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- [发明专利]ESD结构-CN202010423952.X有效
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邓樟鹏
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上海华虹宏力半导体制造有限公司
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2020-05-19
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2023-08-18
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H01L27/02
- 本发明公开了一种ESD结构,该ESD结构基于SCR器件的优化,整体位于有由N型深阱和位于外延层中的N型埋层所构成的隔离结构中,将所述ESD结构与衬底进行隔离,SCR器件的N阱被N型深阱包围能调高击穿电压,在N型深阱的两侧再各自形成静电端P阱和接地端P阱。本结构的接地端P阱与静电端P阱的结构对称,静电端可以应用于正电压也可以应用于负电压,同时,可以通过设计不同的静电端P阱与N型深阱的间距来调节从接地端到静电端的击穿电压,通过设计不同的接地端P阱与N型深阱的间距来调节从静电端端到接地端端的击穿电压。
- esd结构
- [发明专利]电压保护电路-CN202110817625.7有效
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韦敏侠
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上海华虹宏力半导体制造有限公司
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2021-07-20
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2023-08-18
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H01L27/02
- 本发明公开了一种电压保护电路,包括由N个两端连接的PMOS串联而成PMOS串联结构;各PMOS的包括N阱、形成于N阱表面的栅极结构、形成于栅极结构的第一侧的源区和N阱接触区以及第二侧的漏区;在各PMOS的N阱的周侧环绕由P阱,在P阱的表面形成有P阱接触区;各N阱和邻近的P阱之间形成寄生二极管,第N级的PMOS的寄生二极管为第一寄生二极管,第一寄生二极管承受的电压最大;PMOS串联结构的耐压为各PMOS的耐压和;通过调节第一寄生二极管对应的N阱接触区和P阱接触区之间的第一间距调节第一寄生二极管的耐压,且保证第一寄生二极管的耐压大于PMOS串联结构的耐压。本发明能确保寄生二极管的耐压大于PMOS串联结构的耐压,使电压保护电路的耐压能由PMOS串联结构确定。
- 电压保护电路
- [发明专利]ESD保护的栅极接地MOS结构-CN201911125437.7有效
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邓樟鹏
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上海华虹宏力半导体制造有限公司
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2019-11-18
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2023-08-18
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H01L27/02
- 本申请涉及一种半导体集成电路器件,具体涉及一种静电释放(Electro Static Discharge,ESD)保护的栅极接地NMOS管结构。ESD保护的栅极接地MOS结构,包括第一导电类型阱区和第二导电类型阱区,第二导电类型阱区环绕在第一导电类型阱区外侧;第一导电类型阱区中形成第二导电类型扩散区,和环绕第二导电类型扩散区的第一导电类型阱环区;第二导电类型扩散区中形成多个第二导电类型注入区,多个第二导电类型注入区间隔排布,相邻两个第二导电类型注入区的间隔上形成栅极,栅极接地;第二导电类型阱区中设有第二导电类型注入区。通过多指状MOS管和双层保护环能够对输入输出端和电源端同时进行静电保护。
- esd保护栅极接地mos结构
- [发明专利]一种TVS器件及其制造方法-CN202310627447.0在审
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张轩瑞;陈美林
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上海晶岳电子有限公司
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2023-05-30
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2023-08-15
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H01L27/02
- 本发明提供了一种TVS器件及其制造方法,其中TVS器件包括:基板主体,所述基板主体包括元胞区、触发区和终端区;所述元胞区中形成有MOS管,所述触发区中形成有TVS管;所述基板主体包括第一导电类型的衬底和形成在所述衬底上的异质外延层,所述衬底的掺杂浓度大于所述外延层的掺杂浓度;所述基板主体上形成有栅极电阻、栅极结构和互连金属;所述栅极结构与所述MOS管的栅极相连接;所述互连金属使所述TVS管的阳极通过所述栅极结构与所述MOS管的栅极相连接;使所述栅极电阻并联于所述TVS管的阳极与所述MOS管的源极之间;使所述MOS的漏极与所述TVS的阴极相连。
- 一种tvs器件及其制造方法
- [发明专利]一种纳米级工艺制程下的ESD保护结构-CN202310681502.4在审
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余自然
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无锡翼盟电子科技有限公司
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2023-06-09
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2023-08-15
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H01L27/02
- 本申请提供的一种纳米级工艺制程下的ESD保护结构,其包括RC侦测结构和防护用NPN三极管,防护用NPN三极管中的基于P+扩散区实现的触发源连接RC侦测结构;一旦有静电产生,RC侦测电路产生的侦测电流经过触发源进入防护用NPN三极管中,从触发源产生流向P‑外延的电流,当P‑外延电阻和该电流产生的电压达到NPN管开启电压时,防护用NPN三极管就会导通来泄放ESD电流。本申请中的防护用NPN三极管是通过三极管的基体触发导通,因为防护用NPN三极管没有标准工艺制程产生的LDD轻掺杂漏结构,而且ESD电流是经过寄生的NPN管基体泄放,并非集中在扩散区沟道表面,因此在比较小的版图面积下可以提供比较高的ESD防护能力,更结构适用于高密度芯片和纳米工艺制程中。
- 一种纳米工艺制程下esd保护结构
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