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- [发明专利]一种深盲孔均匀性刻蚀方法-CN202310813740.6有效
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雷程;梁庭;冀鹏飞;熊继军;王宇峰;郝亚峰
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中北大学
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2023-07-05
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2023-09-15
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B81C1/00
- 本发明涉及半导体芯片制造技术领域,具体是一种深盲孔均匀性刻蚀方法。包括:S1对测试硅片进行盲孔刻蚀,计算刻蚀速率;S2使用S1中的刻蚀速率对硅片分阶段进行盲孔刻蚀;S3在每个刻蚀阶段结束后分区域进行深度测量,S4在第二个刻蚀阶段结束后,分区域进行深度测量,若某一区域深度达到目标深度时,使用刻蚀遮挡物将该区域盲孔遮挡;若某一区域深度未达到目标深度时,进入步骤S5;S5调节刻蚀参数,继续对未达到目标深度的区域进行盲孔刻蚀;S6重复步骤S4‑S5,当硅片上所有区域的盲孔深度都达到目标深度后,停止刻蚀。本发明能够有效控制深盲孔刻蚀的刻蚀深度,提高刻蚀均匀性,并且能够监测刻蚀工艺。
- 一种深盲孔均匀刻蚀方法
- [实用新型]一种身份信息认证管理设备-CN202320199378.3有效
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张雅杰;冀鹏飞;张旺;张寒;杜国炜;韩峰
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河北中惠博裕科技有限公司
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2023-02-13
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2023-08-29
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G06F1/16
- 本实用新型公开了一种身份信息认证管理设备,包括设备主体,所述设备主体的底端设置有底座,所述底座顶部的后端固定有撑杆。本实用新型属于电子信息技术领域,本实用新型的目的在于解决现有技术中不便于对设备外部进行防护的问题。达到的技术效果为:通过设备在安装后使用时,可以在设备主体的前端将设置的外护罩利用顶部连接脚与固定座内部之间的铰接,向下进行翻转至设备主体的前端,通过设置的外护罩可以对设备主体的前端进行外罩防护,减少外部磕碰对设备主体上显示组件的损伤,同时透明材质的外护罩不会对显示屏主体的显示造成影响,设置的预留口不会对设备的摄像头组件和读卡区的使用造成影响,便于对设备外部进行防护。
- 一种身份信息认证管理设备
- [实用新型]一种移动式直流备用电源装置-CN202320583966.7有效
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岳同;贾伟;冀鹏飞;尚成树
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新乡市景弘电气有限公司
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2023-03-23
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2023-08-22
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H02B1/28
- 本实用新型公开了一种移动式直流备用电源装置,涉及到变电站辅助设备技术领域,包括基座架,所述基座架的上方设置有主体,且基座架的下方设置有减震机构,所述主体的顶部两侧设置有散热机构,且主体的上方设置有遮阳避雨机构。本实用新型结构合理,在外界雨量较大或高温阳光直射状态下,人员可启动第二驱动电机,此时遮阳避雨罩会通过其从动齿轮轴杆与主动齿轮轴杆之间的齿轮啮合性进行预摊开处理,同一时间,从动齿轮轴杆转动状态下会带着锥形齿轮组件以及从动杆进行联轴转动,此时和从动杆形成传动结构的丝杆滑套会因为与遮阳避雨罩的连接性而进行同第二驱动电机转动速率相同的牵引作业,以达到遮阳避雨罩无论是收卷还是展开的平整性。
- 一种移动式直流备用电源装置
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