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- [发明专利]一种气浮运动平台-CN202310981650.8在审
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杨鹏程;程伟林;王振;任冰强;曾爱军;黄惠杰
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上海镭望光学科技有限公司
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2023-08-04
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2023-10-24
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F16C32/06
- 一种气浮运动平台，包括：基座、直线运动驱动装置、气浮装置和供气装置；气浮装置活动支撑于基座上，供气装置贯穿气浮装置设置于基座上；直线运动驱动装置驱动气浮装置在基座的支撑面上往复直线运动；供气装置正对气浮装置所在的位置处于打开状态，向气浮装置供气，气浮装置与基座的支撑面之间形成气膜，使气浮装置悬浮于基座的支撑面上，供气装置在偏离直至离开气浮装置的过程中逐渐关闭。通过磁预载增大了气膜刚度，通过气浮装置和供气装置配合形成的机械开关功能，实现了运动中的无气管扰动供气，较于静止导轨气浮，降低了耗气量；本发明提供的气浮运动平台有效的解决了现有气浮运动平台耗气量大、气膜刚度较低及运动平台有气管扰动等问题。
- 一种运动平台
- [发明专利]一种光刻机自由光瞳照明控制系统-CN202310975318.0在审
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陈浩然;童长青;刘清沁
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上海镭望光学科技有限公司
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2023-08-03
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2023-10-20
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G03F7/20
- 一种光刻机自由光瞳照明控制系统，包括：运算中心、控制中心、微反射镜阵列控制单元、微反射镜阵列角位置监测单元和微反射镜阵列；运算中心通过上位机获取光刻机的目标照明模式，并根据目标照明模式计算各微反射镜的目标角位置和初始驱动电压，及将目标角位置和初始驱动电压发送至控制中心；控制中心将各微反射镜的初始驱动电压发送至微反射镜阵列控制单元，以驱动各微反射镜旋转；微反射镜阵列角位置监测单元用于监测各微反射镜的角位置，并将监测的实测角位置反馈至控制中心；控制中心还用于根据实测角位置对各微反射镜进行闭环控制，直至各微反射镜实现目标照明模式。该控制系统能够对若干微反射镜高速、同步、闭环控制，提供精确的照明模式。
- 一种光刻自由照明控制系统
- [发明专利]一种光刻机微反射镜阵列角位置计算方法-CN202310585227.6在审
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黄振鑫
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上海镭望光学科技有限公司
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2023-05-23
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2023-10-13
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G03F7/20
- 本申请提供一种光刻机微反射镜阵列角位置计算方法，包括步骤：设置光瞳面与微反射镜阵列之间的位置约束条件，并基于位置约束条件设置微反射镜提取约束条件；根据提取半径和提取角度提取光瞳面上的光瞳点，并以象限为规则将提取的光瞳点归类至对应象限的光瞳面队列；提取半径和提取角度提取微反射镜阵列上的各微反射镜，并以象限为规则将提取的微反射镜归类至对应象限的微反射镜队列；将光瞳面队列与微反射镜队列进行赋值运算，根据赋值运算确定光瞳点对应角位置分布的微反射镜在微反射镜阵列上的角位置，微反射镜在微反射镜阵列上的角位置使其反射的光束经偏振转换组件入射至光瞳面后出射的光束满足远心度和偏振均匀性的要求。
- 一种光刻反射阵列位置计算方法
- [发明专利]一种点光斑阵列产生装置-CN202310982042.9在审
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杨增辉;张方;张泽龙;黄惠杰
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上海镭望光学科技有限公司
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2023-08-04
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2023-09-19
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G03F7/20
- 一种点光斑阵列产生装置，包括：第一阶梯反射镜和第二阶梯反射镜；第一阶梯反射镜通过阶梯将入射光束的反射光束进行分割形成片状光束并向第二阶梯反射镜反射片状光束；第二阶梯反射镜沿第一阶梯反射镜的反射方向设置，第一阶梯反射镜反射的片状光束入射至第二阶梯反射镜上，第二阶梯反射镜通过阶梯对入射的片状光束的反射光进行分割形成点光斑阵列。本申请采用两个阶梯反射镜能够生成不同形状、不同尺寸的点光斑阵列，能够满足不同的光学设计需要；此外，光束在经过两个阶梯反射镜生成点光斑阵列时没有能量损失，且该两个阶梯反射镜通过常规的加工手段就可以实现，使得本申请提供的点光斑阵列产生装置结构简单，而且制作难度也非常低、易于实现。
- 一种光斑阵列产生装置
