夹持组件向第一夹持组件上取放掩膜版；本实用新型的掩膜版自动仓储装置，实现自动对掩膜版进行全自动移动、搬运、上下料和存储。
- 一种掩膜版自动仓储装置
- [实用新型]一种掩膜版观察辅助装置-CN202320367794.X有效
-
李桂;魏晖;李伟;张华超;叶小稳;葛翔
-
合肥清溢光电有限公司
-
2023-03-02
-
2023-07-21
-
B65D25/02
- 本实用新型公开了一种掩膜版观察辅助装置，包括用于夹持掩膜版的夹持装置，夹持装置包括安装底板、升降支撑座和两夹持臂，升降支撑座置于安装底板上方并连接有升降机构，两夹持臂分别设置在升降支撑座两侧并分别连接有移动驱动机构，升降机构包括平行设置的升降电缸和升降导杆，升降导杆与升降支撑座的底面固接并竖直向下穿过安装底板，升降支撑座的底面中心位置设置有连接孔，升降电缸的电缸推杆向上穿过安装底板并延伸至连接孔内且与连接孔转动连接；安装底板上连接有旋转装置，旋转装置带动夹持装置和被夹持的掩膜版旋转；本实用新型的掩膜版观察辅助装置，解决现有技术中掩膜版在观察时，观察角度差，观察动作难等问题。
- 一种掩膜版观察辅助装置
- [实用新型]一种可旋转掩膜版临时存储装置-CN202320311920.X有效
-
魏晖
-
合肥清溢光电有限公司
-
2023-02-24
-
2023-06-30
-
B65G47/69
- 本实用新型公开了一种可旋转掩膜版临时存储装置，包括底座、设置在底座上的旋转机构、设置在旋转机构上的矩形安装架，以及设置在矩形安装架四个侧面的四组存储机构。存储机构实现对掩膜版13的夹持存储，每组存储机构可以存储2个两个掩膜版，因此，一个存储装置可以同时存储8个掩膜版，旋转机构使矩形安装架进行360旋转，可以实现工位切换，保证每一侧的存储机构都可以与工作位点相对应，驱动机构可以使存储机构进行180度转动，实现工作面的切换，保证一组存储机构可存储两个掩膜版。进而提升存储机构的利用率，在进行存储时，本装置配合机器人上下料，全程无需人工取放，保证掩膜版的洁净度，同时相较于增加生产设备，本装置节约成本。
- 一种旋转掩膜版临时存储装置
- [实用新型]一种大尺寸掩膜版搬运装置-CN202320724706.7有效
-
李伟
-
合肥清溢光电有限公司
-
2023-04-04
-
2023-06-16
-
B66F9/075
- 本实用新型公开了一种大尺寸掩膜版搬运装置，包括用于放置掩膜版的机械臂、驱动机械臂升降的升降装置和带动机械臂行走的行走小车；行走小车包括门架和安装于门架一侧的导向臂；机械臂安装在门架上且置于导向臂上方；机械臂包括与升降装置连接的安装部和固定于安装部上放板臂，放板臂包括相对设置的两支臂，两支臂均置于导向臂上方，并均设置有底部支撑组件和侧限位组件；底部支撑组件包括有固定托块和移动托块，固定托块和移动托块均呈L型且两L型面相对设置，固定托块靠近门架设置，移动托块可拆卸安装在支臂远离门架端；本实用新型的大尺寸掩膜版搬运装置，解决现有技术中大尺寸掩膜版在生产时搬运或周转困难的问题。
- 一种尺寸掩膜版搬运装置
|