- [发明专利]一种微反射镜阵列镜面面形补偿方法-CN202310376171.3在审
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沈宇荣;汪美辰
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上海镭望光学科技有限公司
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2023-04-07
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2023-09-12
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C23C14/30
- 一种微反射镜阵列镜面面形补偿方法，微反射镜阵列包括若干个微反射镜，微反射镜面形补偿方法包括步骤：在微反射镜的镜面上制备193nm高反光学薄膜，193nm高反光学薄膜由若干层交替沉积的低折射率膜层和高折射率膜层沉积形成，且193nm高反光学薄膜的最内层膜层为SIO2膜料的低折射率膜层；调节193nm高反光学薄膜最内层膜层的SIO2沉积厚度，以调节193nm高反光学薄膜最内层膜层的压应力，通过193nm高反光学薄膜最内层膜层的压应力对193nm高反光学薄膜因张应力引入的镜面面形变化进行补偿。通过改变和微反射镜硅基底直接接触的SIO2膜层厚度，对镜面面形变化进行补偿，不改变SIO2本身的光学常数，且厚度的改变不会改变微反射镜上整个193nm高反光学薄膜的光谱特性和偏振特性。
- 一种反射阵列面面补偿方法
- [发明专利]一种光学系统远心度和像高的测量装置-CN202310587580.8在审
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张泽龙
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上海镭望光学科技有限公司
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2023-05-23
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2023-09-05
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G01M11/02
- 一种光学系统远心度和像高的测量装置，包括：第一测量模块、第二测量模块、采集模块和控制模块；第一测量模块用于将光束透过待测光学组件后所产生的变化的光束角度转化为对应的光束位置；第二测量模块配合第一测量模块使用，用于将光束透过待测光学组件后所产生的像高转化为不同角度的像的质心间距；采集模块用于采集光束位置和质心间距，并将采集的光束位置和质心间距发送至控制模块；控制模块用于根据光束位置计算待测光学组件的远心度，及根据质心间距计算待测光学组件的像高。通过设计一套测量装置兼容远心度和像高的测量，在测量像高时，只需要在远心度测量的基础上增加第二测量模块即可，与现有采用两套不同测量系统相比，提高了测量效率。
- 一种光学系统远心度测量装置
- [发明专利]一种微反射镜阵列角位置监测系统-CN202310584046.1在审
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邱嘉桦
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上海镭望光学科技有限公司
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2023-05-23
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2023-09-01
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G01B11/26
- 一种微反射镜阵列角位置监测系统，包括：光束产生单元、光点阵列产生单元、光束调控单元、微反射镜阵列单元和位置传感器；光束产生单元用于产生平行光束；光点阵列产生单元用于将平行光束形成阵列光斑；光束调控单元设置于光点阵列产生单元和微反射镜阵列单元之间的光路上，用于将阵列光斑反射至所述微反射镜阵列单元；光束调控单元根据所述微反射镜阵列单元中的待测微反射镜选择性地调控阵列光斑的反射指向，以将光点阵列产生单元所产生的阵列光斑中的部分光斑反射至所述待测微反射镜，将另一部分光斑反射偏离于微反射镜阵列单元；待测微反射镜将入射光斑反射至所述位置传感器，通过位置传感器中的光斑位置对待测微反射镜的角位置进行监测。
- 一种反射阵列位置监测系统
- [发明专利]一种气浮导轨-CN202310350750.0在审
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程伟林;任冰强;曾爱军;黄惠杰
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上海镭望光学科技有限公司
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2023-04-04
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2023-07-18
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F16C32/04
- 一种气浮导轨，包括：滑块、导轨和供气系统；滑块呈L型结构，滑块通过L型结构吸附于导轨上，导轨内部开设有与供气系统连接的进气通道，供气系统通过导轨向滑块提供气体，以使滑块相对导轨的两内侧面形成预设刚度的气膜；滑块相对导轨的两内侧面分别开设有进气槽、进气孔、第一出气孔、均压槽和磁体槽；进气槽内均匀设置有进气孔；磁体槽内安装的磁体用于提供滑块与导轨之间的磁预载力；均压槽均匀设置于磁体槽远离进气槽的一侧；各均压槽内分别设置有第一出气孔；导轨相对进气槽的一面开设有第二出气孔，第二出气孔与进气通道之间连通。采用导轨进气，滑块面出气，滑块在运动过程中保证气管不动，气浮导轨系统具有可靠性高、空间布置方便。
- 一种导轨
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